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产品名称
1200℃滑轨式CVD石墨烯生长系统 BTF-1200C-SL-CVD
所属分类
单温区CVD系统
零售价
0.00
数量
-
+
库存
0
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产品描述
产品参数
加热系统 |
|
最高温度 |
1200℃ |
使用温度 |
≤1100℃ |
石英管尺寸 |
Φ25/50/60/80/100*1400mm |
炉膛材料 |
氧化铝、高温纤维制品 |
热电偶类型 |
K型热电偶 |
控温精度 |
±1℃ |
控温方式 |
30段可编程控制,PID参数自整定 |
加热区长度 |
440mm |
恒温区长度 |
200mm |
加热元件 |
电阻丝 |
供电电源 |
单相,220V 50Hz |
三路质子流量控制系统 |
|
连接头类型 |
双卡套不锈钢接头 |
标准量程(N2) |
200sccm,500sccm、1000sccm(可根据用户要求定制) |
准确度 |
±1.5%F.S |
线性 |
±1%F.S |
重复精度 |
±0.2%F.S |
响应时间 |
气特性:1~4 Sec,电特性:10 Sec |
工作压差范围 |
0.1~0.5 MPa |
最大压力 |
3MPa |
接口 |
Φ6,1/4'' |
显示 |
4位数字显示 |
工作环境温度 |
5~45高纯气体 |
压力真空表 |
-0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格 |
截止阀 |
Φ6 |
内外双抛不锈钢管 |
Φ6 |
低真空机组 |
|
空气相对湿度 |
≤85% |
工作环境 |
5℃~40℃ |
工作电电压 |
220V±10% 50~60HZ |
功率 |
1KW |
抽气速率 |
10m³/h |
极限真空 |
5X10-1Pa |
工作压力范围 |
1.01325X105~1.33X10-2Pa |
耐压值 |
0.03MPa |
容油量 |
1.1L |
进气口口径 |
KF25 |
排气口口径 |
KF25 |
噪音 |
50dB |
连接方式 |
采用波纹管,手动挡板阀与波纹管相连 |
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