1200℃二维材料制备CVD系统 BTF-1200C-II-SL-CVD

硫粉预热器

工作温度

400℃

最高温度

1200℃

最快升温速率

≤30℃/min

推荐升温速率

10℃/min

控温方式

智能化30段可编程控制

工作电压

AC 220V

额定功率

800W

控温精度

±1℃

加热元件

电阻丝

加热区参数

额定功率

5KW

最高温度

1200℃

工作温度

1100℃

最大升温速率

≤30℃/min

炉管尺寸

高纯度石英管Φ25\Φ50\Φ60\Φ80\Φ100X1650mm  (管径可选)

加热区长度

200+200mm

恒温区长度

290mm

控温方式

模糊PID控制和自整定调节，智能化30段可编程控制，具有超温和断偶报警功能

标准配件

石英管1支，莫来石管堵2对，不锈钢法兰1套，硅胶密封圈2套，高温手套1副，坩埚钩1支

尺寸

约 550×380×600 mm（炉子）

1700×380×620 mm（炉子+滑轨）

可选配单温区、双温区、三温区等加热区

气路系统参数

质量流量计参考量程（N₂)

100sccm、200sccm、500sccm（量程可选）

准确度

±1.5%

线性

±0.5～1.5%

重复精度

±0.2%

响应时间

≤10sec

工作压差范围

0.1～0.5 MPa

最大压力

3MPa

接口

Φ6，1/4''

显示

4位数字显示

工作环境温度

5~45高纯气体

内外双抛不锈钢管

Φ6

压力真空表

－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格

截止阀

Φ6

连接头类型

双卡套不锈钢接头

备注：可选配一路、两路、三路、四路等以上质量流量计

低真空系统参数

 抽速

10m³/h

极限真空度

5*10^-1pa

电源

220V 50Hz

电机功率

0.4KW

进排气连接口

KF25

用油量

1.1L

电机转速

1440rpm

工作环境温度

5-40℃

噪音

≤56db

电阻真空计参数

配用规管

电阻规

测量范围

 10⁵～10^-1Pa

测量路数

 1路

控制范围

5×10³～5×10^-1Pa

控制方式

继电器触点输出，负载能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)无感负载

电源

90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz

功耗

20W

使用注意事项

炉管内气压不可高于0.02MPa