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1200℃小型三温区PECVD设备 BTF-1200C-III-S-PECVD

设备型号:BTF-1200C-III-S-PECVD 设备组成:这是一款定制组合式PECVD设备,该设备主要由加热炉、射频组件、气路柜组成。

关键词:

PECVD

组合式PECVD

碳纳米管制备

石墨烯生长

所属分类:

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    · 开启式加热炉:加热炉膛采用超轻氧化铝纤维材料,配K型热电偶,3点控温;设备升降温控制灵活、加热炉可开启方便客户更换维修反应管

    · 射频组件:500W射频机组,可以使整个实验腔体都处于辉光产生区,辉光均匀等效

    · 气路柜组件:可控制多种气体按照不同流量进行混合配比,由超洁双抛不锈钢管与精密双卡套接头组成,外形美观,操作简便,数据直观可读

    加热系统

    · 额定电压:220V,加热总功率:≤7KW

    · 最高温度:1200℃

    · 工作温度:≤1100℃

    · 升温速率:≤10℃/min

    · 加热区长度:200+200+200mm

    · 加热元件:电阻丝

    · 热电偶类型:K型

    温控系统

    · 模糊PID控制和自动整定调节

    · 智能化30段可编程控制

    · 具有超温和断偶报警功能

    · 控温精度:±1℃

    设备尺寸&重量

    · 设备尺寸:2700 x 600 x 1250mm

    · 设备重量:约180kg

    质保期

    · 一年质保,终身维护

    · 耗材部分如热电偶、密封圈、炉管等不包含在内

    · 因人为使用不当或使用腐蚀性气体、酸性气体造成的相关问题不在保修范围内

    注意事项

    · 炉管内气压不可高于0.02MPa(相对气压)

    · 由于气瓶内部气压较高,所以向石英管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀。为了确保安全,减压后压力在0.2~0.4MPa,减压后的气体须经过流量计控制流量进入炉管

    · 对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂,法兰飞出等)

    · 如工艺原因需要使用易燃易爆和有毒气体,请自行做好相关防护和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒气体过程误操作而造成的相关问题,本公司概不负责

    · 随着使用时间的延长,炉膛可能会出现小裂纹,这是正常情况,裂纹可以用高纯氧化铝修复涂料修复

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