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等离子体增强回转PECVD系统 BTF-1200C-R-PECVD

设备型号:BTF-1200C-R-PECVD 设备简介:我司研制的回转PECVD系统能使整个实验腔体都处于辉光产生区,辉光均匀等效,这种技术很好的解决了传统等离子工作不稳定状态,这样离子化的范围和强度是传统PECVD的百倍,并解决了物料不均匀堆积现象;该款设备选用特殊形状(两头细中间粗)的石英管作为化学气相沉积的反应室;加热的同时炉管可360度旋转,管内壁有石英挡片帮助粉体材料翻炒有助于烧结得更均匀;而且炉体可左右大角度倾斜,方便进出料,倾斜角度在0~35°可调。 工艺应用:此款设备现广泛应用于低温石墨烯制备实验、粉体材料碳包覆实验。

关键词:

PECVD

回转PECVD

粉体碳包覆

石墨烯制备

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    · 电压:单相220V 50Hz

    · 最高温度:1200℃

    · 使用温度:≤1100℃

    · 炉管规格:异形石英管,两端Φ60*420mm,中间Φ100*360mm,总长1200mm

    · 加热区长度:440mm,恒温区长度:200mm

    · 炉管转速:3~13r/min

    · 倾斜角度:0~35°

    · 控温方式:7"液晶触屏与工控仪表双重控温,模糊PID控制和自整定调节,智能化30段可编程控制,具有超温和断偶报警功能

    · 控温精度:±1℃

    · 加热元件:电阻丝

    · 热电偶类型:K型

      

    PE射频电源

    · 供电电压:单相交流(187V-253V) 频率50/60Hz

    · 信号频率:13.56MHz±0.005%

    · 功率输出范围:0~500W

    · 最大反射功率:100W

    · 射频输出接口:50 Ω, N-type, female

    · 功率稳定度:≤5W

    · 谐波分量:≤-50dbc

    · 整机效率:≥70%

    · 功率因素:≥90%

    · 冷却方式:强制风冷

    气路系统

    · 供气系统:高精度质量流量计(量程可选)

    · 准确度:±1.5%F.S.

    · 线性:±1%F.S.

    · 重复精度:±0.2%F.S.

    · 响应时间:气特性:1~4Sec,电特性:10Sec

    · 工作压差范围:0.1~0.5MPa

    · 最大压力:3MPa

    · 连接头类型:双卡套不锈钢接头

    真空系统

    · 抽气速率:10m³/h

    · 极限真空度:5 x 10-1Pa

    · 工作压力范围:1.01325 x 105  1.33 x 10-2Pa

    · 耐压值:0.03MPa

    · 容油量:1.1L

    · 进/排气口口径:KF25

    · 噪音:50dB

    · 连接方式:采用波纹管,手动挡板阀与波纹管相连

    质保期

    · 一年质保,终身维护

    · 耗材部分如热电偶、密封圈、炉管等不包含在内

    · 因人为损坏/使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内

    注意事项

    · 炉管内气压不可高于0.02MPa(相对气压)

    · 对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂,法兰飞出等)

    · 如工艺原因需要使用易燃易爆和有毒气体,请自行做好相关防护和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒气体过程误操作而造成的相关问题,本公司概不负责

    · 随着使用时间的延长,炉膛表面可能会出现小裂纹,这是正常情况,裂纹可以用氧化铝涂层修复

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