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产品描述
产品参数
主要特点
此设备具有两个独立的温场，温场之外配有磁力拉杆和石英料舟，并配有内探热电偶，可实现在实验过程中将固态源(如硫粉、硒粉等)推进热场，并同时可检测温度。
技术参数
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BTF-1200C-II-SL |
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温场 |
两个独立温场 |
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最高温度 |
1200℃ |
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工作温度 |
1100℃ |
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推荐升温速率 |
10℃/min |
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炉管 |
高纯度石英管Φ50x1400mm（可根据要求设计） |
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加热区长度 |
200+200mm |
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恒温区长度 |
200mm |
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控温方式 |
模糊PID控制和自整定调节，智能化30段可编程控制，具有超温和断偶报警功能 |
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供气系统 |
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外形尺寸 |
600x600x650mm |
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连接头类型 |
双卡套不锈钢接头 |
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标准量程（N2) |
100sccm、200sccm、500sccm； （可根据用户要求定制）;准确度：±1.5%;线性：±0.5～1.5%;重复精度：±0.2% |
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响应时间 |
气特性：1～4 Sec，电特性：10 Sec |
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工作压差范围 |
0.1～0.5 MPa |
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最大压力 |
3MPa |
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接口 |
Φ6,1/4'' |
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显示 |
4位数字显示 |
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工作环境温度 |
5~45高纯气体 |
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内外双抛不锈钢管 |
Φ6 |
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压力真空表 |
－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格 |
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截止阀 |
Φ6 |
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真空机组 |
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空气相对湿度 |
≤85% |
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工作电压 |
220V±10% 50~60HZ |
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功率 |
1千瓦 |
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抽气速率 |
10m³/H |
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极限真空 |
4X10-2Pa |
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实验真空度 |
1.0X10-1Pa |
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容油量 |
1.1L |
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进气口口径 |
KF25 |
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排气口口径 |
KF25 |
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转速 |
1450rpm |
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大三温区滑轨CVD系统（低真空、高真空环境均可）BTF-1200C-III-SL-4ZL
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