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等离子增加化学气相沉积系统 BTF-1200C-SL-A
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产品名称

等离子增加化学气相沉积系统 BTF-1200C-SL-A

设备型号:BTF-1200C-SL-A 设备简介:BTF-1200C-SL-A是一款新型智能型滑轨CVD系统。本设备集真空系统、供气流量系统、自动推进、加热于一体,并将所有控制集成于触屏操控界面之中,使设备更加智能化,便于使用者操作。温度范围宽:100-1200度可调,加热区域长度:1650mm。适用范围宽:金属薄膜,陶瓷薄膜等,复合薄膜,连续生长各种薄膜等。
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产品描述
产品参数

设备视频

功率

3KW

额定电压

AC 220V  50/60HZ

最高温度

1200℃

工作温度

1100℃

推荐升温速率

10℃/min

空开大小(自备)

2P 40A

炉管尺寸

高纯石英管Φ100*1400mm

最大滑动距离

880mm

控温方式

模糊PID控制和自整定调节,智能化30段可编程控制

控温精度

±1℃

加热元件

电阻丝

热电偶

K型

质量流量计

两路500sccm+5000sccm

机械泵

10m3/h

设备净重

约230Kg

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暂未实现,敬请期待
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