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产品名称

1500℃低真空CVD系统 BTF-1500C-3ZL

设备型号:BTF-1500C-3ZL 设备简介:此款CVD系统是由多通道高精度的质量流量计、低真空机组以及1500度高温管式炉组成。其广泛应用在半导体、纳米材料、碳纤维、石墨烯等新材料、新工艺领域。
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产品描述
产品参数

加热区参数

工作电源

AC 208-240V Single Phase,50/60 Hz

额定功率

2.5KW

最高温度

1500℃

工作温度

1400℃

推荐升温速度

1400℃以下≤10℃/min,1400℃以上≤5℃/min

加热区长度

160mm

恒温区长度

50mm

控温方式

模糊PID控制和自整定调节,智能化30段可编程控制,具有超温和断偶报警功能

控温精度

±1℃

加热元件

硅碳棒

炉管尺寸

Φ50×700mm

外型尺寸

420×295×520 mm

密封系统

炉管两端配有不锈钢密封法兰(包括精密针阀,指针式真空压力表和软管式宝塔嘴接头),端口可按实际使用扩展

示意图

标准配件

刚玉管1根,不锈钢密封法兰1套,氟胶密封圈2套,氧化铝管堵4只,高温手套1副,坩埚钩1支,小保险1个

备注:可选配1200℃、1400℃、1600℃、1700℃等不同温区的管式炉

气路系统参数

质量流量计参考量程(N2)

100sccm、200sccm、500sccm、1000sccm (量程可选)

准确度

±1.5%

线性

±0.5~1.5%

重复精度

±0.2%

响应时间

≤10sec

工作压差范围

0.1~0.5 MPa

最大压力

3MPa

接口

Φ6,1/4''

显示

4位数字显示

工作环境温度

5~45高纯气体

内外双抛不锈钢管

Φ6

压力真空表

-0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格

截止阀

Φ6

连接头类型

双卡套不锈钢接头

备注:可选配一路、两路、三路、四路等以上质量流量计

低真空系统参数

 抽速

10m³/h

极限真空度

5*10-1pa

电源

220V 50Hz

电机功率

0.4KW

进排气连接口

KF25

用油量

1.1L

电机转速

1440rpm

工作环境温度

5-40℃

噪音

≤56db

电阻真空计参数

配用规管

电阻规

测量范围

 105~10-1Pa

测量路数

 1路

控制范围

5×103~5×10-1Pa

控制方式

继电器触点输出,负载能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)无感负载

电源

90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz

功耗

20W

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