TEL:400-0033-603
销售热线：
总经理投诉电话：18009693519
贝意克公司成功举办管理层培训活动
贝意克免费送《黑神话：悟空》！！
贝意克学术论文奖荐读 | 宁夏大学朱涛涛 SiC陶瓷膜的制备研究
贝意克学术论文奖荐读 | 复旦大学 曹永杰：独立思考，发现问题，解决问题！
------- 实验室预约 --------
微信公众号
浏览量:
产品描述
产品参数
这是一款定制可开启式CVD设备。该设备主要开启式加热炉、气路系统、反应管、智能控制系统。
1、开启式加热炉：
加热炉膛采用超轻氧化铝纤维材料，配S型热电偶，单点控温；设备升降温控制灵活、加热炉可开启方便客户更换维修反应管
2、气路系统可精确控制3路气体按不同流量进行混合配比，另外单独1路可通强腐蚀气体，配备吹扫气路。
气路管路及阀门，精工件都采用316L材质。
3、反应管组件
反应管组件使用耐高温刚玉管，内加刚玉管堵，两端密封法兰带水冷却系统，反应管尾部带反应物收集冷却装置。实验众产生的尾气经过冷却收集后再通过球阀排出。
4、气体报警系统
配备有氢气报警器，氯气报警器、甲烷报警器。分别设置1个检测点，报警后自动切断氢气、氯气和甲烷的供应，并发出警报。
5、 智能控制系统
采用智能PID模糊控制，30段可编程控制。具有超温和断偶报警功能。
|
最高温度 |
1400℃ |
|
持续工作温度 |
≤1300℃ |
|
升温速率 |
≤10℃/min |
|
控温精度 |
±1℃ |
|
加热元件 |
硅碳棒 |
|
热电偶 |
S型 |
|
控温方式 |
模糊PID控制和自整定调节，人工智能化30段可编程控制，具有超温和断偶报警功能。 |
|
加热总功率 |
≤9KW |
|
加热区尺寸 |
300*130*160mm |
|
真空度 |
≤5pa |
|
设备尺寸 |
2100*600*1350mm |
|
设备重量 |
约350KG |
上一篇
无
智能型连续进出料CVD设备 BTF-1200C-III-3D-CVD-D210
下一篇