加热系统

· 额定电压：AC 208-240V Single Phase，50/60 Hz；额定功率：7KW

· 最高温度：1200℃

· 持续工作温度：≤1100℃

· 推荐升温速率：15℃/min

· 炉管规格：高纯石英管 Φ80mm

· 加热区长度：200+200+200mm，恒温区长度：300mm

· 控温方式：模糊PID控制和自整定调节，智能化30段可编程控制，具有超温和断偶报警功能

· 加热元件：电阻丝

预热系统

· 前端预热器在二硫化钼实验中，可对硫、磷等固态源进行加热蒸发

· 型号：BTF-500C

· 电压：220V，额定功率：800W

· 最高温度：800℃

· 工作温度：500℃

· 最快升温速率：30℃/min

· 推荐升温速率：10℃/min

· 加热元件：电阻丝

· 控温方式：智能化30段可编程控制

· 控温精度：±1℃

供气系统（3路）

· 该供气系统是一种可控制三种气体按不同流量进行混合配比，也可根据实验需求加装洗气装置，质量流量计安装于密封的可移动机柜内，由超洁双抛不锈钢管与精密双卡套接头连接组成。触摸屏控制，此款设备与各款真空管式炉和真空机组组成CVD系统

· 工作电压：185~245V 50 Hz，最大输出功率：18W

· 进出气：路进气，2路出气；其中2路气体经过质量流量计进入混气罐混合后输出，1路气体进入质量流量计后单独输出

· 工作温度：5~45℃

· 工作压差：0.1～0.5MPa

· 最大压力：3MPa

· 准确度：±1.5%F.S.

· 压力真空表：－0.1～0.15MPa( 0.01MPa/grid）

· 混气罐：Φ80 x 120mm

· 截止阀：Φ6mm

· 尺寸：600 x 600 x 650mm

低真机组

· VAU-02是一套低真空机组，内部安装机械泵1台，复合真空计1套，并含有配套使用的波纹管，手动挡板阀，卡箍等连接部件

· 空气相对湿度：≤85%

· 电源：220V±10% 50~60Hz，功率：1KW

· 抽气速率：10m³/h

· 极限真空：4 x 10^-2Pa

· 实验真空度：1.0 x 10^-1Pa

· 进/排气连接口：KF25

· 容油量：1.1L

· 转速：1450rpm

· 噪音：50dB

· 外形尺寸：600 x 600 x 650mm

真空计参数

· 型号：PPG-800K

· 适用范围：适合于各类气体或甚至于混合气体的场合

· 测量范围：1.0 x 10^-3 ～ 1.33 x 10⁵Pa

· 测量精度：1.33 × 10² ~ 1.33 × 10⁵Pa ±0.15%的满量程

· 安装方向：任意无限制

· 电压：18~30VDC，功率：1.4W（开机时2W）

· 外形尺寸（含规管）：48 × 30 × 68（93）mm

尾气处理系统

· 双级尾气处理气体，前级做一个液封安全瓶，后期为NaOH溶剂吸收瓶

· 瓶体为304不锈钢材质，内喷四氟

质保期

· 一年质保，终身维护

· 耗材部分如热电偶、密封圈、炉管等不包含在内

· 因人为损坏/使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内

注意事项

· 管内气压不可高于0.02MPa（相对气压）

· 对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等）

· 如工艺原因需要使用易燃易爆和有毒气体，请自行做好相关防护和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒气体过程误操作而造成的相关问题，本公司概不负责

· 随着使用时间的延长，炉膛可能会出现小裂纹，这是正常情况，裂纹可以用氧化铝涂层修复