设备组成

· 射频电源：当参与反应的气氛进入炉管在射频电源的作用下产生离子体，可使反应更加充分。同时等离子体起增强的作用，从而很大程度上优化实验的工艺条件

· 真空系统：真空机组，内部安装分子泵1台，双极旋片机械泵1台，冷阴极真空计1套，并含有配套使用的波纹管，手动挡板阀，卡箍等连接部件。设备冷态极限真空可达1*10^-4Pa

射频参数

· 供电电压：单相交流（187V-253V） 频率50/60Hz

· 功率输出范围：10W~1000W

· 射频输出接口：射频输出接口

· 信号频率：13.56 MHz±0.005%

· 谐波分量：≤-40dBc

· 整机效率：≥70%

· 功率因素：≥85%

· 匹配石英管尺寸：Φ150*1000mm（外径150mm壁厚5mm，内径140mm，长度1000mm）

· 横向密封法兰：Φ150mm（法兰材质采用耐腐蚀性能更好的316L不锈钢材质）

· 石英插片舟：放置于石英管内部

· 冷却方式：强制风冷

· 外型尺寸：1400 x 600 x 1300mm

真空系统

· 工作电电压：220V±10% 50~60Hz

· 功率：1KW

· 空气相对湿度：≤85%

· 工作环境：5℃～40℃

· 抽气速率：90L/s

· 极限真空：5X10^-4Pa

· 耐压值：0.03MPa

· 容油量：1.1L

· 进气口口径：KF40

· 排气口口径：KF25

· 噪音：50dB

· 连接方式：采用波纹管，手动挡板阀与法兰相连

质保期

· 一年质保，终身维护

· 因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内