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产品名称

小型浮动催化系统 BTF-1500C-CVD

设备型号:BTF-1500C-CVD
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产品描述
产品参数

(1)该款设备是小型浮动催化 CVD 系统,配备真空系统,可以低压条件下进行实验;设备配有双向推拉注射泵、氧分析仪、防爆控制柜、收集罐、密封腔室等组件。
(2)加热炉为三温区立式炉,上端法兰配有导液杆(可上下调节)和 1 个进气口;下端法兰配有安全保护泄压装置,底部配有收集罐,收集罐放置于小车上便于移动,真空系统方面由一个电阻规和一台 BSV30机械泵组成;尾部配有不锈钢过滤装置;加热炉炉体为密封结构,同时备有可通循环气体的进出口。
(3)防爆控制柜配有 15 寸触摸屏及按钮操作组件,下方配有氧分析仪、触摸防爆鼠标以及气路手阀组件;柜体左侧配有可切换鼓泡装置的组件;最顶部箱体配有双向推拉注射泵,供液体连续工作。
 

电压

380V

功率

13.5KW

加热区长度

250mm*250mm*250mm

工作温度

≤1500℃

推荐升温速率

1400℃以下≤10℃/min,1400℃到1600℃≤5℃/min,1600℃以下≤2℃/min

热电偶

B型热电偶

控温方式

模糊PID控制和自动整定调节,智能化30段可编程控制,具有超温和断偶报警功能

加热元件

硅钼棒  12根(每个温区上下各4根)

加热炉尺寸

1225*1220*2350mm(长x宽x高)

控制柜尺寸

1110*1020*2710mm(长x宽x高)

设备总重

约780Kg

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