TEL:400-0033-603
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产品描述
产品参数
（1）该款设备是小型浮动催化 CVD 系统，配备真空系统，可以低压条件下进行实验；设备配有双向推拉注射泵、氧分析仪、防爆控制柜、收集罐、密封腔室等组件。
（2）加热炉为三温区立式炉，上端法兰配有导液杆（可上下调节）和 1 个进气口；下端法兰配有安全保护泄压装置，底部配有收集罐，收集罐放置于小车上便于移动，真空系统方面由一个电阻规和一台 BSV30机械泵组成；尾部配有不锈钢过滤装置；加热炉炉体为密封结构，同时备有可通循环气体的进出口。
（3）防爆控制柜配有 15 寸触摸屏及按钮操作组件，下方配有氧分析仪、触摸防爆鼠标以及气路手阀组件；柜体左侧配有可切换鼓泡装置的组件；最顶部箱体配有双向推拉注射泵，供液体连续工作。
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电压 |
380V |
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功率 |
13.5KW |
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加热区长度 |
250mm*250mm*250mm |
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工作温度 |
≤1500℃ |
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推荐升温速率 |
1400℃以下≤10℃/min，1400℃到1600℃≤5℃/min，1600℃以下≤2℃/min |
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热电偶 |
B型热电偶 |
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控温方式 |
模糊PID控制和自动整定调节，智能化30段可编程控制，具有超温和断偶报警功能 |
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加热元件 |
硅钼棒 12根（每个温区上下各4根） |
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加热炉尺寸 |
1225*1220*2350mm（长x宽x高） |
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控制柜尺寸 |
1110*1020*2710mm（长x宽x高） |
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设备总重 |
约780Kg |
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