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智能型滑轨CVD系统 BTF-1200C-SL-A

设备型号:BTF-1200C-SL-A 设备简介:BTF-1200C-SL-A是一款新型智能型滑轨CVD系统。本设备集真空系统、供气流量系统、自动推进、加热于一体,并将所有控制集成于触屏操控界面之中,使设备更加智能化,便于使用者操作。温度范围宽:100-1200度可调,加热区域长度:1650mm。适用范围宽:金属薄膜,陶瓷薄膜等,复合薄膜,连续生长各种薄膜等。

关键词:

CVD

等离子增加化学气相沉积系统

薄膜生长

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  • 主要参数

    · 额定电压:AC 220V 50/60Hz(自配空开 大小2P 40A),额定功率:3KW

    · 最高温度:1200℃

    · 持续工作温度:≤1100℃

    · 推荐升温速度:10℃/min

    · 加热区域长度:1650mm

    · 最大滑动距离:880mm

    · 加热元件:电阻丝

    · 热电偶类型:K型

    · 质量流量计:两路500sccm + 5000sccm

    · 机械泵:10m³/h

    加热炉

    · 材料:氧化铝纤维

    · 结构:开启式

    · 炉管规格:高纯石英管Φ100 x 1400mm

    控制系统

    · 模糊PID控制和自整定调节

    · 智能化30段可编程控制

    · 控温精度:±1℃

    设备重量

    · 设备净重:约230kg

    质保期

    · 一年质保,终身维护

    · 耗材部分如热电偶、密封圈、石英管等不包含在内

    · 因人为损坏/使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内

    注意事项

    · 石英管内气压不可高于0.02MPa(相对气压)

    · 对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂,法兰飞出等)

    · 如工艺原因需要使用易燃易爆和有毒气体,请自行做好相关防护和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒气体过程误操作而造成的相关问题,本公司概不负责

    · 随着使用时间的延长,炉膛可能会出现小裂纹,这是正常情况,裂纹可以用氧化铝涂层修复

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