智能型滑轨式CVD系统 BTF-1200C-SL-L-CVD
关键词:
CVD
滑轨式CVD
定向CVD生长炉
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主要构成
炉膛及滑动系统
· 炉膛为440mm温区炉膛,配K型热电偶,单点控温
· 加热炉置于滑轨上,可手动在规定的范围内任意滑动到想要的位置并用限位器固定住
气路系统
· 气路系统采用4路流量计控制,经由不锈钢混气罐混合,再进入左端进气法兰
· 左端法兰端盖上预留1路进气口,内部有不锈钢导气管,可将气体导入加热区位置
主要参数
· 电压:220V 50/60Hz,额定功率:3KW(加热炉膛)
· 最高温度:1200℃
· 持续工作温度:≤1100℃
· 推荐升温速率:≤10℃/min
· 加热区长度:440mm
· 加热元件:电阻丝
· 热电偶类型:K型热电偶
炉管&法兰
· 炉管规格:高纯石英管Φ100 x 1650mm
· 不锈钢横向法兰,采用硅胶密封圈密封
温控系统
· 10寸触液晶屏触摸控制
· 模糊PID控制和自整定调节
· 智能化30段可编程控制
· 具有超温和断偶报警功能
· 控温精度:±1℃
尺寸&重量
· 炉体尺寸:220 x 750 x 1450mm
· 设备总重:约300kg
质保期
· 一年质保,终身维护
· 耗材部分如热电偶、密封圈、石英管等不包含在内
· 因认为损坏/使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内
注意事项
· 石英管内气压不可高于0.02MPa(相对气压)
· 对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂,法兰飞出等)
· 如工艺原因需要使用易燃易爆和有毒气体,请自行做好相关防护和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒气体过程误操作而造成的相关问题,本公司概不负责
· 随着使用时间的延长,炉膛可能会出现小裂纹,这是正常情况,裂纹可以用氧化铝涂层修复
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