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产品名称
1200℃三温区管式CVD设备 BTF-1200C-III-3ZL-CVD
所属分类
多温区CVD系统
零售价
0.00
数量
-
+
库存
0
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产品描述
产品参数
这是一款组合管式CVD设备。该设备主要由多路供气系统、三温区加热炉、低真空系统、以及智能控压组件组成。
1、开启式加热炉：
三温区加热炉使用轻质氧化铝纤维材质，K型热电偶测温搭配优质电阻丝为加热原件，内部温场均匀。
2、多路供气系统
质量流量计可按照程序设定，对多路气体进行单独或者混合。操作方便，控制精确。
3、智能控压组件
通过真空计实时监测管内压力，PLC根据设定压力大小调节阀开启大小，以控制管内压力稳定。
4、低真空系统
配备进口机械泵，进口真空计，质量可靠。
|
最高温度 |
1200℃ |
|
持续工作温度 |
≤1100℃ |
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升温速率 |
≤10℃/min |
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控温精度 |
±1℃ |
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加热元件 |
电阻丝 |
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热电偶 |
K型 |
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控温方式 |
模糊PID控制和自整定调节，人工智能化30段可编程控制，具有超温和断偶报警功能 |
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加热总功率 |
≤8KW |
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加热区尺寸 |
300+300+300mm |
|
设备主体尺寸（长*宽*高） |
2000*700*1300mm |
|
设备重量 |
约150KG |
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无
卷对卷连续走丝CVD沉积系统 RTR-1700C-III-CVD
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