1200℃连续送料出料回转PECVD系统 BTF-1200C-R-PECVD-AD2
关键词:
PECVD
回转PECVD
Plasma增强PECVD系统
粉料烧结
粉状碳包覆
石墨烯制备
所属分类:
- 产品对比
- 产品信息
- 产品视频
- 实验案例
- 配件耗材
-
结构说明
· 加热系统:加热腔体采用氧化铝纤维制品,其极低的热导率和比热容,保证了炉膛的快速升温和低蓄热,该系统设置有超温、欠温、断偶报警保护功能,大大降低了对操作人员经验的要求。温区为单温区,温区长440mm,异形石英管规格采用Φ60*Φ100*1200
· Plasma系统:本系统借助于辉光放电产生等离子体,辉光放电等离子体中,电子密度高,通过反应气态放电,有效利用了非平衡等离子体的反应特征,从根本上改变了反应体系的能量供给方式
· 炉管转动系统:可以让炉管360°匀速转动,转速在0-20rpm连续可调
· 搅拌转动系统:可以实现360°匀速转动,转速在0-30rpm连续可调
· 炉管倾斜系统:可以大角度倾斜,方便进出料,倾斜角度在0-30°之间
· 触屏操作系统:该系统可以让设备在自动模式下高度自动化运行,所有参数程序设定好后自动运行:可实现按照设定程序连续工作,可设置多工作段不同参数,并可进行某工作段循环工作及某程序循环工作
· 进出料组件:进料端由进料罐+送料机构组成,出料端由收集罐+手动辅助升降组件组成
· 进出气法兰组件:设备法兰左端为进气端,一侧配有截止阀控制的进气口,对接混气罐输出的气体。另一侧预留KF25接口。右端为出气端,一侧由球阀控制的出气口,另一侧为KF25抽口
· 炉管及安全保护组件:炉管为异形石英管,通过左右两端磁流体密封法兰实现真空下的回转,设备左端法兰配有SMC安全保护组件
· 真空系统:由一个PCG550真空计和一台DRV16机械泵组成,抽口端由KF25手动挡板阀控制
· 场内小电流装置:设备左端为正极,由不锈钢杆和导电片组成;右端为负极,由不锈钢导电片固定在送料杆端头。正极配有外端接线棒
加热系统
· 额定电压:AC 220V,额定功率:4KW
· 最高温度:1200℃
· 使用温度:950~1000℃
· 升温速率:≤20℃/min,建议10℃/min
· 加热区长度:440mm,恒温区长度:200mm
· 炉管规格:异形石英管,两端Φ60*420mm,中间Φ100*360mm,总长1200mm
· 炉管旋转速率:0~20rpm
· 搅拌旋转速率:0~30rpm
· 炉体倾斜角度:0~35°(可调)
· 加热元件:电阻丝
· 热电偶类型:K型
温控系统
· 模糊PID控制和自整定调节
· 智能化30段可编程控制
· 具有超温和断偶报警功能
· 控温精度:±1℃
质保期
· 一年质保,终身维护
· 耗材部分如热电偶、密封圈、炉管等不包含在内
· 因人为损坏/使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内
注意事项
· 炉管内气压不可高于0.02MPa(相对气压)
· 对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂,法兰飞出等)
· 如工艺原因需要使用易燃易爆和有毒气体,请自行做好相关防护和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒气体过程误操作而造成的相关问题,本公司概不负责
· 随着使用时间的延长,炉膛表面可能会出现小裂纹,这是正常情况,裂纹可以用氧化铝涂层修复
-







咨询留言
联系我们
服务热线:400-0033-603
销售热线:0551-65146333
售后热线:0551-65148123
销售邮箱: besteq@163.com
公司地址:安徽省合肥市肥西县宜秀路6号














