加热系统

· 额定电压：380V

· 额定功率：11KW

· 最高温度：1200℃

· 使用温度：≤1100℃

· 推荐升温速率：≤10℃/min

· 炉管规格：石英管Ф150mm x 1600mm（炉管直径可根据实际需求定制）

· 加热区长度：200+200+200mm，恒温区长度：400mm

· 控温方式：30段可编程控温，PID参数自整定，操作界面为10”工控电脑，内置PLC控制程序

· 控温精度：±1℃

· 加热元件：电阻丝

· 热电偶类型：N型

PE射频电源

· 供电电压：单相交流（187V-253V） 频率50/60Hz

· 功率输出范围：0~500W

· 最大反射功率：100W

· 射频输出接口：50 Ω, N-type, female

· 功率稳定度：≤5W

· 谐波分量：≤-50dbc

· 整机效率：≥70%

· 功率因素：≥90%

· 冷却方式：强制风冷

3路质子流量控制系统

· 连接头类型：双卡套不锈钢接头

· 标准量程（N₂）：50sccm、100sccm、500sccm（可根据用户需求定制）

· 准确度：±1.5%F.S.

· 线性：±1%F.S.

· 重复精度：±0.2%F.S.

· 响应时间：气特性 1～4Sec，电特性 10Sec

· 工作压差范围：0.1～0.5MPa

· 最大压力：3MPa

· 接口：Φ6，1/4''

· 显示：4位数字显示

· 工作环境温度：5~45高纯气体

· 压力真空表：－0.1～0.15MPa, 0.01MPa/格

· 截止阀：Φ6

· 内外双抛不锈钢管：Φ6

低真空机组

· 真空计：薄膜复合真空计（进口）

· 工作电压：380V±10% 50~60Hz，功率：1KW

· 工作环境温度：5~40℃

· 空气相对湿度：≤85%

· 抽气速率：60m³/h

· 极限真空度：5 x 10^-1Pa

· 工作压力范围：1.01325 x 10⁵ ～ 1.33 x 10^-2Pa

· 耐压值：0.03MPa

· 容油量：1.1L

· 进/排气口口径：KF40

· 噪音：50dB

· 连接方式：采用波纹管，手动挡板阀与波纹管相连

质保期

· 一年质保，终身维护

· 耗材部分如热电偶、密封圈、炉管等不包含在内

· 因人为损坏/使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内

注意事项

· 炉管内气压不可高于0.02MPa（相对气压）

· 对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等）

· 如工艺原因需要使用易燃易爆和有毒气体，请自行做好相关防护和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒气体过程误操作而造成的相关问题，本公司概不负责

· 随着使用时间的延长，炉膛表面可能会出现小裂纹，这是正常情况，裂纹可以用氧化铝涂层修复