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1200℃滑轨式CVD石墨烯生长系统 BTF-1200C-SL-CVD

设备型号:BTF-1200C-SL-CVD 设备简介:此款设备是专为生长石墨烯、碳纳米管研制的生长专用炉,也同样适用于要求升降温速度比较快的CVD实验,温区可独立程序控制,设备操作时可将实验需要的恒定高温直接推到样品处,使样品能得到一个快速的升温速度,同样也可将高温的管式炉直接推离样品处,使样品直接暴露在室温环境下,得到快速的降温速率。

关键词:

CVD

滑轨式CVD

石墨烯生长

碳纳米管制备

所属分类:

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  • 主要参数

    · 电压:单相 220V,50/60Hz

    · 额定功率:3KW

    · 最高温度:1200℃

    · 工作温度:≤1100℃

    · 推荐升温速度:20℃/min

    · 加热区长度:440mm,恒温区长度:200mm

    · 加热元件:电阻丝

    · 热电偶类型:K型热电偶

    加热炉

    · 材料:氧化铝、高温纤维制品

    · 结构:开启式,气动弹簧支撑结构

    · 滑动方式:加热炉底部装配滑轨,可手动调节滑动

    炉管&法兰

    · 炉管规格:高纯石英管 外径Φ25/50/60/80/100 x 1400mm(管径可选)

    · 炉管两端配有不锈钢密封法兰(包括精密针阀,指针式真空压力表和软管式宝塔嘴接头),端口可按实际使用扩展

    温控系统

    · 模糊PID控制和自整定调节

    · 智能化30段可编程控制,客户可根据不同的需求来设定升降温程序

    · 具有超温和断偶报警功能

    · 控温精度:±1℃

    三路质子流量控制系统

    · 标准量程(N2):200sccm、500sccm、1000sccm (可根据客户需求定制)

    · 准确度:±1.5%F.S.

    · 线性:±1%F.S.

    · 重复精度:±0.2%F.S.

    · 响应时间:气特性:1~4 Sec,电特性:10 Sec

    · 工作压差范围:0.1~0.5 MPa

    · 最大压力:3MPa

    · 接口:Φ6,1/4''

    · 显示:4位数字显示

    · 工作环境温度:5~45高纯气体

    · 压力真空表:-0.1~0.15MPa, 0.01MPa/格

    · 截止阀:Φ6

    · 内外双抛不锈钢管:Φ6

    · 连接头类型:双卡套不锈钢接头

    低真空机组

    · 工作电压:220V±10% 50~60Hz,功率:1KW

    · 空气相对湿度:≤85%

    · 工作环境温度:5~40℃

    · 抽气速率:10m³/h

    · 极限真空度:5x10-1Pa

    · 工作压力范围:1.01325X105~1.33X10-2Pa

    · 耐压值:0.03MPa

    · 用油量:1.1L

    · 进/排气连接口口径:KF25

    · 噪音:50dB

    · 连接方式:采用波纹管,手动挡板阀与波纹管相连

    质保期

    · 一年质保,终身维护

    · 耗材部分如热电偶、密封圈、石英管等不包含在内

    · 因人为损坏/使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内

    注意事项

    · 石英管内气压不可高于0.02MPa(相对气压)

    · 对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂,法兰飞出等)

    · 如工艺原因需要使用易燃易爆和有毒气体,请自行做好相关防护和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒气体过程误操作而造成的相关问题,本公司概不负责

    · 随着使用时间的延长,炉膛可能会出现小裂纹,这是正常情况,裂纹可以用氧化铝涂层修复

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