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产品名称

1200℃双炉滑轨PECVD

设备简介:双温场滑轨炉PECVD(等离子化学气相沉积系统)系统,有多路质量流量计系统(进口流量计),真空机组(进口真空泵),PE射频电源(进口射频源),温控系统等装置构成。使用PE源将气源等离子化,有利于降低工艺温度,同时扩大工艺的使用条件,满足更多的工艺实验要求,如石墨烯、碳纳米管等,控制操作系统集成于触摸屏操作面板上,便于操作与观察。
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产品描述
产品参数

双温场滑轨炉

额定功率

4KW

额定电压

AC 208-240V Single Phase,50/60 Hz

最高温度

1200℃

持续工作温度

1100℃

最大升& 降温速率

≤20℃/S

炉管尺寸

高纯石英管Φ50×1900(管径可选)

加热长度

230+230mm

恒温长度

100+100mm

控温方式

模糊PID控制和自整定调节,智能化30段可编程控制,具有超温和断偶报警功能

控温精度

±1℃

密封系统

炉管两端配304不锈钢水冷密封法兰(包括精密针阀,指针式真空压力表)

法兰进气端配置两个Φ6mm卡套进气口

净重

80Kg

射频电源

信号频率

13.56 MHz±0.005%

功率输出范围

L5W~500W

最大反射功率

200W

射频输出接口

50 Ω, N-type, female

功率稳定度

±0.1%

谐波分量

≤-50dbc

供电电压

单相交流(187V-253V) 频率50/60Hz

整机效率

≥70%

功率因素

≥90%

冷却方式

强制风冷

供气系统

工作电压

185~245V 50Hz

最大输出功率

18W

流量计标准量程

100sccm,200sccm,200sccm,500sccm

(非特殊指定以氮气标定,量程可选)

工作温度

5~45℃

工作压差

0.1~0.5MPa

最大压力

3MPa

准确度

±1.5% FS

测量范围

-0.1~0.15 MPa(0.01 MPa/grid)

针阀

316不锈钢

混气罐

Φ80×120mm

截止阀

Φ6mm”316不锈钢针阀

尺寸

600×600×650 mm

低真空机组VAU-02

空气相对湿度

≤85%

工作电压

220V±10%  50~60Hz

抽气速率

8m³/h

极限真空

4X10-2Pa

实验真空度

1.0X10-1Pa

容油量

1.1L

进气口口径

KF25

排气口口径

KF25

转速

1450rpm

噪音

50dB

外形尺寸

600*600*600mm

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