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产品名称
连续送料出料回转PECVD系统 BTF-1200C-R-PECVD-AD2
所属分类
连续生长型
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产品描述
产品参数
设备组成部分包含：1）加热系统2）Plasma系统3）炉管转动系统4）炉管倾斜系统5）触屏操作系统6）进出料组件7）进出气法兰组件8）炉管及安全保护组件 9）真空系统。10）场内小电流装置
1、加热系统：
该加热系统的加热腔体采用氧化铝纤维制品，其极低的热导率和比热容，保证了炉膛的快速升温和低蓄热，该系统设置有超温、欠温、断偶报警保护功能，大大降低了对操作人员经验的要求。温区为单温区，温区长440mm，异形石英管规格采用Φ60*Φ100*1200。
2、Plasma系统：
本系统借助于辉光放电产生等离子体，辉光放电等离子体中，电子密度高，通过反应气态放电，有效利用了非平衡等离子体的反应特征，从根本上改变了反应体系的能量供给方式。
3、炉管转动系统：
炉管转动系统可以让炉管360°匀速转动，转速在0-20rpm连续可调。
4、搅拌转动系统可以实现360°匀速转动，转速在0-30rpm连续可调。
5、炉管倾斜系统可以大角度倾斜，方便进出料，倾斜角度在0-30°之间。
6、触屏操作系统：该系统可以让设备在自动模式下高度自动化运行，所有参数程序设定好后自动运行：可实现按照设定程序连续工作，可设置多工作段不同参数，并可进行某工作段循环工作及某程序循环工作。
7、进出料组件：进料端由进料罐+送料机构组成，出料端由收集罐+手动辅助升降组件组成
8、进出气法兰组件：设备法兰左端为进气端，一侧配有截止阀控制的进气口，对接混气罐输出的气体。另一侧预留KF25接口。右端为出气端，一侧由球阀控制的出气口，另一侧为KF25抽口。
9、炉管及安全保护组件：炉管为异形石英管，通过左右两端磁流体密封法兰实现真空下的回转，设备左端法兰配有SMC安全保护组件。
10、真空系统：由一个PCG550真空计和一台DRV16机械泵组成，抽口端由KF25手动挡板阀控制。
11、场内小电流装置：设备左端为正极：由不锈钢杆和导电片组成；右端为负极，由不锈钢导电片固定在送料杆端头。正极配有外端接线棒。
本设备采用承重框架结合钣金包围形式。机架采用深灰色、门板等采用时尚橘纹白。设备简约又不乏稳重，更具备操作直观方便、控温精确等性能。
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额定功率 |
4KW |
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额定电压 |
AC220V |
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最高温度 |
1200℃ |
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使用温度 |
950-1000℃ |
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炉管尺寸 |
异型管Φ60x100x1200mm |
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炉管旋转速率 |
0~20rpm |
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搅拌旋转速率 |
0~30rpm |
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炉体倾斜角度 |
0~35°（可调） |
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热电偶类型 |
K型热电偶 |
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控温精度 |
±1℃ |
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控温方式 |
模糊PID控制和自动整定调节，智能化30段可编程控制，具有超温和断偶报警功能 |
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射频功率范围 |
0-500W |
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加热长度 |
440mm |
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恒温长度 |
200mm |
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加热元件 |
电阻丝 |
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升温速率 |
0-20℃/min，建议10℃/min |
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无
连续进出料等离子体增强回转PECVD设备 BTF-1200C-RP-PECVD
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