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1200℃小三温区滑轨CVD BTF-1200C-III-S-SL-3ZL

设备型号:BTF-1200C-III-S-SL-3ZL

关键词:

CVD

低真空CVD

三温区

所属分类:

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    · 电压:AC 208-240V Single Phase,50/60 Hz

    · 额定功率:6KW

    · 最高温度:1200℃

    · 工作温度:≤1100℃

    · 推荐升温速率:10~20℃/min

    · 加热区长度:200+200+200mm,恒温区长度:300mm

    · 加热元件:电阻丝

    加热炉

    · 保温材料:采用真空吸附成型的氧化铝纤维无机材料

    · 炉门结构:开启式

    · 炉管规格:高纯石英管 Φ50/60/80/100 x 1850mm(管径可选)

    · 炉体尺寸:750 x 440 x 590mm(长*宽*高)

    · 炉体+滑轨:2000 x 490 x 760mm(长*宽*高)

    温控系统

    · 模糊PID控制和自整定调节

    · 智能化30段可编程控制,客户可根据不同的需求来设定升降温程序

    · 具有超温和断偶报警功能

    · 控温精度:±1℃

    供气系统

    · 标准量程(N2):100sccm、200sccm、500sccm(可根据用户需求定制)

    · 准确度:±1.5%F.S.

    · 线性:±0.5~1.5%F.S.

    · 重复精度:±0.2%F.S.

    · 响应时间:气特性:1~4Sec,电特性:10Sec

    · 工作压差范围:0.1~0.5MPa

    · 最大压力:3MPa

    · 接口:Φ6,1/4''

    · 显示:4位数字显示

    · 工作环境温度:5~45高纯气体

    · 压力真空表:-0.1~0.15MPa, 0.01MPa/格

    · 截止阀:Φ6

    · 内外双抛不锈钢管:Φ6

    · 连接头类型:双卡套不锈钢接头

    · 外形尺寸:600 x 600 x 650mm

    低真空机组

    · 电源:220V±10%V 50~60Hz,电机功率:1KW

    · 工作环境温度:5~40℃

    · 空气相对湿度:≤85%

    · 抽气速率:10m³/h

    · 极限真空度:5x10-1Pa

    · 工作压力范围:1.01325X105~1.33X10-2Pa

    · 耐压值:0.03MPa

    · 容油量:1.1L

    · 进/排气口口径:KF25

    质保期

    · 一年质保,终身维护

    · 耗材部分如热电偶、密封圈、炉管等不包含在内

    · 因人为损坏/使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内

    注意事项

    · 管内气压不可高于0.02MPa(相对气压)

    · 对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂,法兰飞出等)

    · 如工艺原因需要使用易燃易爆和有毒气体,请自行做好相关防护和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒气体过程误操作而造成的相关问题,本公司概不负责

    · 随着使用时间的延长,炉膛可能会出现小裂纹,这是正常情况,裂纹可以用氧化铝涂层修复

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