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产品名称
1200℃连续进出料回转CVD生长设备 BTF-1200C-II-R-CVD
所属分类
工艺定制CVD系统
零售价
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数量
-
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产品描述
产品参数
该设备炉管可360°旋转,有助于粉料的烧结更均匀,可大角度倾斜,方便进出料,倾斜角度在0-35°之间。
加热系统,进料系统,出料系统,气体控制系统,低真空系统,炉管转动系统,电控操作系统。
(1)加热系统:
该加热系统的加热腔体采用氧化铝纤维制品,其极低的热导率和比热容,保证了炉膛的快速升温和低蓄热,特别适合于科研单位的材料工艺研究。加热元件选用电阻丝加热,适合中低温度加热系统。
高温真空电阻炉温度控制系统采用经典的闭环负反馈控制系统,控温仪表选用智能型程序温度调节仪表控温,电力调制器控制;负载采用小电压大电流控制,从而大大提高了发热元件的寿命,测温元件采用K型热偶。采用单回路温控仪能够自整定PID 参数,无须操作人员的干预,可自行根据不同温度曲线的升、降温要求调整输出信号,同时系统设置了超温、欠温、断偶报警保护功能,大大降低了对操作人员经验的要求。
额定功率 |
4KW |
额定电压 |
AC220V 50/60Hz |
最高温度 |
1200℃ |
使用温度 |
1100℃ |
炉管尺寸 |
Φ60*420mm*2+Φ100*360mm |
炉管旋转速率 |
0~60r/min |
炉体倾斜角度 |
0~35° |
炉膛材料 |
氧化铝、高温纤维制品 |
热电偶类型 |
K型热电偶 |
控温精度 |
±1℃ |
控温方式 |
30段可编程控温,PID参数自整定,操作界面为10”液晶触摸屏控制 |
加热长度 |
200mm+200mm |
恒温长度 |
250mm |
加热元件 |
电阻丝 |
(2)进料系统:
送料系统速度连续可调,停止送料且炉体倾斜最大时,物料不会从送料系统外漏,送料系统方便拆卸,拆卸后可手动加料,设备可正常运行。
(3)出料系统:
出料系统在炉体倾斜出料时可自动出料。
(4)气体控制系统:
该控气系统是可以控制两种气体按照不同流量进行混合配比的,也可以独立控制,质量流量计安装于密封的可移动的机柜内,由超洁双抛不锈钢管与精密双卡套接头连接组成。
连接头类型 |
双卡套不锈钢接头 |
标准量程(N2) |
第一路: 200 SCCM 第二路: 500 SCCM 第三路量程可选 |
准确度 |
±1.5%F.S |
线性 |
±1%F.S |
重复精度 |
±0.2%F.S |
响应时间 |
气特性:1~4 Sec,电特性:10 Sec |
工作压差范围 |
0.1~0.5 MPa |
最大压力 |
3MPa |
接口 |
Φ6,1/4'' |
显示 |
4位数字显示 |
工作环境温度 |
5~45高纯气体 |
压力真空表 |
-0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格 |
截止阀 |
Φ6 |
内外双抛不锈钢管 |
Φ6 |
(5)低真空系统:
该系统配备真空机械泵,可以抽真空,可以让设备在真空环境下进行反应。
空气相对湿度 |
≤85% |
工作环境 |
5℃~40℃ |
工作电电压 |
220V±10% 50~60HZ |
功率 |
1KW |
抽气速率 |
10m³/h |
极限真空 |
5X10-1Pa |
工作压力范围 |
1.01325X105~1.33X10-2Pa |
耐压值 |
0.03MPa |
容油量 |
1.1L |
进气口口径 |
KF25 |
排气口口径 |
KF25 |
噪音 |
50dB |
连接方式 |
采用波纹管,手动挡板阀与波纹管相连 |
(6)炉管转动系统:
炉管转动系统可以让炉管360°匀速转动,转速在0-60r/min连续可调,且能在60r/min转速下长时间运行。
(1)该设备炉管可360度旋转,管内壁有石英挡片帮助粉料翻转有助于烧结得更均匀;
(2)整个炉子和送料、收料系统能够一起倾斜,方便出放料,倾斜角度在0~35°之间可调;
(3)送料系统送料速度连续可调,停止送料且炉体最大倾斜时,物料不从送料系统外漏。送料系统方便拆卸,拆卸之后可以手动加料,设备可正常运行;
(4)炉管回转稳定,不会上下左右跳动;转速在0~60r/min连续可调,能在60r/min转速下连续长期运转(>24h)。
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