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迷你智能型等离子体可回转化学气相沉积系统 BTF-1200C-S-R-PECVD

设备型号: BTF-1200C-R-S-PECVD 设备简介:本款设备可以做金属复合石墨烯材料,是目前最高端的金属复合材料制备设备。可以用于动力电池,提升电池内阻和能量密度,有效解决新能源汽车电池的问题。该设备炉管可360度旋转,管内壁有石英挡片帮助粉料翻转有助于烧结得更均匀;全自动Plasma增强CVD系统(PECVD),系统可以实现连续滑动温区,连续可控温度以及Plasma强度等,配备真空系统,可以实现低压条件下的实验,针对低温石墨烯、碳纳米管生长等。PECVD系统能使整个实验腔体都处于辉光产生区,辉光均匀等效,这种技术很好的解决了传统等离子工作不稳定状态,这样离子化的范围和强度是传统PECVD的百倍,并解决了物料不均匀堆积现象。

关键词:

PECVD

Plasma增强PECVD系统

回转PECVD

化学气相沉积系统

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    · 电压:220V 50Hz,加热功率:3KW

    · 最高温度:1200℃

    · 使用温度:≤1100℃

    · 炉管规格:Φ25*800mm

    · 加热区长度:230mm

    · 炉管转速:3~13r/min

    · 倾斜角度:0~35°

    · 射频功率输出范围:0~500W

    · 供气系统:标配三路质量流量计50sccm、100sccm、200sccm

    · 加热元件:电阻丝

    · 热电偶类型:K型

    · 通讯接口:USB

    温控系统

    · 控温方式:7"液晶触屏与工控仪表双重控温,模糊PID控制和自整定调节,人工智能化30段可编程控制,具有超温和断偶报警功能

    · 控温精度:±1℃

    设备尺寸&重量

    · 外形尺寸:1600 x 650 x 1400mm

    · 设备净重:约220kg

    质保期

    · 一年质保,终身维护

    · 耗材部分如热电偶、密封圈、炉管等不包含在内

    · 因人为损坏/使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内

    注意事项

    · 炉管内气压不可高于0.02MPa(相对气压)

    · 对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂,法兰飞出等)

    · 如工艺原因需要使用易燃易爆和有毒气体,请自行做好相关防护和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒气体过程误操作而造成的相关问题,本公司概不负责

    · 随着使用时间的延长,炉膛表面可能会出现小裂纹,这是正常情况,裂纹可以用氧化铝涂层修复

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