主要特点

· 可控制两种气体按不同流量进行混合配比，也可根据实验需求加装洗气装置

· 质量流量计安装于密封的可移动机柜内，由超洁双抛不锈钢管与精密双卡套接头连接组成

· 此款设备与BEQ品牌的各款真空管式炉和真空机组组成CVD系统

质量流量控制器

· 工作电压：185~245V 50Hz

· 最大输出功率：18W

· 流量计标准量程：100sccm，200sccm（非特殊指定以氮气标定，量程可选）

· 工作温度：5~45℃

· 工作压差：0.1~0.5MPa

· 最大压力：3MPa

· 准确度：±1.5% F.S.

机械压力表

· 测量范围：-0.1~0.15MPa（0.01MPa/grid）

· 针阀：316不锈钢

· 管件：不锈钢Φ6〞，尼龙管L12〞IDΦ6〞

· 气体混料罐：Φ80×140mm

· 截止阀：316不锈钢针阀Φ6〞

针阀

· 316不锈钢

混气罐

· Φ80×120mm

截止阀

· Φ6mm”316不锈钢针阀

设备尺寸

· 600 x 600 x 600mm

质保期

· 一年质保，终身维护（耗材部分不包含在内）

· 因人为损坏/使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内