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1200℃双炉滑轨PECVD

设备简介:双温场滑轨炉PECVD(等离子化学气相沉积系统)系统,有多路质量流量计系统(进口流量计),真空机组(进口真空泵),PE射频电源(进口射频源),温控系统等装置构成。使用PE源将气源等离子化,有利于降低工艺温度,同时扩大工艺的使用条件,满足更多的工艺实验要求,如石墨烯、碳纳米管等,控制操作系统集成于触摸屏操作面板上,便于操作与观察。

关键词:

PECVD

双独立温场

滑轨炉

碳纳米管制备

石墨烯生长

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  • 双温场滑轨炉

    · 额定电压:AC 208-240V Single Phase,50/60 Hz

    · 额定功率:4KW

    · 最高温度:1200℃

    · 持续工作温度:≤1100℃

    · 最大升/降温速率:≤20℃/min

    · 加热区长度:230+230mm,恒温区长度:100+100mm

    · 加热元件:电阻丝

    · 热电偶类型:K型

    炉管&法兰

    · 炉管规格:高纯石英管Φ50×1900mm(管径可选)

    · 密封系统:炉管两端配304不锈钢水冷密封法兰(包括精密针阀,指针式真空压力表);法兰进气端配置两个Φ6mm卡套进气口

    温控系统

    · 模糊PID控制和自整定调节

    · 智能化30段可编程控制

    · 具有超温和断偶报警功能

    · 控温精度:±1℃

    设备重量

    · 净重:约80kg

    PE射频电源

    · 供电电压:单相交流(187V-253V) 频率50/60Hz

    · 信号频率:13.56MHz±0.005%

    · 功率输出范围:L5W~500W

    · 最大反射功率:200W

    · 射频输出接口:50 Ω, N-type, female

    · 功率稳定度:±0.1%

    · 谐波分量:≤-50dbc

    · 整机效率:≥70%

    · 功率因素:≥90%

    · 冷却方式:强制风冷

    供气系统

    · 工作电压:185~245V 50Hz

    · 最大输出功率:18W

    · 流量计标准量程(N2):100sccm、200sccm、200sccm、500sccm(非特殊指定以氮气标定,量程可选)

    · 工作温度:5~45℃

    · 工作压差范围:0.1~0.5MPa

    · 最大压力:3MPa

    · 准确度:±1.5%F.S.

    · 测量范围:-0.1~0.15MPa(0.01MPa/grid)

    · 针阀:316不锈钢

    · 混气罐:Φ80 x 120mm

    · 截止阀:Φ6

    · 尺寸:600 x 600 x 650mm

    低真空机组VAU-02

    · 工作电压:220V±10%V 50~60Hz

    · 空气相对湿度:≤85%

    · 抽气速率:8m³/h

    · 极限真空:4 x 10-2Pa

    · 实验真空度:1.0 x 10-1Pa

    · 容油量:1.1L

    · 进/排气口口径:KF25

    · 转速:1450rpm

    · 噪音:50dB

    · 外形尺寸:600 x 600 x 600mm

    质保期

    · 一年质保,终身维护

    · 耗材部分如热电偶、密封圈、炉管等不包含在内

    · 因人为损坏/使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内

    注意事项

    · 炉管内气压不可高于0.02MPa(相对气压)

    · 对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂,法兰飞出等)

    · 如工艺原因需要使用易燃易爆和有毒气体,请自行做好相关防护和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒气体过程误操作而造成的相关问题,本公司概不负责

    · 随着使用时间的延长,炉膛可能会出现小裂纹,这是正常情况,裂纹可以用氧化铝涂层修复

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