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产品名称
1200℃双独立温区滑轨炉CVD设备（可用于生长硫化钼）BTF-1200C-II-SSL-CVD
所属分类
多温区CVD系统
零售价
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数量
-
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产品描述
产品参数
1、此款设备提供两个独立滑动的温场，两温场独立控制，每个温场的加热区的长度为230mm，可在实验过程中推进或推离样品，提供两个位置的快升降温。
2、纵向多接口真空法兰设计，各种附加接口具有高度可扩展性。航空铝合金法兰支架外形美观，轻便坚固耐腐蚀，安装调节简便易学。避免传统钣金法兰支架的安装调节不便，在安装多种附件时容易导致法兰偏斜漏气甚至石英管意外破碎的情况。
3、同时法兰端采用卡箍密封，这样就使进料出料更加的方便。
4、采用触摸屏和工控电脑自动控制，参数设置和操作直观方便，参数自动记录保持。
5、进气系统可以按照客户的实验需求配置几路质量流量计，流量计的量程也可以选择不同的配置，真空系统也可以根据客户的需求选择配置各种真空泵。
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加热系统 |
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工作电源 |
AC 220V 50Hz |
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额定功率 |
4KW |
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最高温度 |
1200℃ |
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工作温度 |
1100℃ |
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升温速度 |
20℃/min |
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加热区长度 |
230+230mm |
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恒温区长度 |
80+80mm |
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控温精度 |
±1℃ |
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控温方式 |
模糊PID控制和自整定调节，智能化30段可编程控制，具有超温和断偶报警功能 |
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加热元件 |
电阻丝（Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo） |
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炉管尺寸 |
外径（25mm、50mm)可选
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炉门结构 |
开启式 |
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供气系统
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标准量程（N2) |
100sccm、200sccm、500sccm |
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准确度 |
±1.5% |
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线性 |
±0.5～1.5% |
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重复精度 |
±0.2% |
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响应时间 |
气特性：1～4 Sec，电特性：10 Sec |
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工作压差范围 |
0.1～0.5 MPa |
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最大压力 |
3MPa |
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连接头类型 |
双卡套不锈钢接头Φ6
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低真空系统
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空气相对湿度 |
≤85% |
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工作电压 |
220V±10% 50~60HZ |
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功率 |
1KW |
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抽气速率 |
4L/S |
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极限真空 |
4X10-2Pa |
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实验真空度 |
1.0X10-1Pa |
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1200℃小三温区滑轨CVD BTF-1200C-III-S-SL-3ZL
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