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1600℃多源高温CVD系统 BTF-1600C-CVD-D2
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产品名称

1600℃多源高温CVD系统 BTF-1600C-CVD-D2

设备型号:BTF-1600C-CVD-D2 设备简介:这是一台非标定制的多源高温CVD系统。本设备按客户要求加装刚玉管一支,加热炉,循环泵、排风系统、机架等。电气控制采用内置控温仪表,其控温精准且操作直观简便。仪表采用国内著名品牌,质量精确可靠。炉管为刚玉管,外径¢60m,长度1000mm。炉管横放固定于炉膛内。左端法兰为进气端,配有压力保护组件和2个进气口,其中一路由截止阀控制,为进混气;另外一路为环硼氮烷,通过电磁阀+单向阀控制;右端法兰为出气端,配有蝶阀控制的压力控制系统和真空泵组成,法兰前端配有搅拌机构,对于尾端沉积物料具有清理作用,同时配有过滤组件。设备进气端液态源蒸发组件制冷制热由循环泵工作,通过循环泵工作,以及管道保温及腔体保温隔绝等方法实现低温、高温下的切换。液态源密封腔室和加热炉密封腔室,均通过PVC管道连接至腔室顶部,通过管道风机与客户排风系统对接。本设备采用承重框架结合钣金包围形式。炉体和门板颜色采用深灰+时尚橘纹白。设备简约又不乏稳重,更具备操作直观方便、控温精确等性能。
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产品描述
产品参数

额定功率

6.5KW

额定电压

 AC 220V 50/60Hz

最高温度

1600℃

使用温度

≤1350℃

推荐升温速率

1400℃以下≤10℃/min;1400℃-1600℃≤5℃/min

控温方式

模糊PID控制和自整定调节,智能化30段可编程控制

加热区长度

300mm

炉管尺寸

刚玉管Φ60×1000mm

热电偶

B型热电偶

控温精度

±1℃

加热元件

硅钼棒(6根)

炉体尺寸

1930*1450*1935mm

净重

500Kg

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