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供气系统 2路质子

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产品描述
产品参数

  供气系统 2路质子 GMF-2Z

  该供气系统是一种可控制两种气体按不同流量进行混合配比,也可根据实验需求加装洗气装置,质量流量计安装于密封的可移动机柜内,由超洁双抛不锈钢管与精密双卡套接头连接组成。此款设备与BEQ品牌的各款真空管式炉和真空机组组成CVD系统。

 

配置组件

技术参数

质量流量控制器

工作电压:

185~245V 50HZ

最大输出功率:

18W

流量计标准量程:

100sccm,200sccm(非特殊指定以氮气标定,量程可选)

工作温度:

5~45℃

工作压差:

0.1~0.5MPa

最大压力:

3MPa

准确度:

±1.5% FS

机械压力表

测量范围:

-0.1~0.15 MPa(0.01 MPa/grid)

针阀

316不锈钢

混气罐

Φ80×120mm

截止阀

Φ6mm”316不锈钢针阀

尺寸

600×600×650 mm

 

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