二维材料制备CVD系统

硫粉预热器

 工作温度：400℃

 最高温度：1200℃

 最快升温速率：≤30℃/min

 推荐升温速率：10℃/min

 控温方式：智能化30段可编程控制

 工作电压：AC220V

 额定功率：800W

 控温精度：±1℃

 加热元件：电阻丝

加热区参数

 额定功率：5kw

 最高温度：1200℃

 工作温度：1100℃

 最大升降温速率：≤30℃/min

 炉管尺寸：高纯度石英管Φ25\Φ50\Φ60\Φ80\Φ100X1650mm  (管径可选)

 加热区长度：200+200mm  

 恒温区长度：290mm

 控温方式：模糊PID控制和自整定调节，智能化30段可编程控制，具有超温和断偶报警功能。

 标准配件：石英管1支，莫来石管堵2对，不锈钢法兰1套，硅胶密封圈2套，高温手套1副，坩埚钩1支；

 尺寸：约 550×380×600 mm（炉子）

 约：1700×380×620 mm（炉子+滑轨）

 可选配单温区、双温区、三温区等加热区。

气路系统参数

 质量流量计参考量程（N₂)：100sccm、200sccm、500sccm （量程可选）

 准确度：±1.5%

 线性：±0.5～1.5%

 重复精度：±0.2%

 响应时间：≤10 sec

 工作压差范围：0.1～0.5 MPa

 最大压力：3MPa

 接口：Φ6,1/4''

 显示：4位数字显示

 工作环境温度：5~45高纯气体             

 内外双抛不锈钢管：Φ6

 压力真空表：－0.1～0.15 MPa，0.01 MPa/格

 截止阀：Φ6

 连接头类型：双卡套不锈钢接头

 可选配一路、两路、三路、四路等以上质量流量计

低真空系统参数

 抽速：10m³/h

 极限真空度：5*10^-1pa

 电源：220V 50HZ

 电机功率：0.4kw  

 进排气连接口：KF25

 用油量：1.1L

 电机转速：1440rpm

 工作环境温度：5-40℃

 噪音：≤56db

 电阻真空计参数：

 1.配用规管：电阻规

 2.测量范围： 10⁵ ～10^-1Pa

 3.测量路数： 1路

 4.控制范围： 5×10³～5×10^-1Pa，

 5.控制方式：继电器触点输出，负载能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)无感负载，

 6.电源： 90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz，

 7.功耗： 20W

使用注意事项