主要特点

· 该设备是由1200℃开启式管式炉、精密的质量流量控制系和真空系统所组成

· 广泛应用在半导体、纳米材料、碳纤维、石墨烯等新材料、新工艺领域

主要参数

· 电压：单相 220V，50/ 60Hz

· 额定功率：3KW

· 最高温度：1200℃

· 工作温度：≤1100℃

· 推荐升温速度：15℃/min

· 加热区长度：440mm，恒温区长度：200mm

· 加热元件：电阻丝

· 热电偶类型：K型热电偶

加热炉

· 材料：氧化铝、高温纤维制品

· 结构：开启式

· 外形尺寸：630 x 410 x 530mm（长*宽*高）

炉管&法兰

· 炉管规格：高纯石英管 外径Φ25/50/60/80/100 x 1000mm（管径可选）

· 炉管两端配有不锈钢密封法兰（包括精密针阀，指针式真空压力表和软管式宝塔嘴接头），端口可按实际使用扩展

温控系统

· 模糊PID控制和自整定调节

· 智能化30段可编程控制，客户可根据不同的需求来设定升降温程序

· 具有超温和断偶报警功能

· 控温精度：±1℃

三路质子流量控制系统

· 标准量程（N₂）：200sccm、500sccm、1000sccm (可根据客户需求定制)

· 准确度：±1.5%F.S.

· 线性：±1%F.S.

· 重复精度：±0.2%F.S.

· 响应时间：气特性：1～4 Sec，电特性：10 Sec

· 工作压差范围：0.1～0.5 MPa

· 最大压力：3MPa

· 接口：Φ6,1/4''

· 显示：4位数字显示

· 工作环境温度：5~45高纯气体

· 压力真空表：－0.1～0.15MPa, 0.01MPa/格

· 截止阀：Φ6

· 内外双抛不锈钢管：Φ6

· 连接头类型：双卡套不锈钢接头

低真空机组

· 电源：220V±10% 50~60Hz，功率：1KW

· 空气相对湿度：≤85%

· 工作环境温度：5~40℃

· 抽气速率：10m³/h

· 极限真空度：5x10^-1Pa

· 工作压力范围：1.01325X10⁵～1.33X10^-2Pa

· 耐压值：0.03MPa

· 用油量：1.1L

· 进/排气连接口口径：KF25

· 噪音：50dB

· 连接方式：采用波纹管，手动挡板阀与波纹管相连

质保期

· 一年质保，终身维护

· 耗材部分如热电偶、密封圈、石英管等不包含在内

· 因人为损坏/使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内

注意事项

· 石英管内气压不可高于0.02MPa（相对气压）

· 由于气瓶内部气压较高，所以向石英管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀。为了确保安全，建议采购压力低于0.02MPa的减压阀产品

· 对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等）

· 不建议客户使用易燃易爆和有毒的气体，如工艺原因确实需要使用易燃易爆和有毒气体，请自行做好相关防护和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒气体而造成的相关问题，本公司概不负责