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多功能回转CVD系统 BTF-1400C-II-OP-R

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产品名称

多功能回转CVD系统 BTF-1400C-II-OP-R

设备型号：BTF-1400C-II-OP-R

所属分类

工艺定制CVD系统

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产品描述

产品参数

加热系统、炉管转动系统、供气系统、真空系统，工控及操作系统。

1、加热系统：

该加热系统的加热腔体采用氧化铝纤维制品，其极低的热导率和比热容，保证了炉膛的快速升温和低蓄热，特别适合于科研温，电力调制器控制；负载采用小电压大电流控制，从而大大提高了发热元件的寿命，测温元件采用K型热偶。采用单回路温控仪能够自整定PID 参数，无须操作人单位的材料工艺研究。加热元件选用电阻丝加热，适合中低温度加热系统。

高温真空电阻炉温度控制系统采用经典的闭环负反馈控制系统，控温仪表选用智能型程序温度调节仪表控员的干预，可自行根据不同温度曲线的升、降温要求调整输出信号，同时系统设置了超温、欠温、断偶报警保护功能，大大降低了对操作人员经验的要求。

2、炉管转动系统：

炉管转动系统可以让炉管360°匀速转动，转速在0-60r/min连续可调，且能在60r/min转速下长时间运行。管内壁有石英挡片帮助粉料翻转有助于烧结得更均匀。

3、供气系统：

供气系统是一种可控制3种气体按不同流量进气的装置，浮子流量计安装于密封的可移动机柜内，由超洁双抛不锈钢管与精密双卡套接头连接组成。

4、真空系统：

真空系统内部安装机械泵1台，电阻真空计1套，并含有配套使用的波纹管，手动挡板阀，卡箍等连接部件。

1、此款设备提供一个双温区的温场，两个温区可独立控制。

2、保温材料采用氧化铝纤维防尘处理，炉膛可开启。

3、加热元件采用硅碳棒，最高使用温度可以达到1400度，使用寿命长，温场流场均匀。

4、采用触摸屏和工控电脑自动控制，参数设置和操作直观方便，参数自动记录保持。

5、设备集成化设计、以及集成化管理，美观方便。

加热主体
额定功率	10KW
额定电压	AC 220V （L+N+PE）2P 63A空开
最高温度	1400℃
持续工作温度	≤1300℃
推荐升温速率	≤10℃/min
加热区数量	2区，独立控温
加热区长度	300+300mm
热电偶	S型热电偶
控温方式	人机界面加PLC控制，10寸液晶屏控制，数字工控仪表双控，采用工业智能控温仪表和软件实现双控，采用模糊型PID控制
控温精度	±1℃
加热元件	硅碳棒
腔体尺寸	中间外径Ø100* 端头外径Ø60*长度1400mm
管径尺寸	Φ60*1400mm
炉膛保温材料	氧化铝纤维
表面温度	≤60℃
金属密封法兰	磁流体密封法兰
控制器	可编程控温仪表，PID调节，升、降保温全自动
无纸记录	内置存储记录运行工艺数据，外接USB接口可以电脑连接一键拷贝数据
三路供气系统
连接头类型	双卡套不锈钢接头
流量计类型	浮子流量计（3个），量程可选
最大压力	3MPa
接口	Φ6
内外双抛不锈钢管	Φ6
压力真空表	－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格
截止阀	Φ6卡套接头
真空系统
空气相对湿度	≤85%
工作电电压	220V±10% 50~60HZ
功率	1千瓦
抽气速率	10m³/h
实验真空度	5.0X10^-1Pa
容油量	1.1L
进气口口径	KF25
排气口口径	KF25
转速	1450rpm
噪音	50dB
真空计
配用规管	ZJ-52T电阻规
测量范围	10⁵ ～10 ^-1 Pa
测量路数	1路
控制范围	5×10³ ～5×10^-1 Pa
控制方式	继电器触点输出，负载能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)无感负载
电源	90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz
功耗	20W

等离子增加化学气相沉积系统 BTF-1200C-SL-A