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产品名称
智能型PECVD系统 PECVD-III-500A-D210
所属分类
智能型
零售价
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数量
-
+
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产品描述
产品参数
这是一款智能型PECVD系统。该设备主要分为四大部分：多温区管式炉、射频组件、气路系统、及自动化控制软件集成系统。
1、开启式加热炉
加热炉膛采用超轻氧化铝纤维材料，配K型热电偶，6点控温；设备升降温控制灵活、加热炉可电动开启方便客户更换维修反应管。
2、气路系统
可由质量流量计精确控制多路气体按不同流量进行混合配比，另外单独1路过鼓泡器后进入反应管内。
3、射频组件
1000W高性能射频辉光均匀，可使整个反应腔体都处于辉光产生区。
4、 智能控制系统
采用智能PID模糊控制，30段可编程控制。具有超温和断偶报警功能。
|
最高温度 |
1200℃ |
|
持续工作温度 |
≤1100℃ |
|
升温速率 |
≤10℃/min |
|
控温精度 |
±1℃ |
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加热元件 |
电阻丝 |
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热电偶 |
K型 |
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控温方式 |
模糊PID控制和自整定调节，人工智能化30段可编程控制，具有超温和断偶报警功能，人机界面加PLC控制，15寸液晶屏控制，数字工控仪表双控，采用工业智能控温仪和软件实现双控 |
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加热总功率 |
≤15KW |
|
加热区尺寸 |
300+300+300mm |
|
射频功率 |
1000W |
|
设备尺寸 |
2550*850*1600mm |
|
设备重量 |
约600KG |
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PECVD系统 BTF-1400C-D-CVD
1200℃智能型PECVD系统（含压力控制系统） PECVD-500A-D
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