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产品名称

等离子辉光滑轨PECVD系统

设备型号:PECVD-500A/PECVD-S-150A 设备简介:PECVD高温真空炉加热腔体采用氧化铝纤维制品,其极低的热导率和比热容,保证了炉膛的快速升温和低蓄热,特别适合于科研单位的材料工艺研究。加热元件选用电阻丝加热,有利于炉内温度场的均匀分布。高温真空电阻炉温度控制系统采用经典的闭环负反馈控制系统,控温仪表选用智能型程序温度调节仪表控温,电力调制器控制;负载采用小电压大电流控制,从而大大提高了发热元件的寿命,测温元件采用K型热偶。采用单回路温控仪能够自整定PID 参数,无须操作人员的干预,可自行根据不同温度曲线的升、降温要求调整输出信号,同时系统设置了超温、欠温、断偶报警保护功能,大大降低了对操作人员经验的要求,关键电气元件采用优质的进口产品,做到高性能、免维护,提高了设备质量的可靠性。 应用领域:本设备主要针对实验石墨烯生长和制备使用,同时该设备可以用于碳纳米管的生长。可制备出高质量的透明导电膜,用作手机触摸屏,平板电脑,智能穿戴,传感器等领域。
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产品描述
产品参数
1、PECVD高温真空炉加热腔体采用氧化铝纤维制品,其极低的热导率和比热容,保证了炉膛的快速升温和低蓄热,特别适合于科研单位的材料工艺研究。
2、加热元件选用电阻丝加热,有利于炉内温度场的均匀分布。
3、高温真空电阻炉温度控制系统采用经典的闭环负反馈控制系统,控温仪表选用智能型程序温度调节仪表控温,电力调制器控制。
4、负载采用小电压大电流控制,从而大大提高了发热元件的寿命,测温元件采用K型热偶。
5、采用单回路温控仪能够自整定PID 参数,无须操作人员的干预,可自行根据不同温度曲线的升、降温要求调整输出信号。
6、同时系统设置了超温、欠温、断偶报警保护功能,大大降低了对操作人员经验的要求。
7、关键电气元件采用优质的进口产品,做到高性能、免维护,提高了设备质量的可靠性。

 

 

加热系统

最高温度

1200℃

使用温度

≤1100℃

炉膛有效尺寸

Φ50/100(炉管直径可根据实际需求定制)

炉膛材料

氧化铝、高温纤维制品

热电偶

K型

控温精度

±1℃

控温方式

30段可编程控温,PID参数自整定,操作界面为7/10寸工控电脑内置PLC控制程序

加热区长度

230/440mm

恒温区长度

100/200mm

加热元件

电阻丝

供电电源

单相,220V  50Hz

PE射频电源

功率输出范围

0W~150/500W

最大反射功率

100W

射频输出接口

50 Ω, N-type, female

功率稳定度

≤5W

谐波分量

≤-50dbc

供电电压

单相交流(187V-253V) 频率50/60HZ

整机效率

≥70%

功率因素

≥90%

冷却方式

强制风冷

三路质子流量控制系统

连接头类型

双卡套不锈钢接头

标准量程(N2)

50sccm,100sccm、500sccm(可根据用户要求定制)

准确度

±1.5%F.S

线性

±1%F.S

重复精度

±0.2%F.S

响应时间

气特性:1~4 Sec,电特性:10 Sec

工作压差范围

0.1~0.5 MPa

最大压力

3MPa

接口

Φ6,1/4''

显示

4位数字显示

工作环境温度

5~45高纯气体

压力真空表

-0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格

截止阀

Φ6

内外双抛不锈钢管

Φ6

低真空机组

空气相对湿度

≤85%

工作环境

5℃~40℃

工作电压

220V±10%  50~60HZ

功率

1KW

抽气速率

10m³/h

极限真空

5X10-1Pa

工作压力范围

1.01325X105~1.33X10-2Pa

耐压值

0.03MPa

容油量

1.1L

进气口口径

KF25

排气口口径

KF25

噪音

50dB

连接方式

采用波纹管,手动挡板阀与波纹管相连

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