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连续进出料等离子体增强回转PECVD设备 BTF-1200C-RP-PECVD

设备型号:BTF-1200C-RP-PECVD 设备简介:该款设备是全自动Plasma增强CVD系统(PECVD),连续可控温度以及Plasma强度等,配备真空系统,可以低压条件下实现工艺,PECVD系统能使整个实验腔体都处于辉光产生区,辉光相对均匀等效,很好的解决了传统等离子工作不稳定状态,该设备炉管可360°旋转,有助于粉料的烧结更均匀,可大角度倾斜,方便进出料,倾斜角度在0-35°之间,所有物料经过的管道都选用非金属材质,如:进出料腔体选用石英材质,推料杆选用石英及聚四氟材质。

关键词:

PECVD

回转PECVD

Plasma增强CVD系统

粉体碳包覆

石墨烯制备

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  • 主要特点

    · 该设备炉管可360度旋转,管内壁有石英挡片帮助粉料翻转有助于烧结得更均匀

    · 整个炉子和送料、收料系统能够一起倾斜,方便出放料,倾斜角度在0~35°之间可调

    · 送料系统送料速度连续可调,停止送料且炉体最大倾斜时,物料不从送料系统外漏。送料系统方便拆卸,拆卸之后可以手动加料,设备可正常运行

    · 炉管回转稳定,不会上下左右跳动;转速在0~60r/min连续可调,能在60r/min转速下连续长期运转(>24h)

    · 炉子转速,加料速度,倾斜角度,真空度,气体流量,温度,运行时间,等离子体功率等参数都用数字显示,并在运行过程记录设备整个运行轨迹及上述参数(在工控及独立电脑上均能实现)

    · 设备运行可分为手动模式与自动模式;自动模式下可实现高度自动化运行,所有参数程序设定好后自动运行:可实现按照设定程序连续工作,可设置多工作段不同参数,并可进行某工作段循环工作及某程序循环工作

    结构说明

    · 加热系统:加热腔体采用氧化铝纤维制品,其极低的热导率和比热容,保证了炉膛的快速升温和低蓄热,特别适合于科研单位的材料工艺研究。加热元件选用电阻丝加热,适合中低温度加热系统。高温真空电阻炉温度控制系统采用经典的闭环负反馈控制系统,控温仪表选用智能型程序温度调节仪表控温,电力调制器控制;负载采用小电压大电流控制,从而大大提高了发热元件的寿命,测温元件采用K型热偶。采用单回路温控仪能够自整定PID 参数,无须操作人员的干预,可自行根据不同温度曲线的升、降温要求调整输出信号,同时系统设置了超温、欠温、断偶报警保护功能,大大降低了对操作人员经验的要求

    · Plasma系统:借助于辉光放电产生等离子体,辉光放电等离子体中,电子密度高,通过反应气态放电,有效利用了非平衡等离子体的反应特征,从根本上改变了反应体系的能量供给方式

    · 送料系统:速度连续可调,停止送料且炉体倾斜最大时,物料不会从送料系统外漏,送料系统方便拆卸,拆卸后可手动加料,设备可正常运行

    · 出料系统:在炉体倾斜出料时可自动出料

    · 气体控制系统:可以控制两种气体按照不同流量进行混合配比的,也可以独立控制,质量流量计安装于密封的可移动的机柜内,由超洁双抛不锈钢管与精密双卡套接头连接组成

    · 低真空系统:配备真空机械泵,可以抽真空,可以让设备在真空环境下进行反应

    · 气料分离系统:可以让设备在充气体保护或者抽真空时,实现气体与物料的分离

    · 过滤系统:可防止物料进入真空泵,保证真空泵的正常运行

    · 炉管转动系统:可以让炉管360°匀速转动,转速在0-60r/min连续可调,且能在60r/min转速下长时间运行

    加热系统

    · 电压:AC 220V 50/60Hz,额定功率:4KW

    · 最高温度:1200℃

    · 使用温度:≤1100℃

    · 炉膛材料:氧化铝、高温纤维制品

    · 炉管规格:异形石英管,两端Φ60*420mm,中间Φ100*360mm,总长1200mm

    · 加热区长度:200+200mm,恒温区长度:250mm

    · 炉管旋转速率:0~60r/min

    · 炉体倾斜角度:0~35°

    · 控温方式:30段可编程控温,PID参数自整定,操作界面为10”液晶触摸屏控制

    · 控温精度:±1℃

    · 加热元件:电阻丝

    · 热电偶类型:K型

    · 设备尺寸:2100 x 600 x 1200mm

      

    气体控制系统

    · 连接头类型:双卡套不锈钢接头

    · 标准量程(N2):第一路 200sccm、第二路 500sccm

    · 准确度:±1.5%F.S.

    · 线性:±1%F.S.

    · 重复精度:±0.2%F.S.

    · 响应时间:气特性 1~4Sec,电特性 10Sec

    · 工作压差范围:0.1~0.5MPa

    · 最大压力:3MPa

    · 接口:Φ6,1/4''

    · 显示:4位数字显示

    · 工作环境温度:5~45高纯气体

    · 压力真空表:-0.1~0.15MPa, 0.01MPa/格

    · 截止阀:Φ6

    · 内外双抛不锈钢管:Φ6

    低真空系统

    · 工作电压:220V±10% 50~60Hz,功率:1KW

    · 工作环境温度:5~40℃

    · 空气相对湿度:≤85%

    · 抽气速率:10m³/h

    · 极限真空度:5 x 10-1Pa

    · 工作压力范围:1.01325 x 105  1.33 x 10-2Pa

    · 耐压值:0.03MPa

    · 容油量:1.1L

    · 进/排气口口径:KF25

    · 噪音:50dB

    · 外形尺寸:600 x 600 x 600mm

    · 连接方式:采用波纹管,手动挡板阀与波纹管相连

    质保期

    · 一年质保,终身维护

    · 耗材部分如热电偶、密封圈、炉管等不包含在内

    · 因人为损坏/使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内

    注意事项

    · 炉管内气压不可高于0.02MPa(相对气压)

    · 对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂,法兰飞出等)

    · 如工艺原因需要使用易燃易爆和有毒气体,请自行做好相关防护和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒气体过程误操作而造成的相关问题,本公司概不负责

    · 随着使用时间的延长,炉膛表面可能会出现小裂纹,这是正常情况,裂纹可以用氧化铝涂层修复

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