结构说明

· 主体加热为三段加热系统，最高使用温度为1000℃

· 3个液态源加热蒸发鼓泡器，最高温度300℃，独立控温

· 3路进气系统，分别为氮气、氩气和氢气，皆可直接进入混气室载进入真空腔体，且流量分别可控，流量计控制精度为±1.5%F.S。另外氮气作为吹扫气，分别通过流量计并列进入三个液态源后再进入混气室，三路均配有单独阀门控制

· 陶瓷盲管长620mm，外径12mm，内径9mm。距离开口端250mm至350mm处，为孔径0.2μm的沉积段，其余管外壁已釉封

· 陶瓷管开端在石英管一侧固定并进行陶瓷管的内外密封(见示意图1)。需要固定时间间隔，从陶瓷管内进行抽气，满足透出载气的气袋收集和流量检测两种功能，并实现两种功能间的切换

· 陶瓷片样品直径30mm，厚度3mm；3个样品台，每个样品台上可同时放置3片陶瓷片样品

· 设备空间尽量小

· 后端真空连接系统

主要参数

· 额定电压：AC 208-240V Single Phase，50/60 Hz

· 额定功率：7KW

· 最高温度：1000℃

· 持续工作温度：≤900℃

· 推荐升温速度：0~20℃/min

· 加热区长度：200+200+200mm，恒温区长度：400mm

· 加热元件：电阻丝

加热炉

· 炉膛材料：氧化铝纤维

· 炉门结构：开启式

炉管&法兰

· 炉管规格：异形310S钢管 Φ80 x 1200mm + Φ25mm

· 保温装置：炉管两端配有保温水冷法兰装置，便于取放

温控系统

· 模糊PID控制和自整定调节

· 智能化30段可编程控制

· 具有超温和断偶报警功能

· 控温精度：±1℃

质保期

· 一年质保，终身维护

· 耗材部分如热电偶、密封圈、炉管等不包含在内

· 因人为损坏/使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内

注意事项

· 管内气压不可高于0.02MPa（相对气压）

· 对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等）

· 如工艺原因需要使用易燃易爆和有毒气体，请自行做好相关防护和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒气体过程误操作而造成的相关问题，本公司概不负责

· 随着使用时间的延长，炉膛可能会出现小裂纹，这是正常情况，裂纹可以用氧化铝涂层修复