1200℃双温区磁力拉杆设备（固态源、气态源、多源）BTF-1200C-II-SL

加热系统

温场

两个独立温场

最高温度

1200℃

工作温度

1100℃

推荐升温速率

10℃/min

炉管

高纯度石英管Φ50x1400mm（可根据要求设计）

加热区长度

200+200mm

恒温区长度

200mm

控温方式

模糊PID控制和自整定调节，智能化30段可编程控制，具有超温和断偶报警功能

供气系统

外形尺寸

600x600x650mm

连接头类型

双卡套不锈钢接头

标准量程（N2)

100sccm、200sccm、500sccm（可根据用户要求定制）

准确度

±1.5%

线性

±0.5～1.5%

重复精度

±0.2%

响应时间

气特性：1～4 Sec，电特性：10 Sec

工作压差范围

0.1～0.5 MPa

最大压力

3MPa

接口

Φ6,1/4''

显示

4位数字显示

工作环境温度

5~45高纯气体

内外双抛不锈钢管

Φ6

压力真空表

－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格

截止阀

Φ6

真空机组

空气相对湿度

≤85%

工作电压

220V±10%  50~60HZ

功率

1KW

抽气速率

10m³/H

极限真空

4X10^-2Pa

实验真空度

1.0X10^-1Pa

容油量

1.1L

进气口口径

KF25

排气口口径

KF25

转速

1450rpm