结构说明

· 该款设备是小型浮动催化 CVD 系统，配备真空系统，可以低压条件下进行实验；设备配有双向推拉注射泵、氧分析仪、防爆控制柜、收集罐、密封腔室等组件

· 加热炉为三温区立式炉，上端法兰配有导液杆（可上下调节）和 1 个进气口；下端法兰配有安全保护泄压装置，底部配有收集罐，收集罐放置于小车上便于移动，真空系统方面由一个电阻规和一台 BSV30机械泵组成；尾部配有不锈钢过滤装置；加热炉炉体为密封结构，同时备有可通循环气体的进出口

· 防爆控制柜配有 15 寸触摸屏及按钮操作组件，下方配有氧分析仪、触摸防爆鼠标以及气路手阀组件；柜体左侧配有可切换鼓泡装置的组件；最顶部箱体配有双向推拉注射泵，供液体连续工作

主要参数

· 额定电压：380V，功率：13.5KW

· 工作温度：≤1500℃

· 加热区尺寸：250 + 250 + 250mm

· 推荐升温速率：1400℃以下≤10℃/min，1400℃到1600℃≤5℃/min，1600℃以下≤2℃/min

· 加热元件：硅钼棒 12根（每个温区上下各4根）

· 热电偶类型：B型

温控系统

· 模糊PID控制和自整定调节

· 智能化30段可编程控制

· 具有超温和断偶报警功能

· 控温精度：±1℃

尺寸&重量

· 加热炉尺寸：1225 x 1220 x 2350mm（长*宽*高）

· 控制柜尺寸：1110 x 1020 x 2710mm（长*宽*高）

· 设备总重：约780kg

质保期

· 一年质保，终身维护

· 因人为损坏、耗材部分（如热电偶、密封圈等）不在保修范围内