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产品名称
多功能回转CVD系统 BTF-1400C-II-OP-R
所属分类
工艺定制CVD系统
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产品描述
产品参数
加热系统、炉管转动系统、供气系统、真空系统，工控及操作系统。
1、加热系统：
该加热系统的加热腔体采用氧化铝纤维制品，其极低的热导率和比热容，保证了炉膛的快速升温和低蓄热，特别适合于科研温，电力调制器控制；负载采用小电压大电流控制，从而大大提高了发热元件的寿命，测温元件采用K型热偶。采用单回路温控仪能够自整定PID 参数，无须操作人单位的材料工艺研究。加热元件选用电阻丝加热，适合中低温度加热系统。
高温真空电阻炉温度控制系统采用经典的闭环负反馈控制系统，控温仪表选用智能型程序温度调节仪表控员的干预，可自行根据不同温度曲线的升、降温要求调整输出信号，同时系统设置了超温、欠温、断偶报警保护功能，大大降低了对操作人员经验的要求。
2、炉管转动系统：
炉管转动系统可以让炉管360°匀速转动，转速在0-60r/min连续可调，且能在60r/min转速下长时间运行。管内壁有石英挡片帮助粉料翻转有助于烧结得更均匀。
3、供气系统：
供气系统是一种可控制3种气体按不同流量进气的装置，浮子流量计安装于密封的可移动机柜内，由超洁双抛不锈钢管与精密双卡套接头连接组成。
4、真空系统：
真空系统内部安装机械泵1台，电阻真空计1套，并含有配套使用的波纹管，手动挡板阀，卡箍等连接部件。
1、此款设备提供一个双温区的温场，两个温区可独立控制。
2、保温材料采用氧化铝纤维防尘处理，炉膛可开启。
3、加热元件采用硅碳棒，最高使用温度可以达到1400度，使用寿命长，温场流场均匀。
4、采用触摸屏和工控电脑自动控制，参数设置和操作直观方便，参数自动记录保持。
5、设备集成化设计、以及集成化管理，美观方便。
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加热主体 |
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额定功率 |
10KW |
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额定电压 |
AC 220V （L+N+PE）2P 63A空开 |
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最高温度 |
1400℃ |
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持续工作温度 |
≤1300℃ |
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推荐升温速率 |
≤10℃/min |
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加热区数量 |
2区，独立控温 |
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加热区长度 |
300+300mm |
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热电偶 |
S型热电偶 |
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控温方式 |
人机界面加PLC控制，10寸液晶屏控制，数字工控仪表双控，采用工业智能控温仪表和软件实现双控，采用模糊型PID控制 |
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控温精度 |
±1℃ |
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加热元件 |
硅碳棒 |
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腔体尺寸 |
中间外径Ø100* 端头外径Ø60*长度1400mm |
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管径尺寸 |
Φ60*1400mm |
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炉膛保温材料 |
氧化铝纤维 |
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表面温度 |
≤60℃ |
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金属密封法兰 |
磁流体密封法兰 |
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控制器 |
可编程控温仪表，PID调节，升、降保温全自动 |
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无纸记录 |
内置存储记录运行工艺数据，外接USB接口可以电脑连接一键拷贝数据 |
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三路供气系统 |
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连接头类型 |
双卡套不锈钢接头 |
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流量计类型 |
浮子流量计（3个），量程可选 |
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最大压力 |
3MPa |
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接口 |
Φ6 |
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内外双抛不锈钢管 |
Φ6 |
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压力真空表 |
－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格 |
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截止阀 |
Φ6卡套接头 |
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真空系统 |
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空气相对湿度 |
≤85% |
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工作电电压 |
220V±10% 50~60HZ |
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功率 |
1千瓦 |
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抽气速率 |
10m3/h |
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实验真空度 |
5.0X10-1Pa |
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容油量 |
1.1L |
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进气口口径 |
KF25 |
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排气口口径 |
KF25 |
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转速 |
1450rpm |
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噪音 |
50dB |
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真空计 |
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配用规管 |
ZJ-52T电阻规 |
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测量范围 |
10 5 ～10 -1 Pa |
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测量路数 |
1路 |
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控制范围 |
5×10 3 ～5×10 -1 Pa |
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控制方式 |
继电器触点输出，负载能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)无感负载 |
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电源 |
90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz |
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功耗 |
20W |
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