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产品名称
小型三温区PECVD设备 BTF-1200C-III-S-PECVD
所属分类
简易版
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产品描述
产品参数
这是一款定制组合式PECVD设备。该设备主要由加热炉、射频组件、气路柜组成。
1、开启式加热炉
加热炉膛采用超轻氧化铝纤维材料,配K型热电偶,3点控温;设备升降温控制灵活、加热炉可开启方便客户更换维修反应管。
2、射频组件
500W射频机组,可以使整个实验腔体都处于辉光产生区,辉光均匀等效。
3、气路柜组件
可控制多种气体按照不同流量进行混合配比,由超洁双抛不锈钢管与精密双卡套接头组成,外形美观,操作简便,数据直观可读。

加热总功率 |
≤7KW |
额定电压 |
220V |
最高温度 |
1200℃ |
工作温度 |
≦1100℃ |
升温速率 |
≦10℃/min |
加热元件 |
电阻丝 |
加热区长度 |
200+200+200mm |
热电偶 |
K型热电偶 |
控温方式 |
模糊PID控制和自动整定调节,智能化30段可编程控制,具有超温和断偶报警功能 |
控温精度 |
±1℃ |
设备尺寸 |
2700x600x1250mm |
设备重量 |
约180KG |
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无
1200℃双炉滑轨PECVD
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