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1200℃ 回转CVD系统 BTF-1200C-III-R-CVD-D210
设备型号:BTF-1200C-III-R-CVD-D210 设备简介:该款设备由控制柜和加热炉组成,控制柜为防爆柜体,内置电路板和气路板,外部可通过触摸屏及手阀操控电路和气路;加热炉由一台三温区开启式管式炉及相应配件组成,炉管可回转,平台可升降;设备左端法兰是进气端,配有截止阀和压力表控制,法兰上部配有真空计,抽口由手动挡板阀搭配防爆变频真空泵组成,最左侧为收集罐供设备倾斜收料,收料同时管壁上配有气锤供防止粘料;设备中部为三温区加热炉,炉盖可电动开启关闭;设备右端法兰为出气端,由真空球阀+转接头组成出气端,法兰后端配有自动泄压装置(传感器+电磁阀),同时配有点火装置;炉管同时配有金属管(可气锤敲击)和石英管(不需要气锤)可相互切换使用。
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