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等离子体增强回转PECVD系统 BTF-1200C-R-PECVD
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产品名称

等离子体增强回转PECVD系统 BTF-1200C-R-PECVD

设备型号:BTF-1200C-R-PECVD 设备简介:我司研制的回转PECVD系统能使整个实验腔体都处于辉光产生区,辉光均匀等效,这种技术很好的解决了传统等离子工作不稳定状态,这样离子化的范围和强度是传统PECVD的百倍,并解决了物料不均匀堆积现象;该款设备选用特殊形状(两头细中间粗)的石英管作为化学气相沉积的反应室;加热的同时炉管可360度旋转,管内壁有石英挡片帮助粉体材料翻炒有助于烧结得更均匀;而且炉体可左右大角度倾斜,方便进出料,倾斜角度在0~35°可调。 设备应用:此款设备现广泛应用于低温石墨烯制备实验、粉体材料碳包覆实验。
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产品描述
产品参数

加热炉

最高温度

1200℃

加热区长度

440mm

恒温区长度

200mm

加热元件

电阻丝(掺钼铁铬铝合金)

控温精度

±1℃

控温方式

7"液晶触屏与工控仪表双重控温,模糊PID控制和自整定调节,智能化30段可编程控制,具有超温和断偶报警功能

炉管尺寸

Φ60*420mm+Φ100*360mm+Φ60*420mm

炉管转速

3~13r/min

倾斜角度

0~35°

PE源

信号频率

13.56MHz±0.005%

功率输出范围

0-500W

射频输出接口

50Ω,N-type,female

功率稳定性

≤5W

气路系统

供气系统

高精度质量流量计(量程可选)

准确度

±1.5%

响应精度

±0.2%

响应时间

气特性:1~4sec,电特性:10sec

工作压差范围

0.1~0.5MPa

最大压力

3MPa

连接头类型

Φ6mm双卡套不锈钢接头

真空系统

真空系统

采用KF25系列波纹管和手动挡板阀

真空度可达10-1Pa

数显真空测试仪可直观的显示数值

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