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1200℃三温区管式CVD设备 BTF-1200C-III-3ZL-CVD

设备型号:BTF-1200C-III-3ZL-CVD 设备组成:该设备主要由多路供气系统、三温区加热炉、低真空系统、以及智能控压组件组成。

关键词:

CVD

三温区

低真空CVD

所属分类:

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  • 构造说明

    · 开启式加热炉:三温区加热炉使用轻质氧化铝纤维材质,K型热电偶测温搭配优质电阻丝为加热原件,内部温场均匀

    · 多路供气系统:质量流量计可按照程序设定,对多路气体进行单独或者混合,操作方便,控制精确

    · 智能控压组件:通过真空计实时监测管内压力,PLC根据设定压力大小调节阀开启大小,以控制管内压力稳定

    · 低真空系统:配备进口机械泵,进口真空计,质量可靠

    主要参数

    · 电压:AC 220V,加热总功率:≤8KW

    · 最高温度:1200℃

    · 持续工作温度:≤1100℃

    · 升温速度:≤10℃/min

    · 加热区长度:300+300+300mm

    · 加热元件:电阻丝

    · 热电偶类型:K型热电偶

    温控系统

    · 模糊PID控制和自整定调节

    · 人工智能化30段可编程控制

    · 具有超温和断偶报警功能

    · 控温精度:±1℃

    尺寸&重量

    · 设备主体尺寸:2000 x 700 x 1300mm(长*宽*高)

    · 设备重量:约150kg

    气路系统参数(质量流量计多种路数可选)

    · 质量流量计参考量程(N2):100sccm、200sccm、500sccm、1000sccm (量程可选)

    · 准确度:±1.5%

    · 线性:±0.5~1.5%

    · 重复精度:±0.2%

    · 响应时间:≤10 Sec

    · 工作压差范围:0.1~0.5 MPa

    · 最大压力:3MPa

    · 接口:Φ6,1/4''

    · 显示:4位数字显示

    · 工作环境温度:5~45高纯气体

    · 压力真空表:-0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格

    · 截止阀:Φ6

    · 内外双抛不锈钢管:Φ6

    · 连接头类型:双卡套不锈钢接头

    低真空系统参数

    · 电源:220V 50Hz,电机功率:0.4KW

    · 抽速:10m³/h

    · 极限真空度:5x10-1Pa

    · 进/排气连接口:KF25

    · 用油量:1.1L

    · 电机转速:1440rpm

    · 工作环境温度:5~40℃

    · 噪音:≤56dB

    质保期

    · 一年质保,终身维护

    · 耗材部分如热电偶、密封圈、石英管等不包含在内

    · 因人为损坏/使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内

    注意事项

    · 石英管内气压不可高于0.02MPa(相对气压)

    · 由于气瓶内部气压较高,所以向石英管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀。为了确保安全,建议采购压力低于0.02MPa的减压阀产品

    · 对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂,法兰飞出等)

    · 不建议客户使用易燃易爆和有毒的气体,如工艺原因确实需要使用易燃易爆和有毒气体,请自行做好相关防护和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒气体而造成的相关问题,本公司概不负责

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