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产品名称
1200℃双炉膛滑动CVD控制系统 BTF-1200C-II-SL-210
所属分类
工艺定制CVD系统
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产品描述
产品参数
1、 滑轨式快速升温炉是专为生长石墨烯研制的石墨烯生长专用炉，也同样适用于要求升降温速度比较快的CVD实验。
2、 这款设备操作时可将实验需要的恒定高温直接推到样品处，使样品能得到一个快速的升温速度，同样也可将高温的管式炉直接推离样品处，使样品直接暴露在室温环境下，得到快速的降温速率。
3、 此款设备提供两个独立滑动的温场，两温场独立控制，可在实验过程中推进或推离样品，提供两个位置的快升降温。
4、 真空和设备采用模块化设计，便于维护保养。
5、 采用触摸屏和工控电脑自动控制，参数设置和操作直观方便，参数自动记录保持。
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额定电压 |
AC 220-380V 50/60Hz |
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额定功率 |
16KW |
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最高温度 |
1200℃ |
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持续工作温度 |
≤1100℃ |
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最大升/降温速率 |
≤20℃/秒 |
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控温方式 |
触摸屏控制加PLC控制和和模糊 PID自整定调节 智能化30段可编程控制 超温和断偶报警功能 |
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加热区长度 |
500+500mm |
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恒温区长度 |
200+200mm |
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加热元件 |
电阻丝（掺钼铁铬铝合金） |
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控温精度 |
±1 °C |
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炉管 |
Φ210*2000mm(管径可选) 两个管堵阻挡管中心产生的热辐射，必须在加热前塞进炉膛的正确位置 （石英或氧化铝管堵可选）
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炉子尺寸 |
2700*1500*1650mm(长*宽*高 不含炉管和法兰) |
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净重 |
580kg |
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真空法兰 |
两端为KF25/16快速卡箍法兰
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真空压力 |
机械泵可达133torr（1pa） |
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分子泵可达10-6torr（10-3pa） |
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