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产品名称

智能型CVD系统 BTF-1400C-OP-4ZL-CVD

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产品描述
产品参数

这是一款定制可开启式CVD设备。该设备主要开启式加热炉、气路系统、反应管、智能控制系统。
1、开启式加热炉:
加热炉膛采用超轻氧化铝纤维材料,配S型热电偶,单点控温;设备升降温控制灵活、加热炉可开启方便客户更换维修反应管
2、气路系统可精确控制3路气体按不同流量进行混合配比,另外单独1路可通强腐蚀气体,配备吹扫气路。
气路管路及阀门,精工件都采用316L材质。
3、反应管组件
反应管组件使用耐高温刚玉管,内加刚玉管堵,两端密封法兰带水冷却系统,反应管尾部带反应物收集冷却装置。实验众产生的尾气经过冷却收集后再通过球阀排出。
4、气体报警系统
配备有氢气报警器,氯气报警器、甲烷报警器。分别设置1个检测点,报警后自动切断氢气、氯气和甲烷的供应,并发出警报。
5、 智能控制系统          
采用智能PID模糊控制,30段可编程控制。具有超温和断偶报警功能。
 

最高温度

1400℃

持续工作温度

≤1300℃

升温速率

≤10℃/min

控温精度

±1℃

加热元件

硅碳棒

热电偶

S型

控温方式

模糊PID控制和自整定调节,人工智能化30段可编程控制,具有超温和断偶报警功能。

加热总功率

≤9KW

加热区尺寸

300*130*160mm

真空度

≤5pa

设备尺寸

2100*600*1350mm

设备重量

约350KG

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