主要特点

· 该款CVD设备配备加热系统、进料系统、出料系统、触摸屏控制系统、气路系统、真空系统、平台升降装置等

· 设备炉管可360°旋转，有助于粉料的烧结更均匀，可大角度倾斜，方便进出料，倾斜角度在0-25°之间

· 真空系统由一个PCG550真空计和一台DRV-16机械泵组成，右端法兰上配有压力保护装置和一个截止阀控制的进气口

· 右端作为进料端，配有进料罐和送料机构作为进料使用

· 左端法兰上配有PCG550真空计和一个球阀控制的出气口以及一个KF25真空接口

· 左端作为出料端，配有出料系统和收料罐

主要参数

· 电压：AC 220V，频率50Hz；功率：4KW

· 最高温度：1200℃

· 工作温度：≤800℃

· 升温速率：0~20℃/min，推荐10℃/min

· 加热区长度：440mm

· 炉管规格：异形石英管 Φ60（两端）+Φ100（中间）mm，总长1200mm

· 炉体倾斜角度：0~25°可调

· 炉管旋转速率：0.25~25r/min

· 加热元件：电阻丝

· 热电偶类型：K型

温控系统

· 模糊PID控制和自整定调节，智能化30段可编程控制，具有超温和断偶报警功能

· 控温精度：±1℃

质保期

· 一年质保，终身维护

· 耗材部分如热电偶、密封圈、炉管等不包含在内

· 因人为损坏/使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内

注意事项

· 石英管内气压不可高于0.02MPa（相对气压）

· 对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等）

· 如工艺原因需要使用易燃易爆和有毒气体，请自行做好相关防护和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒气体过程误操作而造成的相关问题，本公司概不负责

· 随着使用时间的延长，炉膛可能会出现小裂纹，这是正常情况，裂纹可以用氧化铝涂层修复