1200℃双温区PECVD系统 BTF-1200C-II-SL-PECVD
关键词:
PECVD
组合式PECVD
气相沉积
二维材料
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加热系统
· 电压:单相220V 50Hz
· 最高温度:1200℃
· 使用温度:≤1100℃
· 炉膛材料:氧化铝、高温纤维制品
· 炉膛有效尺寸:Ф50mm(炉管直径可根据实际需要定制)
· 加热区长度:200+200mm,恒温区长度:100+100mm
· 控温方式:30段可编程控温,PID参数自整定
· 控温精度:±1℃
· 加热元件:电阻丝
· 热电偶类型:K型
预热系统
· 额定功率:800W
· 使用温度:400℃
· 炉膛材料:氧化铝、高温纤维制品
· 炉膛有效尺寸:Ф50mm(炉管直径可根据实际需要定制)
· 加热区长度:100mm
· 控温方式:30段可编程控温,PID参数自整定
· 控温精度:±1℃
· 加热元件:电阻丝
· 热电偶类型:K型
PE系统
· 供电电压:单相交流(187V-253V) 频率50/60Hz
· 功率输出范围:0~500W
· 最大反射功率:100W
· 射频输出接口:50 Ω, N-type, female
· 功率稳定度:≤5W
· 谐波分量:≤-50dbc
· 整机效率:≥70%
· 功率因素:≥90%
· 冷却方式:强制风冷
3路质子流量控制系统
· 连接头类型:双卡套不锈钢接头
· 标准量程(N2):50sccm、100sccm、500sccm(可根据用户需求定制)
· 准确度:±1.5%F.S.
· 线性:±1%F.S.
· 重复精度:±0.2%F.S.
· 响应时间:气特性 1~4Sec,电特性 10Sec
· 工作压差范围:0.1~0.5MPa
· 最大压力:3MPa
· 接口:Φ6,1/4''
· 显示:4位数字显示
· 工作环境温度:5~45高纯气体
· 压力真空表:-0.1~0.15MPa, 0.01MPa/格
· 截止阀:Φ6
· 内外双抛不锈钢管:Φ6
低真空机组
· 工作电压:280V
· 工作环境温度:5~40℃
· 空气相对湿度:≤85%
· 抽气速率:32m³/h
· 极限真空:5 x 10-1Pa(空载冷态)
· 工作压力范围:1.01325 x 105 ~ 1.33 x 10-2Pa
· 耐压值:0.03MPa
· 进/排气口口径:KF40
· 连接方式:采用波纹管,手动挡板阀与波纹管相连
质保期
· 一年质保,终身维护
· 耗材部分如热电偶、密封圈、炉管等不包含在内
· 因人为损坏/使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内
注意事项
· 炉管内气压不可高于0.02MPa(相对气压)
· 对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂,法兰飞出等)
· 如工艺原因需要使用易燃易爆和有毒气体,请自行做好相关防护和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒气体过程误操作而造成的相关问题,本公司概不负责
· 随着使用时间的延长,炉膛可能会出现小裂纹,这是正常情况,裂纹可以用氧化铝涂层修复
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