1200℃双炉滑轨PECVD

双温场滑轨炉

额定功率

4KW

额定电压

AC 208-240V Single Phase，50/60 Hz

最高温度

1200℃

持续工作温度

1100℃

最大升& 降温速率

≤20℃/S

炉管尺寸

高纯石英管Φ50×1900（管径可选）

加热长度

230+230mm

恒温长度

100+100mm

控温方式

模糊PID控制和自整定调节，智能化30段可编程控制，具有超温和断偶报警功能

控温精度

±1℃

密封系统

炉管两端配304不锈钢水冷密封法兰（包括精密针阀，指针式真空压力表)

法兰进气端配置两个Φ6mm卡套进气口

净重

80Kg

射频电源

信号频率

13.56 MHz±0.005%

功率输出范围

L5W~500W

最大反射功率

200W

射频输出接口

50 Ω, N-type, female

功率稳定度

±0.1%

谐波分量

≤-50dbc

供电电压

单相交流（187V-253V） 频率50/60Hz

整机效率

≥70%

功率因素

≥90%

冷却方式

强制风冷

供气系统

工作电压

185~245V 50Hz

最大输出功率

18W

流量计标准量程

100sccm，200sccm，200sccm，500sccm

（非特殊指定以氮气标定，量程可选）

工作温度

5~45℃

工作压差

0.1~0.5MPa

最大压力

3MPa

准确度

±1.5% FS

测量范围

-0.1~0.15 MPa（0.01 MPa/grid）

针阀

316不锈钢

混气罐

Φ80×120mm

截止阀

Φ6mm”316不锈钢针阀

尺寸

600×600×650 mm

低真空机组VAU-02

空气相对湿度

≤85%

工作电压

220V±10%  50~60Hz

抽气速率

8m³/h

极限真空

4X10^-2Pa

实验真空度

1.0X10^-1Pa

容油量

1.1L

进气口口径

KF25

排气口口径

KF25

转速

1450rpm

噪音

50dB

外形尺寸

600*600*600mm