TEL:400-0033-603
1200℃智能型PECVD系统（含压力控制系统） PECVD-500A-D
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单温区加热系统 |
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输入电源 |
单相，220V 50Hz |
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额定功率 |
3KW |
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最高温度 |
1200℃ |
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使用温度 |
≤1100℃ |
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控温方式 |
30段可编程控温，PID参数自整定 操作界面为10”工控电脑，内置PLC控制程序 可将温控系统、滑轨炉滑动（时间和距离）设定为程序控制 |
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加热区长度 |
440mm |
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恒温区长度 |
200mm |
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控温精度 |
±1℃ |
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炉膛有效尺寸 |
Ф60*1650mm |
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加热元件 |
电阻丝（掺钼铁铬铝合金） |
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热电偶 |
K型热电偶 |
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炉膛材料 |
氧化铝、高温纤维制品 |
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PE射频电源 |
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该CVD系统可配备PE射频电源，将CVD系统升级为PECVD。当参与反应的气氛进入炉管在射频电源的作用下产生离子体，可使反应更加充分。同时等离子体起增强的作用，从而很大程度上优化实验的工艺条件。 |
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信号频率 |
13.56MHz±0.005% |
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功率输出范围 |
500W |
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射频输出接口 |
50 Ω, N-type, female |
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功率稳定度 |
±0.1% |
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谐波分量 |
≤-50dbc |
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供电电压 |
单相交流（187V-253V） 频率50/60HZ |
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整机效率 |
≥70% |
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功率因素 |
≥90% |
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冷却方式 |
强制风冷 |
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五路质子流量控制系统 |
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供气系统是一种可控制4种气体按不同流量进行混合配比，也可根据实验需求加装洗气装置，质量流量计安装于密封的可移动机柜内，由超洁双抛不锈钢管与精密双卡套接头连接组成，触摸屏控制。 |
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连接头类型 |
双卡套不锈钢接头 |
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标准量程（N2) |
氩气：1000sccm，氢气：300sccm，甲烷：100sccm，氮气：500sccm，氧气：100sccm |
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准确度 |
±1.5% |
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线性 |
±0.5~1.5% |
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重复精度 |
±0.2% |
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响应时间 |
气特性：1～4 Sec，电特性：10 Sec |
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工作压差范围 |
0.1～0.5 MPa |
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最大压力 |
3MPa |
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接口 |
Φ6或者1/4''可选 |
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显示 |
4位数字显示 |
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工作环境温度 |
5~45高纯气体 |
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压力真空表 |
－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格 |
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真空机组 |
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真空机组，内部安装双极旋片机械泵1台，电容真空计1套，并含有配套使用的波纹管，手动挡板阀，卡箍等连接部件。设备冷态极限真空可达0.5Pa。 |
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工作电压 |
220V±10% 50~60HZ |
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功率 |
1KW |
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抽气速率 |
16m³/h |
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极限真空 |
0.5Pa |
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进气口口径 |
KF25 |
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排气口口径 |
KF25 |
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连接方式 |
采用波纹管，手动挡板阀与波纹管相连
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电容真空计 |
ZDM-I(带通讯），可以和触摸屏通讯上 |
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真空规管测量范围可选5-5000pa |
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不需因测量气体种类不同而需要系数转换 |
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具有较高的精确度和重复性，响应时间较短 |
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压力控制系统 |
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主要部件 |
蝶阀、压力控制器、电容真空计组成 |
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作用 |
根据实验要求，在出气端和泵之间增加蝶阀（调节阀）和真空计 |
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真空计可检测管内压力，通过 PLC 调节蝶阀（调节阀）开启的大小 |
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以达到控制管内压力不变 |
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压力范围 |
100~100000Pa |
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控制精度 |
测量值±5% |
