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产品名称

低真空CVD系统 (BTF-1500C-3ZL)

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产品描述
产品参数

设备特点

此款CVD系统是由多通道高精度的质量流量计、低真空机组以及1500度高温管式炉组成。其广泛应用在半导体、纳米材料、碳纤维、石墨烯等新材料、新工艺领域。

 

 

加热区参数:

 

 炉管尺寸:Φ 50×700mm

 加热元件:硅碳棒

 加热区长度:160mm
 恒温区长度:50mm
 工作温度:1400℃
 最高温度:1500℃
 控温方式:模糊PID控制和自整定调节,智能化30段可编程控制,具有超温和断偶报警功能
 控温精度:±1℃

 推荐升温速度:1400℃以下≤10℃/min,1400℃以上≤5℃/min
 工作电源:AC 208-240V Single Phase,50/60 Hz

 额定功率:2.5KW

 外型尺寸: 420×295×520 mm

 密封系统:炉管两端配有不锈钢密封法兰(包括精密针阀,指针式真空压力表和软管式宝塔嘴接头),端口可按实际使用扩展。

 标准配件:刚玉管1根,不锈钢密封法兰1套,氟胶密封圈2套,氧化铝管堵4只,高温手套1副,坩埚钩1支,小保险1个。

 备注:可选配1200℃、1400℃、1600℃、1700℃等不同温区的管式炉。

气路系统参数:

 

 质量流量计参考量程(N2):100sccm、200sccm、500sccm、1000sccm (量程可选)

 准确度:±1.5%

 线性:±0.5~1.5%

 重复精度:±0.2%

 响应时间:≤10sec

 工作压差范围:0.1~0.5 MPa

 最大压力:3MPa

 接口:Φ6,1/4''

 显示:4位数字显示

 工作环境温度:5~45高纯气体             

 内外双抛不锈钢管:Φ6

 压力真空表:-0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格

 截止阀:Φ6

 连接头类型:双卡套不锈钢接头。

 备注:可选配一路、两路、三路、四路等以上质量流量计。

低真空系统参数:

 

 抽速:10m³/h

 极限真空度:5*10-1pa

 电源:220V 50HZ

 电机功率:0.4kw  

 进排气连接口:KF25

 用油量:1.1L

 电机转速:1440rpm

 工作环境温度:5-40℃

 噪音:≤56db

 电阻真空计参数:

 1.配用规管:电阻规,

 2.测量范围: 105~10-1Pa,

 3.测量路数: 1路

 4.控制范围: 5×103~5×10-1Pa,

 5.控制方式:继电器触点输出,负载能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)无感负载,

 6.电源: 90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz,

 7.功耗: 20W

 

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