1200℃滑轨式CVD石墨烯生长系统 BTF-1200C-SL-CVD

加热系统

最高温度

1200℃

使用温度

≤1100℃

石英管尺寸

Φ25/50/60/80/100*1400mm

炉膛材料

氧化铝、高温纤维制品

热电偶类型

K型热电偶

控温精度

±1℃

控温方式

30段可编程控制，PID参数自整定

加热区长度

440mm

恒温区长度

200mm

加热元件

电阻丝

供电电源

单相，220V  50Hz

三路质子流量控制系统

连接头类型

双卡套不锈钢接头

标准量程（N₂)

200sccm，500sccm、1000sccm（可根据用户要求定制）

准确度

±1.5%F.S

线性

±1%F.S

重复精度

±0.2%F.S

响应时间

气特性：1～4 Sec，电特性：10 Sec

工作压差范围

0.1～0.5 MPa

最大压力

3MPa

接口

Φ6，1/4''

显示

4位数字显示

工作环境温度

5~45高纯气体

压力真空表

－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格

截止阀

Φ6

内外双抛不锈钢管

Φ6

低真空机组

空气相对湿度

≤85%

工作环境

5℃～40℃

工作电电压

220V±10%  50~60HZ

功率

1KW

抽气速率

10m³/h

极限真空

5X10^-1Pa

工作压力范围

1.01325X10⁵～1.33X10^-2Pa

耐压值

0.03MPa

容油量

1.1L

进气口口径

KF25

排气口口径

KF25

噪音

50dB

连接方式

采用波纹管，手动挡板阀与波纹管相连