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1200℃三温区PECVD BTF-1200C-III-500A

设备型号:BTF-1200C-III-500A 设备简介:BTF-1200C-PECVD高温真空炉加热腔体采用氧化铝纤维制品,其极低的热导率和比热容,保证了炉膛的快速升温和低蓄热,特别适合于科研单位的材料工艺研究。加热元件选用电阻丝加热,有利于炉内温度场的均匀分布。高温真空电阻炉温度控制系统采用经典的闭环负反馈控制系统,控温仪表选用智能型程序温度调节仪表控温,电力调制器控制;负载采用小电压大电流控制,从而大大提高了发热元件的寿命,测温元件采用K型热偶。采用单回路温控仪能够自整定PID 参数,无须操作人员的干预,可自行根据不同温度曲线的升、降温要求调整输出信号,同时系统设置了超温、欠温、断偶报警保护功能,大大降低了对操作人员经验的要求,关键电气元件采用优质的进口产品,做到高性能、免维护,提高了设备质量的可靠性。 工艺应用:本设备主要针对实验和中试石墨烯生长和制备使用,同时该设备可以用于碳纳米管的生长。可制备出高质量的透明导电膜,用作手机触摸屏,平板电脑,智能穿戴,传感器等领域。

关键词:

PECVD

碳纳米管生长

石墨烯生长

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    · 电压:单相 220V 50Hz

    · 最高温度:1200℃

    · 使用温度:≤1100℃

    · 炉膛材料:氧化铝、高温纤维制品

    · 炉膛有效尺寸:Ф100mm(适用于2-3英寸样品,炉管直径可根据实际需要定制)

    · 加热区长度:200+200+200mm,恒温区长度:400mm

    · 加热元件:电阻丝

    · 热电偶类型:K型

    温控系统

    · 30段可编程控温,PID参数自整定

    · 操作界面为7寸工控电脑,内置PLC控制程序

    · 控温精度:±1℃

    PE射频电源

    · 供电电压:AC 220V 频率50/60Hz

    · 功率输出范围:500W

    · 射频输出接口:50 Ω, N-type, female

    · 功率稳定度:≤5W

    · 谐波分量:≤-50dbc

    · 整机效率:≥70%

    · 功率因素:≥90%

    · 冷却方式:强制风冷

    3路质子流量控制系统

    · 连接头类型:双卡套不锈钢接头

    · 标准量程(N2):50sccm、100sccm、500sccm(可根据用户需求定制)

    · 准确度:±1.5%F.S.

    · 线性:±1%F.S.

    · 重复精度:±0.2%F.S.

    · 响应时间:气特性:1~4Sec,电特性:10Sec

    · 工作压差范围:0.1~0.5MPa

    · 最大压力:3MPa

    · 接口:Φ6,1/4''

    · 显示:4位数字显示

    · 工作环境温度:5~45高纯气体

    · 压力真空表:-0.1~0.15MPa, 0.01MPa/格

    · 截止阀:Φ6

    · 内外双抛不锈钢管:Φ6

    低真空机组

    · 工作电压:220V±10%V 50~60Hz,功率:1KW

    · 工作环境温度:5~40℃

    · 空气相对湿度:≤85%

    · 抽气速率:16m³/h

    · 极限真空度:5x10-1Pa(空载、冷态)

    · 工作压力范围:1.01325X105~0.5Pa

    · 耐压值:0.03MPa

    · 容油量:1.1L

    · 进/排气口口径:KF25

    · 噪音:50dB

    · 连接方式:采用波纹管,手动挡板阀与波纹管相连

    质保期

    · 一年质保,终身维护

    · 耗材部分如热电偶、密封圈、炉管等不包含在内

    · 因人为使用不当或使用腐蚀性气体、酸性气体造成的相关问题不在保修范围内

    注意事项

    · 炉管内气压不可高于0.02MPa(相对气压)

    · 由于气瓶内部气压较高,所以向石英管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀。为了确保安全,减压后压力在0.2~0.4MPa,减压后的气体须经过流量计控制流量进入炉管

    · 对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂,法兰飞出等)

    · 如工艺原因需要使用易燃易爆和有毒气体,请自行做好相关防护和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒气体过程误操作而造成的相关问题,本公司概不负责

    · 随着使用时间的延长,炉膛可能会出现小裂纹,这是正常情况,裂纹可以用高纯氧化铝修复涂料修复

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