磁力拉杆式硫化钼制备CVD设备

加热炉

电源

单相220V，50Hz

极限温度

1200℃

工作温度

≤1100℃

温度控制器

PID自动控制晶闸管（可控硅）输出功率， 30段可编程控制器

升温速率

≤50℃/min

加热区长度

200+200mm

恒温区长度

100+100mm

控温精度

±1℃

炉管尺寸

外径Φ25/50/60/80/100*1000mm（可选）

3路质量流量供气系统（触摸屏控制）

最大电压

185~245V  50Hz

最大输出功率

18W

流量计标准量程（N₂)

100sccm、200sccm、500sccm

（非特殊指定以氮气标定，量程可选定）

工作温度

5~45℃

准确度

±1.5%FS

工作压差

0.1～0.5 MPa

最大压力

3MPa

低真空系统

抽速

8.11m³/h

极限总压

3x10^-3mabr

进排气口

DN 25KF

噪音

（气镇开关时，距离1米处测量）

54dB

注油量

0.7-1.1L

重量

21Kg

工作温度

10~40℃

功率

550W