结构说明

  单温区开启式管式炉

· 1200℃开启式真空管式炉不仅可以抽真空,也可以通气体保护

· 其结构使得拆装炉管方便，操作简捷，使用者可直接将密封腔体移出炉体，加快降温过程，透明石英管腔体可直观的看到样品烧结状态

· 法兰采用卡箍快捷接头，减去了取放料时的繁琐操作

· 炉管工件横穿与上下各多组进口电阻丝的炉膛，温场均匀，内外温差可控制在3℃左右

· 气动弹簧支撑结构让操作者可各角度安全开启

· 广泛应用在半导体、纳米材料、碳纤维、石墨烯等新材料、新工艺领域

  供气系统

· 该供气系统是一种可控制2种气体按不同流量进行混合配比，也可根据实验需求加装洗气装置

· 质量流量计安装于密封的可移动机柜内，由超洁双抛不锈钢管与精密双卡套接头连接组成

· 触摸屏控制，此款设备与BEQ品牌的各款真空管式炉和真空机组组成CVD系统

主要参数

· 额定电压：AC 220V 50/60Hz，额定总功率：3.5KW

· 最高温度：1200℃

· 持续工作温度：≤1100℃

· 推荐升温速率：≤10℃/min

· 炉管规格：高纯石英管Φ80mm（可工艺定制）

· 加热区长度：400mm，恒温区长度：200mm

· 加热元件：电阻丝

· 热电偶类型：K型

温控系统

· 模糊PID控制和自整定调节

· 智能化30段可编程控制

· 具有超温和断偶报警功能

· 控温精度：±1℃

设备尺寸&重量

· 设备尺寸：1200 x 660 x 1250mm（长*宽*高）

· 设备重量：约170kg

质保期

· 一年质保，终身维护

· 耗材部分如热电偶、密封圈、炉管、样品载具等不包含在内

· 因人为使用不当或工艺问题（如使用腐蚀性气体、强酸碱物质等）造成的损害不在保修范围内

注意事项

· 石英管内气压不可高于0.02MPa（相对气压）

· 对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等）

· 如工艺原因需要使用易燃易爆和有毒气体，请自行做好相关防护和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒气体过程误操作而造成的相关问题，本公司概不负责

· 随着使用时间的延长，炉膛可能会出现小裂纹，这是正常情况，裂纹可以用氧化铝涂层修复