回转CVD设备 BTF-1200C-V-R-280

加热系统

该加热系统的加热腔体采用氧化铝纤维制品，其极低的热导率和比热容，保证了炉膛的快速升温和低蓄热，特别适合于科研实验处理，电力调制器控制；负载采用小电压大电流控制，从而大大提高了发热元件的寿命，测温元件为K型热电偶。采用单回路温控仪能够自整定PID 参数，无须操作人单位的材料工艺研究。加热元件选用电阻丝加热，适合中低温度加热系统。

高温真空电阻炉温度控制系统采用经典的闭环负反馈控制系统，控温仪表选用智能型程序温度调节仪表控员的干预，可自行根据不同温度曲线的升、降温要求调整输出信号，同时系统设置了超温、欠温、断偶报警保护功能，大大降低了对操作人员经验的要求。

炉管转动系统

炉管转动系统可以让炉管360°匀速转动，转速在0-60r/min连续可调，且能在60r/min转速下长时间运行。管内壁有石英挡片帮助粉料翻转有助于烧结更均匀。

螺旋送料器

先将样品储存于样品罐中，通过螺旋送料器将样品送入石英管内。送料完成之后送料杆退回到原始位置。周而复始，达到自动送料。

供气系统

供气系统是一种可控制三种气体按不同流量进行混合配比，也可根据实验需求加装洗气装置，质量流量计安装于密封的可移动机柜内，由超洁双抛不锈钢管与精密双卡套接头连接组成，触摸屏控制。

真空系统

真空机组，内部安装机械泵1台，电阻真空计1套，并含有配套使用的波纹管，手动挡板阀，卡箍等连接部件。

加热主体设备技术参数

腔体尺寸

外径Φ280 ，Φ300，Φ400，Φ500，Φ600尺寸可选 （中间异型区域尺寸）

炉膛保温材料

氧化铝纤维

表面温度

≤60℃

加热元件

进口KTL电阻丝

加热区数量

5区，每个温度独立控制，使温场均匀性更好

加热区长度

300+300+300+300+300mm

恒温区长度

真空条件两端加氧化铝管堵的情况下，五个温区设定同一温度使恒温区可达1200mm

最高温度

1200℃

建议长时间使用温度

＜1100℃

控温精度

±1℃

升温速率

0-20℃/min，建议升温速率10℃/min

设备功率

28KW

设备工作电源

380V/50HZ

热电偶型号

K型

控制器

可编程控温仪表，PID调节，升、降保温全自动

控温方式

人机界面加PLC控制，10寸液晶屏控制，数字工控仪表双控，采用工业智能控温仪表和软件实现双控，采用模糊型PID控制

无纸记录

内置存储记录运行工艺数据，外接USB接口，可以电脑连接一键拷贝数据

结构描述

设备可对半电动开启，加快冷却速度、表面温度低于60℃

转动密封收集系统

炉管一端配有不锈钢密封可转动水冷法兰、螺旋送料装置

三路供气系统参数

连接头类型

双卡套不锈钢接头

标准量程（N2)

500sccm、1000sccm、2000sccm（量程型号根据要求定制）

耐压

3MPa

接口

Φ6

显示

液晶屏显示

工作环境温度

5~45高纯气体

内外双抛不锈钢管

Φ6

压力真空表

－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格

截止阀

Φ6卡套接头

真空机组参数

空气相对湿度

≤85%

工作环境

5℃～40℃

工作电压

220V±10%  50~60HZ

功率

1KW

抽气速率

60m³/h

极限真空

5X10^-1Pa

工作压力范围

1.01325X10⁵～1.33X10^-2Pa

耐压值

0.03MPa

容油量

1.1L

进气口口径

KF40

排气口口径

KF40

连接方式

采用波纹管，手动挡板阀与波纹管相连

电阻真空计参数

配用规管

ZJ-52T电阻规

测量范围

10 ⁵ ～10 ^-1 Pa

测量路数

1路

控制范围

5×10 ³ ～5×10 ^-1 Pa

控制方式

继电器触点输出，负载能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)无感负载

电源

90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz

功耗

20W