卷对卷连续生长PECVD设备 RTR-III-150

加热系统

额定电压

单相 AC 220V，50Hz

最高温度

1200℃

使用温度

≤1100℃

加热区长度

200+200+200mm

恒温区长度

400mm

炉膛有效尺寸

Φ100mm（适用于2-3英寸样品，炉管直径可根据实际需要定制）

炉膛材料

氧化铝、高温纤维制品

控温精度

±1℃

热电偶

K型热电偶

加热元件

电阻丝

控温系统

30段可编程控温，PID参数自整定，操作界面为10”工控电脑，内置PLC控制程序

PE射频电源

功率输出范围

0W~500W

最大反射功率

100W

射频输出接口

50 Ω, N-type, female

功率稳定度

≤5W

谐波分量

≤-50dbc

供电电压

单相交流（187V-253V） 频率50/60HZ

整机效率

≥70%

功率因素

≥90%

冷却方式

强制风冷

三路质子流量控制系统

连接头类型

双卡套不锈钢接头

标准量程（N₂）

50sccm，100sccm，500sccm（可根据用户要求定制）

准确度

±1.5%FS

线性

±1%FS

重复精度

±0.2%FS

响应时间

气特性 1~4Sec，电特性 10Sec

工作压差范围

0.1~0.5MPa

最大压力

3MPa

接口

Φ6，1/4”

显示

4位数字显示

工作环境温度

5~45高纯气体

压力真空表

-0.1~0.15MPa，0.01MPa/格

截止阀

Φ6

内外双抛不锈钢管

Φ6

低真空机组

真空计

薄膜复合真空计（进口）

空气相对湿度

≤85%

工作环境

5~40℃

工作电压

380V±10%  50~60Hz

功率

1KW

抽气速率

60m³/h

极限真空

5x10^-1Pa

工作压力范围

1.01325x10⁵~1.33x10^-2Pa

耐压值

0.03MPa

容油量

1.1L

进气口口径

KF40

排气口口径

KF40

噪音

50dB

连接方式

采用波纹管，手动挡板阀与波纹管相连