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连续送料出料回转PECVD系统 BTF-1200C-R-PECVD-AD2
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产品名称

连续送料出料回转PECVD系统 BTF-1200C-R-PECVD-AD2

设备型号:BTF-1200C-R-PECVD-AD2 设备简介:BTF-1200C-R-PECVD-AD2设备是全自动Plasma增强PECVD系统,连续可控温度以及Plasma强度等,配备真空系统,可以低压条件下进行实验,PECVD系统能使整个实验腔体都处于辉光产生区,辉光相对均匀等效,有效的解决了传统等离子工作不稳定状态,该设备炉管可360°旋转,有助于粉料的烧结更均匀,可大角度倾斜,方便进出料,倾斜角度在0-30°之间。
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产品描述
产品参数

设备组成部分包含:1)加热系统2)Plasma系统3)炉管转动系统4)炉管倾斜系统5)触屏操作系统6)进出料组件7)进出气法兰组件8)炉管及安全保护组件 9)真空系统。10)场内小电流装置
 
 
1、加热系统:
该加热系统的加热腔体采用氧化铝纤维制品,其极低的热导率和比热容,保证了炉膛的快速升温和低蓄热,该系统设置有超温、欠温、断偶报警保护功能,大大降低了对操作人员经验的要求。温区为单温区,温区长440mm,异形石英管规格采用Φ60*Φ100*1200。
2、Plasma系统:
本系统借助于辉光放电产生等离子体,辉光放电等离子体中,电子密度高,通过反应气态放电,有效利用了非平衡等离子体的反应特征,从根本上改变了反应体系的能量供给方式。
3、炉管转动系统:
炉管转动系统可以让炉管360°匀速转动,转速在0-20rpm连续可调。
4、搅拌转动系统可以实现360°匀速转动,转速在0-30rpm连续可调。
5、炉管倾斜系统可以大角度倾斜,方便进出料,倾斜角度在0-30°之间。
6、触屏操作系统:该系统可以让设备在自动模式下高度自动化运行,所有参数程序设定好后自动运行:可实现按照设定程序连续工作,可设置多工作段不同参数,并可进行某工作段循环工作及某程序循环工作。
7、进出料组件:进料端由进料罐+送料机构组成,出料端由收集罐+手动辅助升降组件组成
8、进出气法兰组件:设备法兰左端为进气端,一侧配有截止阀控制的进气口,对接混气罐输出的气体。另一侧预留KF25接口。右端为出气端,一侧由球阀控制的出气口,另一侧为KF25抽口。
9、炉管及安全保护组件:炉管为异形石英管,通过左右两端磁流体密封法兰实现真空下的回转,设备左端法兰配有SMC安全保护组件。
10、真空系统:由一个PCG550真空计和一台DRV16机械泵组成,抽口端由KF25手动挡板阀控制。
11、场内小电流装置:设备左端为正极:由不锈钢杆和导电片组成;右端为负极,由不锈钢导电片固定在送料杆端头。正极配有外端接线棒。
 
本设备采用承重框架结合钣金包围形式。机架采用深灰色、门板等采用时尚橘纹白。设备简约又不乏稳重,更具备操作直观方便、控温精确等性能。
 

额定功率

4KW

额定电压

AC220V

最高温度

1200

使用温度

950-1000℃

炉管尺寸

异型管Φ60x100x1200mm

炉管旋转速率

0~20rpm

搅拌旋转速率

0~30rpm

炉体倾斜角度

0~35°(可调)

热电偶类型

K型热电偶

控温精度

±1℃

控温方式

模糊PID控制和自动整定调节,智能化30段可编程控制,具有超温和断偶报警功能

射频功率范围

0-500W

加热长度

440mm

恒温长度

200mm

加热元件

电阻丝

升温速率

0-20℃/min,建议10℃/min

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