1200℃台面式等离子体增强真空回转炉 BTF-1200C-R-PECVD
关键词:
PECVD
Plasma增强PECVD系统
炉管360°旋转
粉料烧结
正负极材料制备
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结构说明
· 加热系统:该加热系统的加热腔体采用氧化铝纤维制品,其极低的热导率和比热容,保证了炉膛的快速升温和低蓄热,该系统设置有超温、欠温、断偶报警保护功能,大大降低了对操作人员经验的要求。温区为单温区,温区长440mm,异形石英管规格采用Φ60*Φ100*1200mm
· Plasma系统:本系统借助于辉光放电产生等离子体,辉光放电等离子体中,电子密度高,通过反应气态放电,有效利用了非平衡等离子体的反应特征,从根本上改变了反应体系的能量供给方式
· 炉管转动系统:炉管转动系统可以让炉管360°匀速转动,转速在0.25-25r/min连续可调
· 触屏操作系统:该系统可以让设备在自动模式下高度自动化运行,所有参数程序设定好后自动运行:可实现按照设定程序连续工作,可设置多工作段不同参数,并可进行某工作段循环工作及某程序循环工作
· 进出气法兰组件:设备法兰左端为进气端,一侧配有球阀控制的进气口,另一侧预留KF25接口,上部配有压力表,左侧端面为KF50接口。右端为出气端,一侧由球阀控制的出气口,另一侧为KF25抽口,上部配有真空计,右侧端面为KF50接口
· 炉管:炉管为异形石英管,通过左右两端磁流体密封法兰实现真空下的回转
· 真空系统:由一个电容真空计和一台DRV16机械泵组成,抽口端由KF25手动挡板阀控制,并配有粉尘过滤器
主要参数
· 额定电压:AC 220V,额定功率:4KW
· 最高温度:1200℃
· 工作温度:≤1100℃
· 加热区长度:440mm,恒温区长度:200mm
· 炉管规格:异形石英管,两端Φ60*420mm,中间Φ100*360mm,总长1200mm
· 炉管旋转速率:3~13r/min(可调)
· 加热元件:电阻丝
· 热电偶:K型热电偶
温控系统
· 模糊PID控制和自整定调节
· 智能化30段可编程控制
· 具有超温和断偶报警功能
· 控温精度:±1℃
真空系统(选配)
· 型号:DRV-10
· 抽气速率:10m³/h
· 极限压强:5×10-1 Pa(空载、冷态)
· 容油量:1.1 L
· 进/出气口口径:KF25
(可选国产或进口高真空机组)
质保期
· 一年质保,终身维护
· 耗材部分如热电偶、硅胶圈、炉管、样品坩埚等不包含在内
· 因人为使用不当/使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内
注意事项
· 炉管内气压不可高于0.02MPa(相对气压)
· 对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂,法兰飞出等)
· 如工艺原因需要使用易燃易爆和有毒气体,请自行做好相关防护和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒气体过程误操作而造成的相关问题,本公司概不负责
· 随着使用时间的延长,炉膛表面可能会出现小裂纹,这是正常情况,裂纹可以用氧化铝涂层修复
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