1200℃前端预热法硫化钼制备CVD设备 BTF-1200C-Ⅲ-S-400C-D

预热系统

前端预热器在二硫化钼实验中，可对硫，磷等固态源进行加热蒸发

型号

BTF-500C

工作温度

500℃

最高温度

800℃

最快升温速率

30℃/min

推荐升温速率

10℃/min

控温方式

智能化30段可编程控制

工作电压

AC 220V

额定功率

800W

控温精度

±1℃

加热元件

电阻丝

加热系统

额定功率

7KW

额定电压

AC 208-240V Single Phase，50/60 Hz

最高温度

1200℃

持续工作温度

≤1100℃

推荐升温速率

15℃/min

炉管尺寸

高纯石英管Φ80mm

加热区长度

200+200+200mm

恒温区长度

300mm

控温方式

模糊PID控制和自整定调节，智能化30段可编程控制，具有超温和断偶报警功能

加热元件

电阻丝

供气系统（3路）

该供气系统是一种可控制三种气体按不同流量进行混合配比，也可根据实验需求加装洗气装置，质量流量计安装于密封的可移动机柜内，由超洁双抛不锈钢管与精密双卡套接头连接组成。触摸屏控制，此款设备与各款真空管式炉和真空机组组成CVD系统。

工作电压

185~245V，50 Hz

最大输出功率

18W

进出气

3路进气，2路出气

其中2路气体经过质量流量计进入混气罐混合后输出，1路气体进入质量流量计后单独输出

流量计标准

MFC1、MFC2：Ar、O2；MFC3：Ar

（量程可选，根据需求定制）

工作温度

4~45℃

工作压差

0.1~0.5Mpa

最大压力

3Mpa

准确度

±1.5%F.S

压力表测量范围

-0.1~0.15 MPa（0.01 MPa/grid）

混气罐

Φ80*120mm

截止阀

Φ6mm

尺寸

600*600*650mm

低真空机组

VAU-02是一套低真空机组，内部安装机械泵1台，复合真空计1套，并含有配套使用的波纹管，手动挡板阀，卡箍等连接部件。

空气相对湿度

≤85%

工作电电压

220V±10% 50~60HZ

功率

1千瓦

抽气速率

10m³/h

极限真空

4X10^-2Pa

实验真空度

1.0X10^-1Pa

容油量

1.1L

进气口口径

KF25

排气口口径

KF25

转速

1450rpm

噪音

50dB

外型尺寸

600×600×650m

真空计参数

型号

PPG-800K

适用范围

适合于各类气体或甚至于混合气体的场合

测量范围

1.0×10^-3~1.33×10⁵Pa

测量精度

1.33×10²~1.33×10⁵Pa ±0.15%的满量程

安装方向

任意无限制

电源电压

18~30VDC

电源功率

1.4W（开机时2W）

外型尺寸（含规管）

48×30×68（93）mm

尾气处理系统

双级尾气处理气体，前级做一个液封安全瓶，后期为NaOH溶剂吸收 瓶。瓶体为304不锈钢材质，内喷四氟。