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产品名称
磁力拉杆式硫化钼制备CVD设备
所属分类
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产品描述
产品参数
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加热炉 |
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电源 |
单相220V，50Hz |
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极限温度 |
1200℃ |
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工作温度 |
≤1100℃ |
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温度控制器 |
PID自动控制晶闸管（可控硅）输出功率， 30段可编程控制器
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升温速率 |
≤50℃/min |
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加热区长度 |
200+200mm |
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恒温区长度 |
100+100mm |
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控温精度 |
±1℃ |
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炉管尺寸 |
外径Φ25/50/60/80/100*1000mm（可选）
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3路质量流量供气系统（触摸屏控制）
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最大电压 |
185~245V 50Hz |
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最大输出功率 |
18W |
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流量计标准量程（N2) |
100sccm、200sccm、500sccm （非特殊指定以氮气标定，量程可选定） |
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工作温度 |
5~45℃ |
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准确度 |
±1.5%FS |
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工作压差 |
0.1～0.5 MPa |
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最大压力 |
3MPa |
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低真空系统
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抽速 |
8.11m³/h |
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极限总压 |
3x10-3mabr |
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进排气口 |
DN 25KF |
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噪音 （气镇开关时，距离1米处测量） |
54dB |
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注油量 |
0.7-1.1L |
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重量 |
21Kg |
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工作温度 |
10~40℃ |
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功率 |
550W |
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