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迷你智能型等离子体可回转化学气相沉积系统 BTF-1200C-S-R-PECVD

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产品名称

迷你智能型等离子体可回转化学气相沉积系统 BTF-1200C-S-R-PECVD

设备型号： BTF-1200C-R-S-PECVD 设备简介：本款设备可以做金属复合石墨烯材料，是目前最高端的金属复合材料制备设备。可以用于动力电池，提升电池内阻和能量密度，有效解决新能源汽车电池的问题。该设备炉管可360度旋转，管内壁有石英挡片帮助粉料翻转有助于烧结得更均匀；全自动Plasma增强CVD系统（PECVD）,系统可以实现连续滑动温区，连续可控温度以及Plasma强度等，配备真空系统，可以实现低压条件下的实验，针对低温石墨烯、碳纳米管生长等。PECVD系统能使整个实验腔体都处于辉光产生区，辉光均匀等效，这种技术很好的解决了传统等离子工作不稳定状态，这样离子化的范围和强度是传统PECVD的百倍，并解决了物料不均匀堆积现象。

所属分类

PECVD系统

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产品描述

产品参数

显示模式	7"液晶触屏显示
最高温度	1200℃
升温速率	10℃/S
加热区长度	230mm
控温精度	±1℃
加热元件	电阻丝
热电偶	K型
控温方式	7"液晶触屏与工控仪表双重控温，模糊PID控制和自整定调节，人工智能化30段可编程控制，具有超温和断偶报警功能。
炉管尺寸	Φ25*800mm
炉管转速	3~13r/min
倾斜角度	0~35°
加热功率	3KW
射频功率输出范围	0~500W
供气系统	标配三路质量流量计（50/100/200sccm）
供电电源	220V50Hz
通讯接口	USB
外形尺寸	1600mm650mm1400mm
设备净重	约220KG

无