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1200℃小型双温区回转PECVD BTF-1200C-S-R-II-PECVD

设备型号:BTF-1200C-S-R-II-PECVD

关键词:

PECVD

回转PECVD

炉管360°旋转

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  • 主要构造

    · 开启式加热炉:单温区加热炉使用轻质氧化铝纤维材质,K型热电偶测温搭配优质电阻丝为加热原件,内部温场均匀使用寿命长

    · 旋转机构:可根据设定调整炉管旋转速度,在0-10r/min范围内进行调节,让反应管内物料充分反应

    · 举升机构:可大角度倾斜炉体,配合炉管旋转可将炉管内粉料倒出

    · 控制系统:采用智能PID模糊控制,30段可编程控制,具有超温和断偶报警功能

    · 射频组件:射频组件使整个实验腔体都处于辉光产生区,辉光均匀等效,解决了传统等离子工作不稳定状态,并解决了物料不均匀堆积现象

    主要参数

    · 额定电压:AC 220V 50/60Hz

    · 额定总功率:加热炉 1.2KW,射频 300W,推杆 200W

    · 最高温度:1200℃

    · 持续工作温度:≤1100℃

    · 推荐升温速率:≤10℃/min

    · 加热区长度:100+100mm

    · 加热元件:电阻丝

    · 测温热电偶:K型

    温控系统

    · 模糊PID控制和自整定调节

    · 智能化30段可编程控制,客户可根据不同的需求来设定升降温程序

    · 具有超温和断偶报警功能

    · 控温精度:±1℃

    尺寸&重量

    · 回转炉尺寸:1600x700x1300mm(长*宽*高)

    · 供气系统尺寸:600x700x700mm(长*宽*高)

    · 回转炉重:约160kg

    · 供气系统重:约45kg

    质保期

    · 一年质保,终身维护

    · 耗材部分如测温热电偶、氟胶圈、异形石英管等不包含在内

    · 因人为使用不当或使用腐蚀性气体、酸性气体造成的相关问题不在保修范围内

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