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多功能回转CVD系统 BTF-1400C-II-OP-R

设备型号:BTF-1400C-II-OP-R 设备组成:加热系统、炉管转动系统、供气系统、真空系统、工控及操作系统。

关键词:

CVD

回转CVD

炉管360°回转

双温区

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    · 加热系统:加热腔体采用氧化铝纤维制品,其极低的热导率和比热容,保证了炉膛的快速升温和低蓄热,特别适合于科研温,电力调制器控制;负载采用小电压大电流控制,从而大大提高了发热元件的寿命,测温元件采用K型热偶。采用单回路温控仪能够自整定PID 参数,无须操作人单位的材料工艺研究。加热元件选用电阻丝加热,适合中低温度加热系统。

    高温真空电阻炉温度控制系统采用经典的闭环负反馈控制系统,控温仪表选用智能型程序温度调节仪表控员的干预,可自行根据不同温度曲线的升、降温要求调整输出信号,同时系统设置了超温、欠温、断偶报警保护功能,大大降低了对操作人员经验的要求

    · 炉管转动系统:可以让炉管360°匀速转动,转速在0-60r/min连续可调,且能在60r/min转速下长时间运行。管内壁有石英挡片帮助粉料翻转有助于烧结得更均匀

    · 供气系统:是一种可控制3种气体按不同流量进气的装置,浮子流量计安装于密封的可移动机柜内,由超洁双抛不锈钢管与精密双卡套接头连接组成

    · 真空系统:内部安装机械泵1台,电阻真空计1套,并含有配套使用的波纹管,手动挡板阀,卡箍等连接部件

    主要特点

    · 此款设备提供一个双温区的温场,两个温区可独立控制

    · 保温材料采用氧化铝纤维防尘处理,炉膛可开启

    · 加热元件采用硅碳棒,最高使用温度可以达到1400度,使用寿命长,温场流场均匀

    · 采用触摸屏和工控电脑自动控制,参数设置和操作直观方便,参数自动记录保持

    · 设备集成化设计、以及集成化管理,美观方便

    主要参数

    · 额定电压:AC 220V,额定功率:10KW

    · 最高温度:1400℃

    · 持续工作温度:≤1300℃

    · 推荐升温速度:≤10℃/min

    · 加热区长度:300+300mm(2区,独立控温)

    · 加热元件:硅碳棒

    · 热电偶类型:S型

    加热炉

    · 材料:氧化铝纤维

    · 结构:开启式

    · 腔体尺寸:中间外径Φ100mm* 端头外径Φ60mm*长度1400mm

    · 表面温度:≤60℃

    炉管&法兰

    · 管径尺寸:Φ60 x 1400mm

    · 金属密封法兰:磁流体密封法兰

    控制系统

    · 人机界面加PLC控制,10寸液晶屏控制,数字工控仪表双控

    · 采用工业智能控温仪表和软件实现双控

    · 采用模糊型PID控制

    · 控温精度:±1℃

    · 控制器:可编程控温仪表,PID调节,升、降保温全自动

    · 无纸记录:内置存储记录运行工艺数据,外接USB接口可以电脑连接一键拷贝数据

    三路供气系统

    · 连接头类型:双卡套不锈钢接头

    · 流量计类型:浮子流量计(3个),量程可选

    · 最大压力:3MPa

    · 接口:Φ6

    · 内外双抛不锈钢管:Φ6

    · 压力真空表:-0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格

    · 截止阀:Φ6卡套接头

    真空系统

    · 空气相对湿度:≤85%

    · 电源:220V±10% 50~60Hz,功率:1KW

    · 抽气速率:10m³/h

    · 实验真空度:5.0 x 10-1Pa

    · 进/排气连接口:KF25

    · 容油量:1.1L

    · 电机转速:1450rpm

    · 噪音:50dB

    真空计

    · 配用规管:ZJ-52T电阻规

    · 测量范围:105  10-1Pa

    · 测量路数:1路

    · 控制范围:5×103  5×10-1Pa

    · 控制方式:继电器触点输出,负载能力AC220V 3A (或DC28V 3A)无感负载

    · 电源:90-260V 50Hz或220V±10% 50Hz

    · 功耗:20W

    质保期

    · 一年质保,终身维护

    · 耗材部分如热电偶、密封圈、石英管等不包含在内

    · 因人为损坏/使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内

    注意事项

    · 石英管内气压不可高于0.02MPa(相对气压)

    · 对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂,法兰飞出等)

    · 如工艺原因需要使用易燃易爆和有毒气体,请自行做好相关防护和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒气体过程误操作而造成的相关问题,本公司概不负责

    · 随着使用时间的延长,炉膛可能会出现小裂纹,这是正常情况,裂纹可以用氧化铝涂层修复

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