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高温真空退火CVD系统 BTF-1200C-VI-SL-CVD-D210
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产品名称

高温真空退火CVD系统 BTF-1200C-VI-SL-CVD-D210

设备型号:BTF-1200C-VI-SL-CVD-D210 设备简介:这是一款定制退火管式炉。该设备主要由开启式加热炉、预热炉、气路系统、反应管系统、智能控制系统组成。
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产品描述
产品参数

 

1、开启式加热炉

加热炉膛采用超轻氧化铝纤维材料,配K型热电偶,上下独立8点控温;设备升降温控制灵活、加热炉可开启方便客户更换维修反应管。

2、开启式预热炉

加热炉膛采用超轻氧化铝纤维材料,配K型热电偶,上下独立4点控温;设备升降温控制灵活、加热炉可开启方便客户更换维修反应管。

3、气路系统可精确控制多路气体按不同流量进行混合配比,同时可同PLC进行联动控制。
4、反应管组件

反应管组件使用石英管,两端带水冷法兰组件快开卡箍,方便拆装维护清理。

5、智能控制系统

采用智能PID模糊控制,30段可编程控制。具有超温和断偶报警功能。

 

最高温度

1200℃

持续工作温度

≤1100℃

升温速率

≤10℃/min

控温精度

±1℃

加热元件

电阻丝

热电偶

K型

控温方式

模糊PID控制和自整定调节,人工智能化30段可编程控制,具有超温和断偶报警功能。

加热总功率

≤27KW

加热区尺寸

100+200mm(预热炉),100+200+200+200mm(加热炉)

真空度

≤5pa

设备尺寸

3900*1200*2000mm

设备重量

约1300KG

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