1600℃多源高温CVD系统 BTF-1600C-CVD-D2

设备型号：BTF-1600C-CVD-D2 设备简介：这是一台非标定制的多源高温CVD系统。本设备按客户要求加装刚玉管一支，加热炉，循环泵、排风系统、机架等。电气控制采用内置控温仪表，其控温精准且操作直观简便。仪表采用国内著名品牌，质量精确可靠。炉管为刚玉管，外径Φ60m，长度1000mm。炉管横放固定于炉膛内。左端法兰为进气端，配有压力保护组件和2个进气口，其中一路由截止阀控制，为进混气；另外一路为环硼氮烷，通过电磁阀+单向阀控制；右端法兰为出气端，配有蝶阀控制的压力控制系统和真空泵组成，法兰前端配有搅拌机构，对于尾端沉积物料具有清理作用，同时配有过滤组件。设备进气端液态源蒸发组件制冷制热由循环泵工作，通过循环泵工作，以及管道保温及腔体保温隔绝等方法实现低温、高温下的切换。液态源密封腔室和加热炉密封腔室，均通过PVC管道连接至腔室顶部，通过管道风机与客户排风系统对接。本设备采用承重框架结合钣金包围形式。炉体和门板颜色采用深灰+时尚橘纹白。设备简约又不乏稳重，更具备操作直观方便、控温精确等性能。

关键词：

CVD

多源CVD

1600℃

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主要参数	· 额定电压：AC 220V 50Hz；额定功率：6.5KW · 最高温度：1600℃ · 工作温度：≤1350℃ · 推荐升温速率：1400℃以下≤10℃/min；1400℃-1600℃≤5℃/min · 加热区长度：300mm · 炉管规格：刚玉管 Φ60 x 1000mm · 加热元件：硅钼棒（6根） · 热电偶类型：B型
温控系统	· 模糊PID控制和自整定调节 · 智能化30段可编程控制 · 控温精度：±1℃
尺寸&重量	· 炉体尺寸：1930 x 1450 x 1935mm · 设备净重：约500kg
质保期	· 一年质保，终身维护 · 耗材部分如热电偶、密封圈、炉管等不包含在内 · 因人为损坏/使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内
注意事项	· 对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等） · 如工艺原因需要使用易燃易爆和有毒气体，请自行做好相关防护和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒气体过程误操作而造成的相关问题，本公司概不负责