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产品名称

PECVD系统 BTF-1400C-D-CVD

设备型号:BTF-1400C-D-CVD 设备简介:这是一款定制多功能PECVD设备。该设备主要由开启式加热炉、气路系统、反应管、射频组件、蒸发系统、真空系统、智能控制系统等部件组成。
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产品描述
产品参数

1、开启式加热炉

加热炉膛采用超轻氧化铝纤维材料,配S型热电偶,单点控温;设备升降温控制灵活、加热炉可开启方便客户更换维修反应管

2、气路系统可精确控制4路气体按不同流量进行混合配比,另外单独2路气体可精确控制进入蒸发器中作为载气参与反应。气路管路及阀门,精工件都采用316L材质。
3、反应管组件

反应管组件使用耐高温刚玉管,石英管两端安装可旋转磁流体,采用步进电机驱动进行旋转。

4、射频组件

大功率射频发生器,配合石英反应管可使整个实验腔体都处于辉光区域,反应均匀。

5、蒸发系统

采用可控温油浴加热配合保温伴热的形式,确保蒸发源有足够的反应温度

6、真空系统

双真空泵联动结构,配合尾气中和罐,可对实验产生的尾气进行处理

7、智能控制系统          

采用智能PID模糊控制,30段可编程控制。具有超温和断偶报警功能。

 

最高温度

1400℃

持续工作温度

≤1300℃

升温速率

≤10℃/min

控温精度

±1℃

加热元件

硅碳棒

热电偶

S型

控温方式

模糊PID控制和自整定调节,人工智能化30段可编程控制,具有超温和断偶报警功能。

加热总功率

≤20KW

加热区尺寸

350+400+350mm

真空度

≤5pa

射频功率

1000W

设备尺寸

3000*600*1500mm

设备重量

约1000KG

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