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二维材料制备CVD系统(型号:BTF-1200C-II-SL-CVD)
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产品名称

二维材料制备CVD系统(型号:BTF-1200C-II-SL-CVD)

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产品描述
产品参数

设备特点

  此款CVD系统前端配有可加热到400℃的预加热器,辅助二维材料蒸发,后端为双温区管式炉,温度控制精确,操作简便。并配质量流量计系统和真空系统,可以准确的反应腔体内部的气体压力和气体流量,对于做低压CVD实验非常实用,重复性好。

 

硫粉预热器

 工作温度:400℃

 最高温度:1200℃

 最快升温速率:≤30℃/min

 推荐升温速率:10℃/min

 控温方式:智能化30段可编程控制

 工作电压:AC220V

 额定功率:800W

 控温精度:±1℃

 加热元件:电阻丝

加热区参数

 

 额定功率:5kw

 最高温度:1200℃

 工作温度:1100℃

 最大升降温速率:≤30℃/min

 炉管尺寸:高纯度石英管Φ25\Φ50\Φ60\Φ80\Φ100X1650mm  (管径可选)

 加热区长度:200+200mm  

 恒温区长度:290mm

 控温方式:模糊PID控制和自整定调节,智能化30段可编程控制,具有超温和断偶报警功能。

 标准配件:石英管1支,莫来石管堵2对,不锈钢法兰1套,硅胶密封圈2套,高温手套1副,坩埚钩1支;

 尺寸:约 550×380×600 mm(炉子)

 约:1700×380×620 mm(炉子+滑轨)

 可选配单温区、双温区、三温区等加热区。

气路系统参数

 

 质量流量计参考量程(N2):100sccm、200sccm、500sccm (量程可选)

 准确度:±1.5%

 线性:±0.5~1.5%

 重复精度:±0.2%

 响应时间:≤10 sec

 工作压差范围:0.1~0.5 MPa

 最大压力:3MPa

 接口:Φ6,1/4''

 显示:4位数字显示

 工作环境温度:5~45高纯气体             

 内外双抛不锈钢管:Φ6

 压力真空表:-0.1~0.15 MPa,0.01 MPa/格

 截止阀:Φ6

 连接头类型:双卡套不锈钢接头

 可选配一路、两路、三路、四路等以上质量流量计

低真空系统参数

 

 抽速:10m³/h

 极限真空度:5*10-1pa

 电源:220V 50HZ

 电机功率:0.4kw  

 进排气连接口:KF25

 用油量:1.1L

 电机转速:1440rpm

 工作环境温度:5-40℃

 噪音:≤56db

 电阻真空计参数:

 1.配用规管:电阻规

 2.测量范围: 105 ~10-1Pa

 3.测量路数: 1路

 4.控制范围: 5×103~5×10-1Pa,

 5.控制方式:继电器触点输出,负载能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)无感负载,

 6.电源: 90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz,

 7.功耗: 20W

使用注意事项

炉管内气压不可高于0.02MPa 
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暂未实现,敬请期待
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