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1200℃双温区PECVD系统 BTF-1200C-II-PECVD
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加热系统 |
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最高温度 |
1200℃ |
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使用温度 |
≤1100℃ |
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炉膛有效尺寸 |
Φ50（炉管直径可根据实际需求定制）
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炉膛材料 |
氧化铝、高温纤维制品 |
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热电偶 |
K型 |
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控温精度 |
±1℃ |
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控温方式 |
30段可编程控温，PID参数自整定
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加热区长度 |
200+200mm |
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恒温区长度 |
100+100mm |
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加热元件 |
电阻丝 |
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供电电源 |
单相，220V 50Hz |
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预热系统 |
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最高温度 |
400℃ |
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炉膛有效尺寸 |
Φ50（炉管直径可根据实际需求定制） |
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炉膛材料 |
氧化铝、高温纤维制品 |
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热电偶 |
K型 |
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控温精度 |
±1℃ |
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控温方式 |
30段可编程控温，PID参数自整定 |
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加热区长度 |
100mm |
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加热元件 |
电阻丝 |
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额定功率 |
800W |
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PE系统 |
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功率输出范围 |
0W~500W |
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最大反射功率 |
100W |
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射频输出接口 |
50 Ω, N-type, female |
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功率稳定度 |
≤5W |
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谐波分量 |
≤-50dbc |
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供电电压 |
单相交流（187V-253V） 频率50/60HZ |
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整机效率 |
≥70% |
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功率因素 |
≥90% |
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冷却方式 |
强制风冷 |
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三路质子流量控制系统 |
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连接头类型 |
双卡套不锈钢接头
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标准量程（N2) |
50sccm，100sccm、500sccm（可根据用户要求定制） |
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准确度 |
±1.5%F.S |
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线性 |
±1%F.S |
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重复精度 |
±0.2%F.S |
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响应时间 |
气特性：1～4 Sec，电特性：10 Sec |
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工作压差范围 |
0.1～0.5 MPa |
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最大压力 |
3MPa |
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接口 |
Φ6，1/4'' |
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显示 |
4位数字显示 |
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工作环境温度 |
5~45高纯气体 |
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压力真空表 |
－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格 |
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截止阀 |
Φ6 |
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内外双抛不锈钢管 |
Φ6 |
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低真空机组 |
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空气相对湿度 |
≤85% |
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工作环境 |
5℃～40℃ |
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工作电压 |
280V |
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抽气速率 |
32m³/h |
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极限真空 |
5X10-1Pa（空载冷态） |
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工作压力范围 |
1.01325X105～1.33X10-2Pa |
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耐压值 |
0.03MPa |
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进气口口径 |
KF40 |
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排气口口径 |
KF40 |
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连接方式 |
采用波纹管，手动挡板阀与波纹管相连
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