设备构造

· 单端封口红外滑轨炉：

该加热系统采用国际先进制造工艺，造型新颖结构合理，炉体炉管可实现分离，炉体上下对开设计，气动弹簧支撑结构让操作者可大角度安全开启。炉胆采用高密度纯氧化铝陶瓷纤维材料真空吸附成型，表面涂覆高反射率的耐温保护涂层，能够降低热量损失，增强温场稳定。

该滑轨炉加热系统由红外灯管加热，采用内插热电偶控温的方式实时显示石英腔体内部温度，加热区长度为370mm，恒温区长度200mm，确保两个Φ100*100mm的承载平台可放置在恒温区内，恒温区200mm内的温场均匀性控制在±5℃，升温速率≤30℃/s,整个石英腔体直接划出炉膛，样品降温过程可在通入一定量保护气体的条件下快速降温，平均降温速率可达到2℃/s，样品反应区处在一个密闭的石英腔体内，在满足工艺的同时大大降低了间接污染的可能性。采用石英管堵维持炉内的温场均匀性。

· 电机调速装置：

伺服电机调速装置通过控制丝杆的转动，来控制整个石英腔体的进出，通过精确可控的转速调节，来达到快速精确升降温的目的。

主要参数

· 额定电压：AC 220V 50/60 Hz

· 额定功率：10KW

· 最高温度：1200℃

· 持续工作温度：≤1100℃

· 推荐升温速率：30℃/s

· 加热区长度：370mm，恒温区长度：200mm

· 加热元件：红外灯管

· 热电偶：K型铠装热电偶（内插式）

炉管规格

· Φ210*370mm（炉管直径可根据实际需要定制）

温控系统

· 人机界面加PLC控制，10寸液晶屏控制，液晶显示器可直接显示真空值、气体流量值、炉体温度值、电机转速等信息

· 温场均匀性：±5℃

气路系统

· 标准量程（N₂）：1000sccm（可根据用户要求定制）

· 准确度：±1.5%

· 线性偏差：±0.5~1.5%

· 重复精度：±0.2%

· 响应时间：气特性 1～4Sec，电特性 10Sec

· 工作压差范围：0.1~0.5MPa

· 接口：Φ6双卡套终端接头,1/4''

· 工作环境温度：5~45℃高纯气体

真空系统

  机械泵（鲍斯真空 DRV 16）

· 抽气速率：4L/s

· 容油量：1.1L

· 电机功率：400W

· 极限压强：约为6x10^-1Pa

  分子泵

· 抽气速率：100L/s

· 极限压强：1x10^-4Pa

· 启动时间：＜2min

· 额定转速：4300转/分钟

· 冷却方式：环境温度5~32℃时，风冷；5~40℃时，水冷

  分子泵控制器

· 电压：220V±22V

· 启动电流：≤7A

· 最大输出功率：≤150W

· 最大加速电压：≤40V

· 加速时间：≤3min

· 频率（双速）：高速705Hz±10Hz，低速430Hz±5Hz

  复合真空计

· 测量路数：2路（电阻规、电离规各1路）

· 工作模式：手动/自动

  电阻单元参数

· 规管型号：ZJ-52T电阻规

· 测量范围：1.0x10⁵Pa~1.0x10^-1Pa

· 有效范围：2.5x10³Pa~5.0x10^-1Pa

· 控制范围：2.5x10³Pa~5.0x10^-1Pa

  电离单元参数

· 规管型号：ZDR-27B热阴极电离真空计

· 测量范围：5.0Pa~1.0x10^-5Pa

· 有效范围：1.0Pa~5.0x10^-5Pa

· 控制范围：1.0Pa~5.0x10^-5Pa

· 规管除气方式：烘烤（真空度大于1x10^-2Pa）

  其他参数

· 控制路数：4路（两个电阻单元、两个电离单元）

· 控制方式：点动或区域控制/带掉电记忆

· 控制精度：±1℃

· 采样时间：1s

· 电源：220V±10%  50Hz

· 功耗：50W

· 使用环境温度：0~45℃

· 湿度：≤85%

  连接管路

· 采用不锈钢材质制作，表面电抛光处理，零件焊接漏率优于1.0×10^-9Pa.m³/s

质保期

· 一年质保，终身维护

· 耗材部分如K型热电偶、O型氟胶圈、定制石英炉管、样品坩埚等不包含在内

· 因人为使用不当或使用腐蚀性气体、酸性气体造成的相关问题不在保修范围内

注意事项

· 管内气压不可高于0.02MPa（相对气压）

· 气瓶内部气压较高，必须安装减压阀，减压后压力在0.2~0.4MPa范围内，减压后的气体必须经过流量计控制流量进入炉管

· 对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等）

· 如工艺原因需要使用易燃易爆和有毒气体，请自行做好相关防护和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒气体过程误操作而造成的相关问题，本公司概不负责

· 随着使用时间的延长，炉膛可能会出现小裂纹，这是正常情况，裂纹可以用高纯氧化铝修复涂料修复