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高温真空退火CVD系统 BTF-1200C-VI-SL-CVD-D210

设备型号:BTF-1200C-VI-SL-CVD-D210 设备简介:这是一款定制退火管式炉。该设备主要由开启式加热炉、预热炉、气路系统、反应管系统、智能控制系统组成。

关键词:

CVD

定制CVD

退火炉

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  • 结构说明

    · 开启式加热炉:加热炉膛采用超轻氧化铝纤维材料,配K型热电偶,上下独立8点控温;设备升降温控制灵活、加热炉可开启方便客户更换维修反应管

    · 开启式预热炉:加热炉膛采用超轻氧化铝纤维材料,配K型热电偶,上下独立4点控温;设备升降温控制灵活、加热炉可开启方便客户更换维修反应管

    · 气路系统:可精确控制多路气体按不同流量进行混合配比,同时可同PLC进行联动控制

    · 反应管组件:使用石英管,两端带水冷法兰组件快开卡箍,方便拆装维护清理

    · 智能控制系统:采用智能PID模糊控制,30段可编程控制。具有超温和断偶报警功能

    主要参数

    · 电压:380V,加热总功率:≤27KW

    · 最高温度:1200℃

    · 持续工作温度:≤1100℃

    · 升温速度:≤10℃/min

    · 加热区尺寸:100+200mm(预热炉),100+200+200+200mm(加热炉)

    · 加热元件:电阻丝

    · 热电偶类型:K型

    · 真空度:≤5Pa

    温控系统

    · 模糊PID控制和自整定调节

    · 人工智能化30段可编程控制

    · 具有超温和断偶报警功能

    · 控温精度:±1℃

    尺寸&重量

    · 设备尺寸:3900 x 1200 x 2000mm(长*宽*高)

    · 设备重量:约1300kg

    质保期

    · 一年质保,终身维护

    · 耗材部分如热电偶、密封圈、炉管等不包含在内

    · 因人为损坏/使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内

    注意事项

    · 管内气压不可高于0.02MPa(相对气压)

    · 由于气瓶内部气压较高,所以向石英管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀。为了确保安全,建议采购压力低于0.02MPa的减压阀产品

    · 对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂,法兰飞出等)

    · 不建议客户使用易燃易爆和有毒的气体,如工艺原因确实需要使用易燃易爆和有毒气体,请自行做好相关防护和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒气体而造成的相关问题,本公司概不负责

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