1500℃低真空CVD系统 BTF-1500C-3ZL

加热区参数

工作电源

AC 208-240V Single Phase，50/60 Hz

额定功率

2.5KW

最高温度

1500℃

工作温度

1400℃

推荐升温速度

1400℃以下≤10℃/min，1400℃以上≤5℃/min

加热区长度

160mm

恒温区长度

50mm

控温方式

模糊PID控制和自整定调节，智能化30段可编程控制，具有超温和断偶报警功能

控温精度

±1℃

加热元件

硅碳棒

炉管尺寸

Φ50×700mm

外型尺寸

420×295×520 mm

密封系统

炉管两端配有不锈钢密封法兰（包括精密针阀，指针式真空压力表和软管式宝塔嘴接头），端口可按实际使用扩展

示意图

标准配件

刚玉管1根，不锈钢密封法兰1套，氟胶密封圈2套，氧化铝管堵4只，高温手套1副，坩埚钩1支，小保险1个

备注：可选配1200℃、1400℃、1600℃、1700℃等不同温区的管式炉

气路系统参数

质量流量计参考量程（N₂)

100sccm、200sccm、500sccm、1000sccm （量程可选）

准确度

±1.5%

线性

±0.5～1.5%

重复精度

±0.2%

响应时间

≤10sec

工作压差范围

0.1～0.5 MPa

最大压力

3MPa

接口

Φ6，1/4''

显示

4位数字显示

工作环境温度

5~45高纯气体

内外双抛不锈钢管

Φ6

压力真空表

－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格

截止阀

Φ6

连接头类型

双卡套不锈钢接头

备注：可选配一路、两路、三路、四路等以上质量流量计

低真空系统参数

 抽速

10m³/h

极限真空度

5*10^-1pa

电源

220V 50Hz

电机功率

0.4KW

进排气连接口

KF25

用油量

1.1L

电机转速

1440rpm

工作环境温度

5-40℃

噪音

≤56db

电阻真空计参数

配用规管

电阻规

测量范围

 10⁵～10^-1Pa

测量路数

 1路

控制范围

5×10³～5×10^-1Pa

控制方式

继电器触点输出，负载能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)无感负载

电源

90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz

功耗

20W