结构说明

· 开启式加热炉：加热炉膛采用超轻氧化铝纤维材料，配S型热电偶，单点控温；设备升降温控制灵活、加热炉可开启方便客户更换维修反应管

· 气路系统：可精确控制4路气体按不同流量进行混合配比，另外单独2路气体可精确控制进入蒸发器中作为载气。气路管路及阀门，精工件都采用316L材质

· 反应管组件：反应管组件使用耐高温刚玉管，石英管两端安装可旋转磁流体，采用步进电机驱动进行旋转

· 射频组件：大功率射频发生器，配合刚玉管可使整个实验腔体都处于辉光区域，反应均匀

· 蒸发系统：采用可控温油浴加热配合保温伴热的形式，确保蒸发源有足够的蒸发温度

· 真空系统：双真空泵联动结构，配合尾气中和罐，可对实验产生的尾气进行处理

· 智能控制系统：采用智能PID模糊控制，30段可编程控制。具有超温和断偶报警功能

主要参数

· 电压：380V，加热总功率：≤20KW，射频功率：1000W

· 最高温度：1400℃

· 持续工作温度：≤1300℃

· 升温速率：≤10℃/min

· 加热区长度：350+400+350mm

· 加热元件：硅碳棒

· 热电偶类型：S型

· 极限真空度：≤1Pa

温控系统

· 模糊PID控制和自整定调节

· 人工智能化30段可编程控制

· 具有超温和断偶报警功能

· 控温精度：±1℃

设备尺寸&重量

· 外形尺寸：3000 x 600 x 1500mm（长*宽*高）

· 设备重量：约1000kg

质保期

· 一年质保，终身维护

· 耗材部分如热电偶、密封圈、炉管等不包含在内

· 因人为使用不当或使用腐蚀性气体、酸性气体造成的相关问题不在保修范围内

注意事项

· 管内气压不可高于0.02MPa（相对气压）

· 由于气瓶内部气压较高，所以向石英管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀。为了确保安全，减压后压力在0.2~0.4MPa，减压后的气体须经过流量计控制流量进入炉管

· 对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等）

· 如工艺原因需要使用易燃易爆和有毒气体，请自行做好相关防护和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒气体过程误操作而造成的相关问题，本公司概不负责

· 随着使用时间的延长，炉膛可能会出现小裂纹，这是正常情况，裂纹可以用高纯氧化铝修复涂料修复