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产品名称
磁力拉杆式硫化钼制备CVD设备
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产品描述
产品参数
加热炉 |
|
电源 |
单相220V,50Hz |
极限温度 |
1200℃ |
工作温度 |
≤1100℃ |
温度控制器 |
PID自动控制晶闸管(可控硅)输出功率, 30段可编程控制器 |
升温速率 |
≤50℃/min |
加热区长度 |
200+200mm |
恒温区长度 |
100+100mm |
控温精度 |
±1℃ |
炉管尺寸 |
外径Φ25/50/60/80/100*1000mm(可选) |
3路质量流量供气系统(触摸屏控制) |
|
最大电压 |
185~245V 50Hz |
最大输出功率 |
18W |
流量计标准量程(N2) |
100sccm、200sccm、500sccm (非特殊指定以氮气标定,量程可选定) |
工作温度 |
5~45℃ |
准确度 |
±1.5%FS |
工作压差 |
0.1~0.5 MPa |
最大压力 |
3MPa |
低真空系统 |
|
抽速 |
8.11m³/h |
极限总压 |
3x10-3mabr |
进排气口 |
DN 25KF |
噪音 (气镇开关时,距离1米处测量) |
54dB |
注油量 |
0.7-1.1L |
重量 |
21Kg |
工作温度 |
10~40℃ |
功率 |
550W |
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