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产品名称
1200℃双温区磁力拉杆设备(固态源、气态源、多源)BTF-1200C-II-SL
所属分类
多温区CVD系统
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产品描述
产品参数
加热系统 |
|
温场 |
两个独立温场 |
最高温度 |
1200℃ |
工作温度 |
1100℃ |
推荐升温速率 |
10℃/min |
炉管 |
高纯度石英管Φ50x1400mm(可根据要求设计) |
加热区长度 |
200+200mm |
恒温区长度 |
200mm |
控温方式 |
模糊PID控制和自整定调节,智能化30段可编程控制,具有超温和断偶报警功能 |
供气系统 |
|
外形尺寸 |
600x600x650mm |
连接头类型 |
双卡套不锈钢接头 |
标准量程(N2) |
100sccm、200sccm、500sccm(可根据用户要求定制) |
准确度 |
±1.5% |
线性 |
±0.5~1.5% |
重复精度 |
±0.2% |
响应时间 |
气特性:1~4 Sec,电特性:10 Sec |
工作压差范围 |
0.1~0.5 MPa |
最大压力 |
3MPa |
接口 |
Φ6,1/4'' |
显示 |
4位数字显示 |
工作环境温度 |
5~45高纯气体 |
内外双抛不锈钢管 |
Φ6 |
压力真空表 |
-0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格 |
截止阀 |
Φ6 |
真空机组 |
|
空气相对湿度 |
≤85% |
工作电压 |
220V±10% 50~60HZ |
功率 |
1KW |
抽气速率 |
10m³/H |
极限真空 |
4X10-2Pa |
实验真空度 |
1.0X10-1Pa |
容油量 |
1.1L |
进气口口径 |
KF25 |
排气口口径 |
KF25 |
转速 |
1450rpm |
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