迷你型CVD系统

加热区参数

电源

交流208-240V单相，50/ 60Hz

额定功率 2kw

最高温度

1200℃

持续工作温度

1100℃

推荐升温速度

20℃/min

最快升温速度

≤100℃/min

控温方式

模糊PID控制和自整定调节

智能化30段可编程控制

超温和断偶报警功能

加热区长度

230mm

恒温区长度

80mm

控温精度

±1℃

炉管尺寸

外径Ф25/50*600mm（管径可选）

炉门结构

开启式

加热元件

电阻丝（Mo掺杂Fe-Cr-Al合金）

外形尺寸

350x290x345mm

标准配件

石英管1根，不锈钢密封法兰1套，硅胶密封圈2套，氧化铝管堵4只，高温手套1副，坩埚钩1支，小保险1个

密封系统

炉管两端配有不锈钢密封法兰(包括精密针阀，指针式真空压力表和软管式宝塔嘴接头)，端口可按实际使用扩展

示意图

气路系统参数

质量流量计参考量程（N₂)

100sccm、200sccm、500sccm、1000sccm (量程可选)

准确度

±1.5%

线性

±0.5～1.5%

重复精度

±0.2%

响应时间

≤10sec

工作压差范围

0.1～0.5 MPa

最大压力

3MPa

接口

Φ6,1/4''

显示

4位数字显示

工作环境温度

5~45高纯气体

内外双抛不锈钢管

Φ6

压力真空表

-0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格

截止阀

Φ6

连接头类型

双卡套不锈钢接头

可选配一路、两路、三路、四路、五路等以上质量流量计

低真空系统参数

抽速

10m³/h

极限真空度

5*10^-1pa

电源

220V  50Hz

电机功率

0.4KW

进排气连接口

KF25

用油量

1.1L

电机转速

1440rpm

工作环境温度

5-40℃

噪音

≤56db

电阻真空计参数

配用规管

电阻规

测量范围

10⁵～10^-1 Pa

测量路数

1路

控制范围

5×10³～5×10^-1Pa

控制方式

继电器触点输出，负载能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)无感负载

电源

90-260V/50Hz or 220V ± 10% 50Hz

功耗

20W