TEL:400-0033-603
销售热线:
总经理投诉电话:18009693519
------- 实验室预约 --------
微信公众号
1200℃三温区PECVD BTF-1200C-III-500A
加热系统 |
|
最高温度 |
1200℃ |
使用温度 |
≤1100℃ |
炉膛有效尺寸 |
Ф100mm(适用于2-3英寸样品,炉管直径可根据实际需要定制) |
炉膛材料 |
氧化铝、高温纤维制品 |
热电偶类型 |
K型热电偶 |
控温精度 |
±1℃ |
控温方式 |
30段可编程控温,PID参数自整定,操作界面为7”工控电脑,内置PLC控制程序 |
加热长度 |
200+200+200mm |
恒温长度 |
400mm |
加热原件 |
电阻丝 |
供电电源 |
单相,220V,50Hz |
PE射频电源 |
|
功率输出范围 |
0~150W/500W |
最大反射功率 |
100W |
射频输出接口 |
50 Ω, N-type, female |
功率稳定度 |
≤5W |
谐波分量 |
≤-50dbc |
供电电压 |
单相交流(187V-253V) 频率50/60Hz |
整机效率 |
≥70% |
功率因素 |
≥90% |
冷却方式 |
强制风冷 |
三路质子流量控制系统 |
|
连接头类型 |
双卡套不锈钢接头 |
标准量程(N2) |
50sccm、100sccm、500sccm(可根据客户要求定制) |
准确度 |
±1.5%F.S |
线性 |
±1%F.S |
重复精度 |
±0.2%F.S |
响应时间 |
气特性:1~4 Sec,电特性:10 Sec |
工作压差范围 |
0.1~0.5 MPa |
最大压力 |
3MPa |
接口 |
Φ6,1/4'' |
显示 |
4位数字显示 |
工作环境温度 |
5~45高纯气体 |
压力真空表 |
-0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格 |
截止阀 |
Φ6 |
内外双抛不锈钢管 |
Φ6 |
低真空机组 |
|
空气相对湿度 |
≤85% |
工作环境 |
5℃~40℃ |
工作电电压 |
220V±10% 50~60HZ |
功率 |
1KW |
抽气速率 |
10m³/h |
极限真空 |
5x10-1Pa |
工作压力范围 |
1.01325X105~1.33X10-2Pa |
耐压值 |
0.03MPa |
容油量 |
1.1L |
进气口口径 |
KF25 |
排气口口径 |
KF25 |
噪音 |
50dB |
连接方式 |
采用波纹管,手动挡板阀与波纹管相连 |