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产品名称
间歇式CVD回转炉 BTF-1200C-III-150-CVD
所属分类
工艺定制CVD系统
零售价
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产品描述
产品参数
1、该款设备由控制柜和加热炉组成，控制柜为密封壳体，内置电路板和气路板，外部可通过触摸屏及 手阀操控电路和气路；加热炉由一台三温区开启式管式炉及相应配件组成，炉管可回转；
2、加热炉左端法兰是进气端，由截止阀+VCR 接头组成进气端，法兰上配有自动泄压装置（传感器+电 磁阀）；右端法兰为出气端，由球阀+VCR 接头组成出气端，抽口由手动挡板阀搭配防爆变频真空泵组成； 炉管内配有挡料组件，防止实验材料流失。整套设备气路接口为 VCR1/4 接口。
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额定电压 |
380V |
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功率 |
13KW |
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使用温度 |
500-1000℃ |
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炉管尺寸 |
金属管φ80mm×φ150mmX1700mm （两端*中间*总长） |
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加热元件 |
电阻丝 |
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加热区长度 |
300mm*300*300 |
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炉管回转速度 |
0-7rpm |
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热电偶类型 |
K 型热电偶 |
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质量流量计 |
0-2L/Min D07-19B（4 路） |
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浮子流量计 |
2-20L/min 气体 |
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设备尺寸 |
控制柜：长 1132mm×宽 1000mm×高 1900mm；加热炉：长 2500mm×宽 630mm×高 1300mm |
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设备总重 |
700KG |
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