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1400℃高温管式炉CVD系统 BTF-1400C-CVD-3Z-D

设备型号:BTF-1400C-CVD-3Z-D

关键词:

CVD系统

高温管式炉

1400℃

所属分类:

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  • 结构特点

    · 管式炉:开启式管式炉采用硅碳棒加热,最高使用温度可达1400℃

    · 供气系统:采用3路质量流量计,可采用混气方式进行进气,流量计量程可根据需要进行定制

    · 高真空系统:采用真空泵,用于管路真空抽取

    · 控制系统:采用智能PID模糊控制,30段可编程控制。具有超温和断偶报警功能

    主要参数

    · 电压:AC 220V 50/60 Hz

    · 主炉膛加热功率:5.5KW

    · 最高温度:1400℃

    · 持续工作温度:≤1300℃

    · 升温速度:≤10℃/min

    · 加热区长度:300mm

    · 加热元件:硅碳棒

    · 测温元件:S型热电偶

    温控系统

    · 模糊PID控制和自整定调节

    · 人工智能化30段可编程控制

    · 具有超温和断偶报警功能

    · 控温精度:±1℃

    设备尺寸&重量

    · 主体尺寸:1700 x 800 x 1245mm(长*宽*高),不含真空泵

    · 设备重量:约300kg

    质保期

    · 一年质保,终身维护

    · 耗材部分如热电偶、密封圈、炉管等不包含在内

    · 因人为使用不当或使用腐蚀性气体、酸性气体等造成的相关问题不在保修范围内

    注意事项

    · 由于气瓶内部气压较高,所以向石英管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀。为了确保安全,减压后压力在0.2~0.4MPa,减压后的气体须经过流量计控制流量进入炉管

    · 对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀。若需要关闭阀门对样品加热,则需时刻关注机械压力表的示数,若机械压力表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂,法兰飞出等)

    · 如工艺原因需要使用易燃易爆和有毒气体,请自行做好相关防护和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒气体过程误操作而造成的相关问题,本公司概不负责

    · 由于氧化铝管制作工艺的原因,炉管在烧结过程中会存在断管的风险,这是无法完全避免的,请知晓

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