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产品名称
等离子体增强回转PECVD系统 BTF-1200C-R-PECVD
所属分类
产品中心
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产品描述
产品参数
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加热炉 |
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最高温度 |
1200℃ |
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加热区长度 |
440mm |
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恒温区长度 |
200mm |
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加热元件 |
电阻丝（掺钼铁铬铝合金） |
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控温精度 |
±1℃ |
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控温方式 |
7"液晶触屏与工控仪表双重控温，模糊PID控制和自整定调节，智能化30段可编程控制，具有超温和断偶报警功能 |
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炉管尺寸 |
Φ60*420mm+Φ100*360mm+Φ60*420mm
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炉管转速 |
3~13r/min |
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倾斜角度 |
0~35° |
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PE源 |
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信号频率 |
13.56MHz±0.005% |
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功率输出范围 |
0-500W |
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射频输出接口 |
50Ω，N-type，female |
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功率稳定性 |
≤5W |
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气路系统 |
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供气系统 |
高精度质量流量计（量程可选）
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准确度 |
±1.5% |
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响应精度 |
±0.2% |
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响应时间 |
气特性：1~4sec，电特性：10sec |
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工作压差范围 |
0.1~0.5MPa |
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最大压力 |
3MPa |
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连接头类型 |
Φ6mm双卡套不锈钢接头
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真空系统 |
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真空系统 |
采用KF25系列波纹管和手动挡板阀
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真空度可达10-1Pa |
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数显真空测试仪可直观的显示数值 |
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