主要特点

· 滑轨式快速升温炉是专为生长石墨烯研制的石墨烯生长专用炉，也同样适用于要求升降温速度比较快的CVD实验

· 这款设备操作时可将实验需要的恒定高温直接推到样品处，使样品能得到一个快速的升温速度，同样也可将高温的管式炉直接推离样品处，使样品直接暴露在室温环境下，得到快速的降温速率

· 此款设备提供两个独立滑动的温场，两温场独立控制，可在实验过程中推进或推离样品，提供两个位置的快升降温

· 真空和设备采用模块化设计，便于维护保养

· 采用触摸屏和工控电脑自动控制，参数设置和操作直观方便，参数自动记录保持

主要参数

· 额定电压：AC 220-380V 50/60Hz，额定功率：16KW

· 最高温度：1200℃

· 持续工作温度：≤1100℃

· 最大升/降温速率：≤20℃/s

· 加热区长度：500+500mm，恒温区长度：200+200mm

· 加热元件：电阻丝（掺钼铁铬铝合金）

炉管&法兰

· 炉管规格：高纯石英管 Φ210 x 2000mm

· 可使用两个管堵阻挡管中心产生的热辐射，须在加热前塞进炉膛的正确位置（石英或氧化铝管堵可选）

· 真空法兰：两端为KF25/16快速卡箍法兰

温控系统

· 触摸屏控制加PLC控制和和模糊PID自整定调节

· 智能化30段可编程控制

· 具有超温和断偶报警功能

· 控温精度：±1℃

真空压力

· 机械泵可达0.5Pa

· 分子泵可达10^-4Pa

尺寸&重量

· 炉体尺寸：2700*1500*1650mm（长*宽*高  不含炉管和法兰）

· 设备净重：约580kg

质保期

· 一年质保，终身维护

· 耗材部分如热电偶、密封圈、炉管等不包含在内

· 因人为使用不当或使用腐蚀性气体、酸性气体造成的相关问题不在保修范围内

注意事项

· 管内气压不可高于0.02MPa（相对气压）

· 由于气瓶内部气压较高，所以向石英管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀。为了确保安全，减压后压力在0.2~0.4MPa，减压后的气体须经过流量计控制流量进入炉管

· 对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等）

· 如工艺原因需要使用易燃易爆和有毒气体，请自行做好相关防护和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒气体过程误操作而造成的相关问题，本公司概不负责

· 随着使用时间的延长，炉膛可能会出现小裂纹，这是正常情况，裂纹可以用高纯氧化铝修复涂料修复