等离子增加化学气相沉积系统
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设备型号:BTF-1200C-SL-A 设备简介:BTF-1200C-SL-A是一款新型智能型滑轨CVD系统。本设备集真空系统、供气流量系统、自动推进、加热于一体,并将所有控制集成于触屏操控界面之中,使设备更加智能化,便于使用者操作。温度范围宽:100-1200度可调,加热区域长度:1650mm。适用范围宽:金属薄膜,陶瓷薄膜等,复合薄膜,连续生长各种薄膜等。
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