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产品名称
高温真空退火CVD系统 BTF-1200C-VI-SL-CVD-D210
所属分类
工艺定制CVD系统
零售价
0.00
数量
-
+
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0
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产品描述
产品参数
1、开启式加热炉
加热炉膛采用超轻氧化铝纤维材料,配K型热电偶,上下独立8点控温;设备升降温控制灵活、加热炉可开启方便客户更换维修反应管。
2、开启式预热炉
加热炉膛采用超轻氧化铝纤维材料,配K型热电偶,上下独立4点控温;设备升降温控制灵活、加热炉可开启方便客户更换维修反应管。
3、气路系统可精确控制多路气体按不同流量进行混合配比,同时可同PLC进行联动控制。
4、反应管组件
反应管组件使用石英管,两端带水冷法兰组件快开卡箍,方便拆装维护清理。
5、智能控制系统
采用智能PID模糊控制,30段可编程控制。具有超温和断偶报警功能。
最高温度 |
1200℃ |
持续工作温度 |
≤1100℃ |
升温速率 |
≤10℃/min |
控温精度 |
±1℃ |
加热元件 |
电阻丝 |
热电偶 |
K型 |
控温方式 |
模糊PID控制和自整定调节,人工智能化30段可编程控制,具有超温和断偶报警功能。 |
加热总功率 |
≤27KW |
加热区尺寸 |
100+200mm(预热炉),100+200+200+200mm(加热炉) |
真空度 |
≤5pa |
设备尺寸 |
3900*1200*2000mm |
设备重量 |
约1300KG |
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