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产品描述
产品参数
复合氧化物氢分离膜制备用CVD设备，可以实现在多孔氧化铝陶瓷管和陶瓷片上化学沉积上氧化物(SiO2、Al2O3、TiO2、ZrO2)和复合氧化物(Al2O3-SiO2、SiO2-TiO2、SiO2- ZrO2)氢分离膜。
设备结构：
1、主体加热为三段加热系统，最高使用温度为1000℃；
2、3个液态源加热蒸发鼓泡器，最高温度300℃，独立控温；
3、3路进气系统，分别为氮气、氩气和氢气，皆可直接进入混气室载进入真空腔体，且流量分别可控，流量计控制精度为±1.5%F.S。另外氮气作为吹扫气，分别通过流量计并列进入三个液态源后再进入混气室，三路均配有单独阀门控制；
4、 陶瓷盲管长620mm，外径12mm，内径9mm。距离开口端250mm至350mm处，为孔径0.2μm的沉积段，其余管外壁已釉封；
5、陶瓷管开端在石英管一侧固定并进行陶瓷管的内外密封(见示意图1)。需要固定时间间隔，从陶瓷管内进行抽气，满足透出载气的气袋收集和流量检测两种功能，并实现两种功能间的切换；
6、 陶瓷片样品直径30mm，厚度3mm。3个样品台，每个样品台上可同时放置3片陶瓷片样品；
7、 设备空间尽量小；
8、后端真空连接系统。
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炉体架构 |
上下开启式 |
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额定电压 |
AC 208-240V Single Phase，50/60Hz |
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额定功率 |
7KW |
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最高温度 |
1000℃ |
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持续工作温度 |
≤900℃ |
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推荐升温速率 |
0-20℃/min |
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炉管材质 |
310S钢管 |
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炉管尺寸 |
异形钢管Φ80*1200mm+Φ25mm |
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保温装置 |
炉管两端配有保温水冷法兰装置，便于取放 |
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加热区长度 |
200+200+200mm |
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恒温区长度 |
400mm |
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控温方式 |
模糊PID控制和自整定调节，智能化30段可编程控制，具有超温和断偶报警功能 |
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控温精度 |
±1℃ |
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加热元件 |
电阻丝 |
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炉膛材质 |
氧化铝纤维 |
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