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智能型CVD系统 BTF-1400C-OP-4ZL-CVD

设备型号:BTF-1400C-OP-4ZL-CVD 设备组成:这是一款定制可开启式CVD设备。该设备主要由开启式加热炉、气路系统、反应管、智能控制系统等组成。

关键词:

CVD

智能型CVD

定制CVD

1400℃

所属分类:

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    · 开启式加热炉:加热炉膛采用超轻氧化铝纤维材料,配S型热电偶,单点控温;设备升降温控制灵活、加热炉可开启方便客户更换维修反应管

    · 气路系统:可精确控制3路气体按不同流量进行混合配比,另外单独1路可通强腐蚀气体,配备吹扫气路。气路管路及阀门,精工件都采用316L材质

    · 反应管组件:使用耐高温刚玉管,内加刚玉管堵,两端密封法兰带水冷却系统,反应管尾部带反应物收集冷却装置。实验众产生的尾气经过冷却收集后再通过球阀排出

    · 气体报警系统:配备有氢气报警器,氯气报警器、甲烷报警器。分别设置1个检测点,报警后自动切断氢气、氯气和甲烷的供应,并发出警报

    · 智能控制系统:采用智能PID模糊控制,30段可编程控制。具有超温和断偶报警功能

    主要参数

    · 电压:AC 220V,加热总功率:≤9KW

    · 最高温度:1400℃

    · 持续工作温度:≤1300℃

    · 升温速度:≤10℃/min

    · 加热区尺寸:300*130*160mm

    · 加热元件:硅碳棒

    · 热电偶类型:S型

    · 炉管规格:刚玉管 Φ60

    · 真空度:≤5Pa

    温控系统

    · 模糊PID控制和自整定调节

    · 人工智能化30段可编程控制

    · 具有超温和断偶报警功能

    · 控温精度:±1℃

    尺寸&重量

    · 设备尺寸:2100 x 600 x 1350mm(长*宽*高)

    · 设备重量:约350kg

    质保期

    · 一年质保,终身维护

    · 耗材部分如热电偶、密封圈、炉管等不包含在内

    · 因人为损坏/使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内

    注意事项

    · 管内气压不可高于0.02MPa(相对气压)

    · 由于气瓶内部气压较高,所以向石英管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀。为了确保安全,建议采购压力低于0.02MPa的减压阀产品

    · 对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂,法兰飞出等)

    · 不建议客户使用易燃易爆和有毒的气体,如工艺原因确实需要使用易燃易爆和有毒气体,请自行做好相关防护和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒气体而造成的相关问题,本公司概不负责

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