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二维材料制备CVD系统(型号:BTF-1200C-II-SL-CVD)
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二维材料制备CVD系统(型号:BTF-1200C-II-SL-CVD)

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产品描述
产品参数

  设备特点

  此款CVD系统前端配有可加热到400℃的预加热器,辅助二维材料蒸发,后端为双温区管式炉,温度控制精确,操作简便。并配质量流量计系统和真空系统,可以准确的反应腔体内部的气体压力和气体流量,对于做低压CVD实验非常实用,重复性好。

 

硫粉预热器

工作温度:400℃

最高温度:1200℃

最快升温速率:≤30℃/min

推荐升温速率:10℃/min

控温方式:智能化30段可编程控制

工作电压:AC220V

额定功率:800W

控温精度:±1℃

加热元件:电阻丝

加热区参数

 

额定功率:5kw

最高温度:1200℃

工作温度:1100℃

最大升降温速率:≤30℃/min

炉管尺寸:高纯度石英管Φ25\Φ50\Φ60\Φ80\Φ100X1650mm  (管径可选)

加热区长度:200+200mm  

恒温区长度:290mm

控温方式:模糊PID控制和自整定调节,智能化30段可编程控制,具有超温和断偶报警功能。

标准配件:石英管1支,莫来石管堵2对,不锈钢法兰1套,硅胶密封圈2套,高温手套1副,坩埚钩1支;

尺寸:约 550×380×600 mm(炉子)

约:1700×380×620 mm(炉子+滑轨)

可选配单温区、双温区、三温区等加热区。

气路系统参数

 

质量流量计参考量程(N2):100sccm、200sccm、500sccm (量程可选)

准确度:±1.5%

线性:±0.5~1.5%

重复精度:±0.2%

响应时间:气特性:1~4 Sec,电特性:10 Sec

工作压差范围:0.1~0.5 MPa

最大压力:3MPa

接口:Φ6,1/4''

显示:4位数字显示

工作环境温度:5~45高纯气体             

内外双抛不锈钢管:Φ6

压力真空表:-0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格

截止阀:Φ6

连接头类型:双卡套不锈钢接头。

可选配一路、两路、三路、四路等以上质量流量计。

低真空系统参数

 

国产油泵型号:BSV-10

抽速:10m³/h

极限真空度:5*10-1pa

电源:220v 50hz

电机功率:0.4kw  

进排气连接口:KF25

用油量:1.1L

电机转速:1440rpm

工作环境温度:5-40℃

噪音:≤56db

电阻真空计参数:

1.配用规管:ZJ-52T电阻规,

2.测量范围: 105 ~10-1Pa,

3.测量路数: 1路

4.控制范围: 5×103~5×10-1Pa,

5.控制方式:继电器触点输出,负载能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)无感负载,

6.电源: 90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz,

7.功耗: 20W

使用注意事项

炉管内气压不可高于0.02MPa 当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的 气压需和大气压相当,保持在常压状态进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击。 石英管的长时间使用温度<1100℃。 对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂,法兰飞出等)。

 

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