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等离子体增强回转PECVD系统 BTF-1200C-R-PECVD
设备型号:BTF-1200C-R-PECVD 设备简介:我司研制的回转PECVD系统能使整个实验腔体都处于辉光产生区,辉光均匀等效,这种技术很好的解决了传统等离子工作不稳定状态,这样离子化的范围和强度是传统PECVD的百倍,并解决了物料不均匀堆积现象;该款设备选用特殊形状(两头细中间粗)的石英管作为化学气相沉积的反应室;加热的同时炉管可360度旋转,管内壁有石英挡片帮助粉体材料翻炒有助于烧结得更均匀;而且炉体可左右大角度倾斜,方便进出料,倾斜角度在0~35°可调。 设备应用:此款设备现广泛应用于低温石墨烯制备实验、粉体材料碳包覆实验。
连续进出料等离子体增强回转PECVD设备 BTF-1200C-RP-PECVD
设备型号:BTF-1200C-RP-PECVD 设备简介:该款设备是全自动Plasma增强CVD系统(PECVD),连续可控温度以及Plasma强度等,配备真空系统,可以低压条件下实现工艺,PECVD系统能使整个实验腔体都处于辉光产生区,辉光相对均匀等效,很好的解决了传统等离子工作不稳定状态,该设备炉管可360°旋转,有助于粉料的烧结更均匀,可大角度倾斜,方便进出料,倾斜角度在0-35°之间,所有物料经过的管道都选用非金属材质,如:进出料腔体选用石英材质,推料杆选用石英及聚四氟材质。
迷你智能型等离子体可回转化学气相沉积系统 BTF-1200C-S-R-PECVD
设备型号: BTF-1200C-R-S-PECVD 设备简介:本款设备可以做金属复合石墨烯材料,是目前最高端的金属复合材料制备设备。可以用于动力电池,提升电池内阻和能量密度,有效解决新能源汽车电池的问题。该设备炉管可360度旋转,管内壁有石英挡片帮助粉料翻转有助于烧结得更均匀;全自动Plasma增强CVD系统(PECVD),系统可以实现连续滑动温区,连续可控温度以及Plasma强度等,配备真空系统,可以实现低压条件下的实验,针对低温石墨烯、碳纳米管生长等。PECVD系统能使整个实验腔体都处于辉光产生区,辉光均匀等效,这种技术很好的解决了传统等离子工作不稳定状态,这样离子化的范围和强度是传统PECVD的百倍,并解决了物料不均匀堆积现象。
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