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产品名称
等离子增加化学气相沉积系统 BTF-1200C-SL-A
所属分类
工艺定制CVD系统
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产品描述
产品参数
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设备视频 |
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功率 |
3KW |
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额定电压 |
AC 220V 50/60HZ |
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最高温度 |
1200℃ |
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工作温度 |
1100℃ |
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推荐升温速率 |
10℃/min |
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空开大小（自备） |
2P 40A |
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炉管尺寸 |
高纯石英管Φ100*1400mm
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最大滑动距离 |
880mm |
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控温方式 |
模糊PID控制和自整定调节，智能化30段可编程控制 |
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控温精度 |
±1℃ |
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加热元件 |
电阻丝 |
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热电偶 |
K型 |
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质量流量计 |
两路500sccm+5000sccm |
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机械泵 |
10m3/h |
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设备净重 |
约230Kg |
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