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迷你型CVD系统

关键词:

CVD

微型CVD

单温区

所属分类:

关闭
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  • 主要参数

    · 电压:交流208-240V单相,50/60Hz

    · 额定功率:2KW

    · 最高温度:1200℃

    · 工作温度:≤1100℃

    · 推荐升温速度:20℃/min

    · 最快升温速度:≤100℃/min

    · 加热区长度:230mm,恒温区长度:80mm

    · 加热元件:电阻丝

    · 热电偶类型:K型热电偶

    加热炉

    · 材料:氧化铝、高温纤维制品

    · 结构:开启式

    · 外形尺寸:350 x 290 x 345mm(长*宽*高)

    炉管&法兰

    · 炉管规格:高纯石英管 外径Φ25/50 x 600mm(管径可选)

    · 炉管两端配有不锈钢密封法兰(包括精密针阀,指针式真空压力表和软管式宝塔嘴接头),端口可按实际使用扩展

    温控系统

    · 模糊PID控制和自整定调节

    · 智能化30段可编程控制,客户可根据不同的需求来设定升降温程序

    · 具有超温和断偶报警功能

    · 控温精度:±1℃

    标准配件

    · 石英管1根;不锈钢密封法兰1套;硅胶密封圈2套;氧化铝管堵4只;高温手套1副;坩埚钩1支;小保险1个

    气路系统参数(质量流量计多种路数可选)

    · 质量流量计参考量程(N2):100sccm、200sccm、500sccm、1000sccm(量程可选)

    · 准确度:±1.5%

    · 线性:±0.5~1.5%

    · 重复精度:±0.2%

    · 响应时间:≤10 Sec

    · 工作压差范围:0.1~0.5 MPa

    · 最大压力:3MPa

    · 接口:Φ6,1/4''

    · 显示:4位数字显示

    · 工作环境温度:5~45高纯气体

    · 压力真空表:-0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格

    · 截止阀:Φ6

    · 内外双抛不锈钢管:Φ6

    · 连接头类型:双卡套不锈钢接头

    低真空系统参数

    · 电源:220V 50Hz,电机功率:0.4KW

    · 抽速:10m³/h

    · 极限真空度:5x10-1Pa

    · 进/排气连接口:KF25

    · 用油量:1.1L

    · 电机转速:1440rpm

    · 工作环境温度:5~40℃

    · 噪音:≤56dB

    电阻真空计参数

    · 配用规管:电阻规

    · 测量范围:105~10-1Pa

    · 测量路数:1路

    · 控制范围:5×103~5×10-1Pa

    · 控制方式:继电器触点输出,负载能力AC220V 3A (或DC28V 3A)无感负载

    · 电源:90-260V 50Hz or 220V±10% 50Hz

    · 功耗:20W

    质保期

    · 一年质保,终身维护

    · 耗材部分如热电偶、密封圈、石英管等不包含在内

    · 因人为损坏/使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内

    注意事项

    · 石英管内气压不可高于0.02MPa(相对气压)

    · 由于气瓶内部气压较高,所以向石英管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀。为了确保安全,建议采购压力低于0.02MPa的减压阀产品

    · 对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂,法兰飞出等)

    · 不建议客户使用易燃易爆和有毒的气体,如工艺原因确实需要使用易燃易爆和有毒气体,请自行做好相关防护和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒气体而造成的相关问题,本公司概不负责

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