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产品名称

智能型PECVD系统 PECVD-III-500A-D210

设备型号:PECVD-III-500A-D210
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产品描述
产品参数

这是一款智能型PECVD系统。该设备主要分为四大部分:多温区管式炉、射频组件、气路系统、及自动化控制软件集成系统。
1、开启式加热炉
加热炉膛采用超轻氧化铝纤维材料,配K型热电偶,6点控温;设备升降温控制灵活、加热炉可电动开启方便客户更换维修反应管。
2、气路系统
   可由质量流量计精确控制多路气体按不同流量进行混合配比,另外单独1路过鼓泡器后进入反应管内。
3、射频组件
    1000W高性能射频辉光均匀,可使整个反应腔体都处于辉光产生区。
4、 智能控制系统          
    采用智能PID模糊控制,30段可编程控制。具有超温和断偶报警功能。
 

最高温度

1200℃

持续工作温度

≤1100℃

升温速率

≤10℃/min

控温精度

±1℃

加热元件

电阻丝

热电偶

K型

控温方式

模糊PID控制和自整定调节,人工智能化30段可编程控制,具有超温和断偶报警功能,人机界面加PLC控制,15寸液晶屏控制,数字工控仪表双控,采用工业智能控温仪和软件实现双控

加热总功率

≤15KW

加热区尺寸

300+300+300mm

射频功率

1000W

设备尺寸

2550*850*1600mm

设备重量

约600KG

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