低真空CVD系统 (BTF-1500C-3ZL)

加热区参数：

 炉管尺寸：Φ 50×700mm

 加热元件：硅碳棒

 加热区长度：160mm
 恒温区长度：50mm
 工作温度：1400℃
 最高温度：1500℃
 控温方式：模糊PID控制和自整定调节，智能化30段可编程控制，具有超温和断偶报警功能
 控温精度：±1℃

 推荐升温速度：1400℃以下≤10℃/min，1400℃以上≤5℃/min
 工作电源：AC 208-240V Single Phase，50/60 Hz

 额定功率：2.5KW

 外型尺寸： 420×295×520 mm

 密封系统：炉管两端配有不锈钢密封法兰（包括精密针阀，指针式真空压力表和软管式宝塔嘴接头），端口可按实际使用扩展。

 标准配件：刚玉管1根，不锈钢密封法兰1套，氟胶密封圈2套，氧化铝管堵4只，高温手套1副，坩埚钩1支，小保险1个。

 备注：可选配1200℃、1400℃、1600℃、1700℃等不同温区的管式炉。

气路系统参数：

 质量流量计参考量程（N₂)：100sccm、200sccm、500sccm、1000sccm （量程可选）

 准确度：±1.5%

 线性：±0.5～1.5%

 重复精度：±0.2%

 响应时间：≤10sec

 工作压差范围：0.1～0.5 MPa

 最大压力：3MPa

 接口：Φ6,1/4''

 显示：4位数字显示

 工作环境温度：5~45高纯气体             

 内外双抛不锈钢管：Φ6

 压力真空表：－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格

 截止阀：Φ6

 连接头类型：双卡套不锈钢接头。

 备注：可选配一路、两路、三路、四路等以上质量流量计。

低真空系统参数：

 抽速：10m³/h

 极限真空度：5*10^-1pa

 电源：220V 50HZ

 电机功率：0.4kw  

 进排气连接口：KF25

 用油量：1.1L

 电机转速：1440rpm

 工作环境温度：5-40℃

 噪音：≤56db

 电阻真空计参数：

 1.配用规管：电阻规，

 2.测量范围： 10⁵～10^-1Pa，

 3.测量路数： 1路

 4.控制范围： 5×10³～5×10^-1Pa，

 5.控制方式：继电器触点输出，负载能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)无感负载，

 6.电源： 90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz，

 7.功耗： 20W