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产品名称
PECVD系统 BTF-1400C-D-CVD
所属分类
智能型
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-
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产品描述
产品参数
1、开启式加热炉
加热炉膛采用超轻氧化铝纤维材料，配S型热电偶，单点控温；设备升降温控制灵活、加热炉可开启方便客户更换维修反应管
2、气路系统可精确控制4路气体按不同流量进行混合配比，另外单独2路气体可精确控制进入蒸发器中作为载气参与反应。气路管路及阀门，精工件都采用316L材质。
3、反应管组件
反应管组件使用耐高温刚玉管，石英管两端安装可旋转磁流体，采用步进电机驱动进行旋转。
4、射频组件
大功率射频发生器，配合石英反应管可使整个实验腔体都处于辉光区域，反应均匀。
5、蒸发系统
采用可控温油浴加热配合保温伴热的形式，确保蒸发源有足够的反应温度
6、真空系统
双真空泵联动结构，配合尾气中和罐，可对实验产生的尾气进行处理
7、智能控制系统
采用智能PID模糊控制，30段可编程控制。具有超温和断偶报警功能。
|
最高温度 |
1400℃ |
|
持续工作温度 |
≤1300℃ |
|
升温速率 |
≤10℃/min |
|
控温精度 |
±1℃ |
|
加热元件 |
硅碳棒 |
|
热电偶 |
S型 |
|
控温方式 |
模糊PID控制和自整定调节，人工智能化30段可编程控制，具有超温和断偶报警功能。 |
|
加热总功率 |
≤20KW |
|
加热区尺寸 |
350+400+350mm |
|
真空度 |
≤5pa |
|
射频功率 |
1000W |
|
设备尺寸 |
3000*600*1500mm |
|
设备重量 |
约1000KG |
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无
智能型PECVD系统 PECVD-III-500A-D210
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