1200℃单工位大口径快速退火炉 RTP-1200C-200-SL

设备型号：RTP-1200C-200-SL 设备简介：单工位大口径快速退火炉是由单端封口滑轨炉、 电机调速装置、高真空机组、进出气连接件及操作控制界面组成，内控热电偶用于控制RTP滑轨炉内的温度，伺服电机通过控制丝杆的转动达到精确控制炉管（样品）进出炉膛的速度，从而调节炉管（样品）的升降温速度；出气口通过连接手动挡板阀、波纹管和真空油泵用于石英舱体内的真空获取，进气口除用于通入保护气体或反应气体外，还可以用于移出炉膛后通入大流量气体来降温，以此获得较高的降温速率。