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1200℃二维材料制备CVD系统 BTF-1200C-II-SL-CVD
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产品名称

1200℃二维材料制备CVD系统 BTF-1200C-II-SL-CVD

设备型号:BTF-1200C-II-SL-CVD 设备简介:此款CVD系统前端配有可加热到400℃的预加热器,辅助二维材料蒸发,后端为双温区管式炉,温度控制精确,操作简便。并配质量流量计系统和真空系统,可以准确的反应腔体内部的气体压力和气体流量,对于做低压CVD实验非常实用,重复性好。
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产品描述
产品参数

硫粉预热器

工作温度

400℃

最高温度

1200℃

最快升温速率

≤30℃/min

推荐升温速率

10℃/min

控温方式

智能化30段可编程控制

工作电压

AC 220V

额定功率

800W

控温精度

±1℃

加热元件

电阻丝

加热区参数

额定功率

5KW

最高温度

1200℃

工作温度

1100℃

最大升温速率

≤30℃/min

炉管尺寸

高纯度石英管Φ25\Φ50\Φ60\Φ80\Φ100X1650mm  (管径可选)

加热区长度

200+200mm

恒温区长度

290mm

控温方式

模糊PID控制和自整定调节,智能化30段可编程控制,具有超温和断偶报警功能

标准配件

石英管1支,莫来石管堵2对,不锈钢法兰1套,硅胶密封圈2套,高温手套1副,坩埚钩1支

尺寸

约 550×380×600 mm(炉子)

1700×380×620 mm(炉子+滑轨)

可选配单温区、双温区、三温区等加热区

气路系统参数

质量流量计参考量程(N2)

100sccm、200sccm、500sccm(量程可选)

准确度

±1.5%

线性

±0.5~1.5%

重复精度

±0.2%

响应时间

≤10sec

工作压差范围

0.1~0.5 MPa

最大压力

3MPa

接口

Φ6,1/4''

显示

4位数字显示

工作环境温度

5~45高纯气体

内外双抛不锈钢管

Φ6

压力真空表

-0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格

截止阀

Φ6

连接头类型

双卡套不锈钢接头

备注:可选配一路、两路、三路、四路等以上质量流量计

低真空系统参数

 抽速

10m³/h

极限真空度

5*10-1pa

电源

220V 50Hz

电机功率

0.4KW

进排气连接口

KF25

用油量

1.1L

电机转速

1440rpm

工作环境温度

5-40℃

噪音

≤56db

电阻真空计参数

配用规管

电阻规

测量范围

 105~10-1Pa

测量路数

 1路

控制范围

5×103~5×10-1Pa

控制方式

继电器触点输出,负载能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)无感负载

电源

90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz

功耗

20W

使用注意事项

炉管内气压不可高于0.02MPa

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