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最新:ESI大学及材料学科排行榜发布!
近日,科睿唯安公布了ESI最新统计数据。ESI收录了12000多种学术期刊上发表的SCIE和SSCI近十年发表的论文和被引数据,具有广泛的代表性,已经被全球普遍认可。
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展会邀约 | 贝意克与您相约2023中国国际先进陶瓷展览会
2023中国国际粉末冶金、硬质合金与先进陶瓷展览会将于2023年5月31日至6月2日在上海世博展览馆H1&H2举行。作为我国材料装备行业标杆企业的贝意克设备也将携旗下产品参加此次展会,展位号E662,欢迎各界朋友莅临展位参观洽谈。

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1200℃双温区PECVD系统 BTF-1200C-II-PECVD
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产品名称

1200℃双温区PECVD系统 BTF-1200C-II-PECVD

设备型号:BTF-1200C-II-PECVD BTF-1200C-II-SL-PECVD 设备简介:PECVD是借助于辉光放电等方法产生等离子体,辉光放电等离子体中:电子密度高109-1012cm3电子气体温度比普通气体分子温度高出10-100倍,使含有薄膜组成的气态物质发生化学反应,从而实现薄膜材料生长的一种新的制备技术。通过反应气态放电,有效地利用了非平衡等离子体的反应特征,从根本上改变了反应体系的能量供给方式,低温热等离子体化学气相沉积法具有气相法的所有优点,工艺流程简单。配有前端预加热炉,辅助固态源蒸发,后端为单温区加热炉 ,温度控制精确,操作简便,对于气相沉积,二维材料,等离子处理生长工艺非常合适,也同样适用于要求快速升降温的CVD实验。
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产品描述
产品参数

加热系统

最高温度

1200℃

使用温度

≤1100℃

炉膛有效尺寸

Φ50(炉管直径可根据实际需求定制)

炉膛材料

氧化铝、高温纤维制品

热电偶

K型

控温精度

±1℃

控温方式

30段可编程控温,PID参数自整定

加热区长度

200+200mm

恒温区长度

100+100mm

加热元件

电阻丝

供电电源

单相,220V  50Hz

预热系统

最高温度

400℃

炉膛有效尺寸

Φ50(炉管直径可根据实际需求定制)

炉膛材料

氧化铝、高温纤维制品

热电偶

K型

控温精度

±1℃

控温方式

30段可编程控温,PID参数自整定

加热区长度

100mm

加热元件

电阻丝

额定功率

800W

PE系统

功率输出范围

0W~500W

最大反射功率

100W

射频输出接口

50 Ω, N-type, female

功率稳定度

≤5W

谐波分量

≤-50dbc

供电电压

单相交流(187V-253V) 频率50/60HZ

整机效率

≥70%

功率因素

≥90%

冷却方式

强制风冷

三路质子流量控制系统

连接头类型

双卡套不锈钢接头

标准量程(N2)

50sccm,100sccm、500sccm(可根据用户要求定制)

准确度

±1.5%F.S

线性

±1%F.S

重复精度

±0.2%F.S

响应时间

气特性:1~4 Sec,电特性:10 Sec

工作压差范围

0.1~0.5 MPa

最大压力

3MPa

接口

Φ6,1/4''

显示

4位数字显示

工作环境温度

5~45高纯气体

压力真空表

-0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格

截止阀

Φ6

内外双抛不锈钢管

Φ6

低真空机组

空气相对湿度

≤85%

工作环境

5℃~40℃

工作电压

280V

抽气速率

32m³/h

极限真空

5X10-1Pa(空载冷态)

工作压力范围

1.01325X105~1.33X10-2Pa

耐压值

0.03MPa

进气口口径

KF40

排气口口径

KF40

连接方式

采用波纹管,手动挡板阀与波纹管相连

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