TEL:400-0033-603
销售热线：
总经理投诉电话：18009693519
------- 实验室预约 --------
微信公众号
连续进出料等离子体增强回转PECVD设备 BTF-1200C-RP-PECVD
|
结构图 |
|
|
设备组成 |
加热系统，Plasma系统，进料系统，出料系统，气体控制系统，低真空系统，气料分离系统，过滤系统，炉管转动系统，电控操作系统 |
|
① 加热系统 |
|
|
该加热系统的加热腔体采用氧化铝纤维制品，其极低的热导率和比热容，保证了炉膛的快速升温和低蓄热，特别适合于科研单位的材料工艺研究。加热元件选用电阻丝加热，适合中低温度加热系统。高温真空电阻炉温度控制系统采用经典的闭环负反馈控制系统，控温仪表选用智能型程序温度调节仪表控温，电力调制器控制；负载采用小电压大电流控制，从而大大提高了发热元件的寿命，测温元件采用K型热偶。采用单回路温控仪能够自整定PID 参数，无须操作人员的干预，可自行根据不同温度曲线的升、降温要求调整输出信号，同时系统设置了超温、欠温、断偶报警保护功能，大大降低了对操作人员经验的要求。 |
|
|
额定电压 |
AC 220V，50/60Hz |
|
额定功率 |
4KW |
|
最高温度 |
1200℃ |
|
使用温度 |
1100℃ |
|
加热区长度 |
200+200mm |
|
恒温区长度 |
250mm |
|
设备尺寸 |
2100*600*1200mm |
|
炉管尺寸 |
Φ60*420*2+Φ100*360mm
|
|
炉管旋转速率 |
0~60r/min |
|
炉体倾斜角度 |
0~35° |
|
炉膛材料 |
氧化铝、高温纤维制品 |
|
控温精度 |
±1℃ |
|
热电偶 |
K型热电偶 |
|
加热元件 |
电阻丝 |
|
控温系统 |
30段可编程控温，PID参数自整定，操作界面为10”液晶触摸屏控制 |
|
② Plasma系统 |
|
|
本系统借助于辉光放电产生等离子体，辉光放电等离子体中，电子密度高，通过反应气态放电，有效利用了非平衡等离子体的反应特征，从根本上改变了反应体系的能量供给方式 |
|
|
③ 进料系统 |
|
|
送料系统速度连续可调，停止送料且炉体倾斜最大时，物料不会从送料系统外漏，送料系统方便拆卸，拆卸后可手动加料，设备可正常运行 |
|
|
④ 出料系统 |
|
|
出料系统在炉体倾斜出料时可自动出料 |
|
|
⑤ 气体控制系统 |
|
|
该控气系统是可以控制两种气体按照不同流量进行混合配比的，也可以独立控制，质量流量计安装于密封的可移动的机柜内，由超洁双抛不锈钢管与精密双卡套接头连接组成 |
|
|
连接头类型 |
双卡套不锈钢接头
|
|
标准量程（N2） |
第一路：200Sccm 第二路：500Sccm |
|
准确度 |
±1.5%FS |
|
线性 |
±1%FS |
|
重复精度 |
±0.2%FS |
|
响应时间 |
气特性 1~4Sec，电特性 10Sec |
|
工作压差范围 |
0.1~0.5MPa |
|
最大压力 |
3MPa |
|
接口 |
Φ6，1/4” |
|
显示 |
4位数字显示 |
|
工作环境温度 |
5~45高纯气体 |
|
压力真空表 |
-0.1~0.15MPa，0.01MPa/格 |
|
截止阀 |
Φ6 |
|
内外双抛不锈钢管 |
Φ6 |
|
⑥ 低真空系统 |
|
|
该系统配备真空机械泵，可以抽真空，可以让设备在真空环境下进行反应
|
|
|
空气相对湿度 |
≤85% |
|
工作环境 |
5~40℃ |
|
工作电压 |
220V±10% 50~60Hz |
|
功率 |
1KW |
|
抽气速率 |
10m³/h |
|
极限真空 |
5x10-1Pa |
|
工作压力范围 |
1.01325x105~1.33x10-2Pa |
|
耐压值 |
0.03MPa |
|
容油量 |
1.1L |
|
进气口口径 |
KF25 |
|
排气口口径 |
KF25 |
|
噪音 |
50dB |
|
外形尺寸 |
600x600x600mm |
|
连接方式 |
采用波纹管，手动挡板阀与波纹管相连
|
|
⑦ 气料分离系统 |
|
|
该系统可以让设备在充气体保护或者抽真空时，实现气体与物料的分离 |
|
|
⑧ 过滤系统 |
|
|
该系统可防止物料进入真空泵，保证真空泵的正常运行 |
|
|
⑨ 炉管转动系统 |
|
|
炉管转动系统可以让炉管360°匀速转动，转速在0-60r/min连续可调，且能在60r/min转速下长时间运行 |
|
