主要特点

· 500W射频机组：射频能使整个实验腔体都处于辉光产生区，辉光均匀等效，这种技术很好的解决了传统等离子工作不稳定状态，同时等离子体起增强的作用，从而很大程度上优化实验的工艺条件

· 供气系统：该供气系统是一种可控制2种气体按不同流量进行混合配比，也可根据实验需求加装洗气装置，质量流量计安装于密封的可移动机柜内，由超洁双抛不锈钢管与精密双卡套接头连接组成。触摸屏控制，此款设备与BEQ品牌的各款真空管式炉和真空机组组成CVD系统

· 低真空系统：内部安装双极旋片机械泵1台，电容真空计1套，并含有配套使用的波纹管，手动挡板阀，卡箍等连接部件。设备冷态极限真空可达0.5Pa

主要参数

· 额定电压：AC 220V 50/60Hz

· 额定功率：射频 500W，真空机组 550W

尺寸&重量

· 设备尺寸：1800 x 670 x 1250 mm（长*宽*高）

· 设备净重：约200kg

质保期

· 一年质保，终身维护

· 因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内