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小型三温区PECVD设备 BTF-1200C-III-S-PECVD
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产品名称

小型三温区PECVD设备 BTF-1200C-III-S-PECVD

设备型号:BTF-1200C-III-S-PECVD
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产品描述
产品参数

这是一款定制组合式PECVD设备该设备主要由加热炉、射频组件、气路柜组成。
1、开启式加热炉
加热炉膛采用超轻氧化铝纤维材料,配K型热电偶,3点控温;设备升降温控制灵活、加热炉可开启方便客户更换维修反应管。
2、射频组件
500W射频机组,可以使整个实验腔体都处于辉光产生区,辉光均匀等效。
3、气路柜组件
可控制多种气体按照不同流量进行混合配比,由超洁双抛不锈钢管与精密双卡套接头组成,外形美观,操作简便,数据直观可读。
 

加热总功率

≤7KW

额定电压

220V

最高温度

1200℃

工作温度

≦1100℃

升温速率

≦10℃/min

加热元件

电阻丝

加热区长度

200+200+200mm

热电偶

K型热电偶

控温方式

模糊PID控制和自动整定调节,智能化30段可编程控制,具有超温和断偶报警功能

控温精度

±1℃

设备尺寸

2700x600x1250mm

设备重量

180KG

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