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1200℃推拉式退火设备 BTF-1200C-III-SL-CVD-Φ210

设备型号:BTF-1200C-III-SL-CVD-Φ210 设备构造:这是一款定制电动滑轨管式炉。该设备主要由封闭式加热炉、气路系统、反应管系统、智能控制系统组成。

关键词:

滑轨CVD

退火炉

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    · 封闭式加热炉:加热炉膛采用超轻氧化铝纤维材料,配K型热电偶,独立3点控温;设备升降温控制灵活

    · 气路系统:可精确控制多路气体按不同流量进行混合配比,同时可同PLC进行联动控制

    · 反应管组件:反应管组件使用石英管,两端带水冷法兰组件快开卡箍,方便拆装维护清理

    · 智能控制系统:采用智能PID模糊控制,30段可编程控制。具有超温和断偶报警功能

    主要参数

    · 电压:AC 380V 50/60Hz

    · 加热总功率:≤12KW

    · 最高温度:1200℃

    · 持续工作温度:≤1100℃

    · 升温速率:≤10℃/min

    · 加热区尺寸:300+300+300mm

    · 加热元件:电阻丝

    · 热电偶:K型热电偶

    温控系统

    · 模糊PID控制和自整定调节

    · 人工智能化30段可编程控制

    · 具有超温和断偶报警功能

    · 控温精度:±1℃

    尺寸&重量

    · 设备尺寸:3000 x 900 x 1850mm

    · 设备重量:约600kg

    质保期

    · 一年质保,终身维护

    · 耗材部分如热电偶、氟胶圈、石英管、样品坩埚等不包含在内

    · 因人为使用不当或使用腐蚀性气体、酸性气体等造成的相关问题不在保修范围内

    注意事项

    · 石英管内气压不可高于0.02MPa(相对气压)

    · 对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂,法兰飞出等)

    · 如工艺原因需要使用易燃易爆和有毒气体,请自行做好相关防护和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒气体过程误操作而造成的相关问题,本公司概不负责

    · 随着使用时间的延长,炉膛可能会出现小裂纹,这是正常情况,裂纹可以用高纯氧化铝修复涂料修复

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