主要特点

· 薄膜沉积速率高：射频辉光技术，大大的提高了薄膜的沉积速率，沉积速率可达10 Å/s

· 大面积均匀性高：采用了先进的多点射频馈入技术，特殊气路分布和加热技术等，使得薄膜均匀性指标达到8%

· 一致性高：用半导体行业的先进设计理念，使得一次沉积的各基片之间偏差低于2%

· 工艺稳定性高：高度稳定的设备保证了工艺的连续和稳定

· 专利号：ZL201320052532.0  （专利产品，防伪必究）

单温区加热系统

· 电压：单相 220V 50Hz，额定功率：3KW

· 最高温度：1200℃

· 使用温度：≤1100℃

· 炉膛材料：氧化铝、高温纤维制品

· 炉膛有效尺寸：Ф60*1650mm

· 加热区长度：440mm，恒温区长度：200mm

· 加热元件：电阻丝（掺钼铁铬铝合金）

· 热电偶类型：K型

温控系统

· 30段可编程控温，PID参数自整定

· 操作系统为工控电脑，内置PLC控制程序

· 可将温控系统、滑轨炉滑动（时间和距离）设定为程序控制

· 控温精度：±1℃

PE射频电源

· 说明：该CVD系统可配备PE射频电源，将CVD系统升级为PECVD。当参与反应的气氛进入炉管在射频电源的作用下产生离子体，可使反应更加充分。同时等离子体起增强的作用，从而很大程度上优化实验的工艺条件

· 供电电压：220V 频率50/60Hz

· 功率输出范围：500W

· 信号频率：13.56MHz±0.005%

· 射频输出接口：50 Ω, N-type, female

· 功率稳定度：±0.1%

· 谐波分量：≤-50dBc

· 整机效率：≥70%

· 功率因素：≥90%

· 冷却方式：强制风冷

5路质子流量控制系统

· 说明：供气系统是一种可控制4种气体按不同流量进行混合配比，也可根据实验需求加装洗气装置，质量流量计安装于密封的可移动机柜内，由超洁双抛不锈钢管与精密双卡套接头连接组成，触摸屏控制

· 连接头类型：双卡套不锈钢接头

· 标准量程（N₂）：氩气 1000sccm，氢气 300sccm，甲烷 100sccm，氮气 500sccm，氧气 100sccm

· 准确度：±1.5%

· 线性：±0.5～1.5%

· 重复精度：±0.2%

· 响应时间：气特性：1～4Sec，电特性：10Sec

· 工作压差范围：0.1～0.5MPa

· 最大压力：3MPa

· 接口：Φ6或者1/4"，可选

· 显示：4位数字显示

· 工作环境温度：5~45高纯气体

· 压力真空表：－0.1～0.15MPa, 0.01MPa/格

真空机组

· 说明：内部安装双极旋片机械泵1台，电容真空计1套，并含有配套使用的波纹管，手动挡板阀，卡箍等连接部件；设备冷态极限真空可达0.5Pa

· 工作电压：220V±10% 50~60Hz，功率：1KW

· 抽气速率：16m³/h

· 极限真空：0.5Pa

· 进/排气连接口：KF25

· 连接方式：采用波纹管，手动挡板阀与波纹管相连

· 电容真空计：ZDM-I(带通讯），可以和触摸屏通讯上；真空规管测量范围可选5-5000pa；不需因测量气体种类不同而需要系数转换；具有较高的精确度和重复性，响应时间较短

压力控制系统

· 主要部件：蝶阀、压力控制器、电容真空计组成

· 作用：根据实验要求，在出气端和泵之间增加蝶阀（调节阀）和真空计；真空计可检测管内压力，通过 PLC 调节蝶阀（调节阀）开启的大小，以达到控制管内压力维持在限定压力±20Pa内波动

· 压力范围：100~100000Pa

· 控制精度：测量值±5%

质保期

· 一年质保，终身维护

· 耗材部分如热电偶、密封圈、石英管等不包含在内

· 因人为使用不当或使用腐蚀性气体、酸性气体造成的相关问题不在保修范围内

注意事项

· 石英管内气压不可高于0.02MPa（相对气压）

· 由于气瓶内部气压较高，所以向石英管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀。为了确保安全，减压后压力在0.2~0.4MPa，减压后的气体须经过流量计控制流量进入炉管

· 对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等）

· 如工艺原因需要使用易燃易爆和有毒气体，请自行做好相关防护和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒气体过程误操作而造成的相关问题，本公司概不负责

· 随着使用时间的延长，炉膛可能会出现小裂纹，这是正常情况，裂纹可以用高纯氧化铝修复涂料修复