迷你智能型等离子体可回转化学气相沉积系统 BTF-1200C-S-R-PECVD
关键词:
PECVD
Plasma增强PECVD系统
回转PECVD
化学气相沉积系统
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加热系统
· 电压:220V 50Hz,加热功率:3KW
· 最高温度:1200℃
· 使用温度:≤1100℃
· 炉管规格:Φ25*800mm
· 加热区长度:230mm
· 炉管转速:3~13r/min
· 倾斜角度:0~35°
· 射频功率输出范围:0~500W
· 供气系统:标配三路质量流量计50sccm、100sccm、200sccm
· 加热元件:电阻丝
· 热电偶类型:K型
· 通讯接口:USB
温控系统
· 控温方式:7"液晶触屏与工控仪表双重控温,模糊PID控制和自整定调节,人工智能化30段可编程控制,具有超温和断偶报警功能
· 控温精度:±1℃
设备尺寸&重量
· 外形尺寸:1600 x 650 x 1400mm
· 设备净重:约220kg
质保期
· 一年质保,终身维护
· 耗材部分如热电偶、密封圈、炉管等不包含在内
· 因人为损坏/使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内
注意事项
· 炉管内气压不可高于0.02MPa(相对气压)
· 对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂,法兰飞出等)
· 如工艺原因需要使用易燃易爆和有毒气体,请自行做好相关防护和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒气体过程误操作而造成的相关问题,本公司概不负责
· 随着使用时间的延长,炉膛表面可能会出现小裂纹,这是正常情况,裂纹可以用氧化铝涂层修复
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