TEL:400-0033-603

销售热线:

400-0033-603

 

总经理投诉电话:18009693519

贝意克奖学金—寻找最闪耀的你
开工大吉
利用磁性石墨烯实现2D自旋逻辑存储技术
我与贝意克的故事---人物专访

 ------- 实验室预约 -------- 

微信公众号

安徽贝意克设备技术有限公司

合肥百思新材料研究院

合肥欧莱迪光电科技有限公司

我要留言

欢迎点击留下您宝贵的意见

我们会在第一时间给您回复

Copyright 2017  安徽贝意克设备技术有限公司   皖ICP备12002778号-1   技术支持:中企动力  合肥

浏览量:
产品名称

卷对卷连续生长PECVD设备 RTR-III-150

设备型号:RTR-III-150 设备简介:该设备为我司研发用于材料连续生长的专用设备,此款设备是快速冷却卷对卷CVD连续生长炉,它由高温生长腔体,质量流量计气路系统,真空机组,压力控制系统,射频控制系统、石英管,冷却装置,收放卷的密封装置,自动化控制系统组成,两端分别安装有进料进气真空腔室和出料排气真空腔室(即收放卷的密封装置),收放密封装置内分别对应安装有放卷滚轮和收卷滚轮,所输出料排气腔体与炉体之间安装有冷却装置。相对于现有技术具有快速冷却、连续生长的优点。
零售价
0.00
数量
-
+
库存
没有此类产品
联系我们
在线咨询
产品描述
产品参数

加热系统

额定电压

单相 AC 220V,50Hz

最高温度

1200℃

使用温度

≤1100℃

加热区长度

200+200+200mm

恒温区长度

400mm

炉膛有效尺寸

Φ100mm(适用于2-3英寸样品,炉管直径可根据实际需要定制)

炉膛材料

氧化铝、高温纤维制品

控温精度

±1℃

热电偶

K型热电偶

加热元件

电阻丝

控温系统

30段可编程控温,PID参数自整定,操作界面为10”工控电脑,内置PLC控制程序

PE射频电源

功率输出范围

0W~500W

最大反射功率

100W

射频输出接口

50 Ω, N-type, female

功率稳定度

≤5W

谐波分量

≤-50dbc

供电电压

单相交流(187V-253V) 频率50/60HZ

整机效率

≥70%

功率因素

≥90%

冷却方式

强制风冷

三路质子流量控制系统

连接头类型

双卡套不锈钢接头

标准量程(N2

50sccm,100sccm,500sccm(可根据用户要求定制)

准确度

±1.5%FS

线性

±1%FS

重复精度

±0.2%FS

响应时间

气特性 1~4Sec,电特性 10Sec

工作压差范围

0.1~0.5MPa

最大压力

3MPa

接口

Φ6,1/4”

显示

4位数字显示

工作环境温度

5~45高纯气体

压力真空表

-0.1~0.15MPa,0.01MPa/格

截止阀

Φ6

内外双抛不锈钢管

Φ6

低真空机组

真空计

薄膜复合真空计(进口)

空气相对湿度

≤85%

工作环境

5~40℃

工作电压

380V±10%  50~60Hz

功率

1KW

抽气速率

60m³/h

极限真空

5x10-1Pa

工作压力范围

1.01325x105~1.33x10-2Pa

耐压值

0.03MPa

容油量

1.1L

进气口口径

KF40

排气口口径

KF40

噪音

50dB

连接方式

采用波纹管,手动挡板阀与波纹管相连

未找到相应参数组,请于后台属性模板中添加
暂未实现,敬请期待
暂未实现,敬请期待
上一篇
下一篇